本发明公开了一种蚀刻螯合剂及其制备方法与蚀刻液组合物，所述蚀刻螯合剂包括纤维素交联聚合物，所述纤维素交联聚合物由羧甲基纤维素与胺类化合物交联聚合而得。
所述蚀刻螯合剂中含有大量的羧基与胺基，与铜离子能够发生较强的螯合作用，并形成沉淀将铜离子从溶液中脱离出来，因此，使用加入此蚀刻螯合剂的蚀刻液进行含铜膜层蚀刻时，可有效抑制蚀刻液中铜离子浓度的升高。

吴豪旭

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本发明公开了一种蚀刻螯合剂及其制备方法与蚀刻液组合物，所述蚀刻螯合剂包括纤维素交联聚合物，所述纤维素交联聚合物由羧甲基纤维素与胺类化合物交联聚合而得。
所述蚀刻螯合剂中含有大量的羧基与胺基，与铜离子能够发生较强的螯合作用，并形成沉淀将铜离子从溶液中脱离出来，因此，使用加入此蚀刻螯合剂的蚀刻液进行含铜膜层蚀刻时，可有效抑制蚀刻液中铜离子浓度的升高。