本发明属于异质结制备技术领域,特别是涉及一种CdS/Si纳米薄膜异质结的制备方法,该方法首先以ITO导电薄膜为衬底,利用磁控溅射技术在ITO导电薄膜上沉积Si,制备纳米结构ITO/Si;然后利用磁控溅射技术在纳米结构ITO/Si上沉积CdS,制备纳米结构ITO/Si/CdS;最后利用磁控溅射技术在纳米结构ITO/Si/CdS上沉积Ag,制备纳米ITO/Si/CdS/Ag异质结。
本发明简单、高效,易于调控异质结各组分的结构和尺寸。
姬鹏飞 李勇 宋月丽 周丰群 袁书卿 田明丽
平顶山学院
467000 河南省平顶山市新城区未来路南段
本发明属于异质结制备技术领域,特别是涉及一种CdS/Si纳米薄膜异质结的制备方法,该方法首先以ITO导电薄膜为衬底,利用磁控溅射技术在ITO导电薄膜上沉积Si,制备纳米结构ITO/Si;然后利用磁控溅射技术在纳米结构ITO/Si上沉积CdS,制备纳米结构ITO/Si/CdS;最后利用磁控溅射技术在纳米结构ITO/Si/CdS上沉积Ag,制备纳米ITO/Si/CdS/Ag异质结。
本发明简单、高效,易于调控异质结各组分的结构和尺寸。