一种可便捷拆装清理式单晶炉，包括炉体、排气装置，排气装置包括第一排气管、四通管、卡箍组件、盲板、真空阀、第二排气管、真空泵，第一排气管的入口端与炉体的内腔连通，第一排气管的出口端与四通管的左端口密封连接，四通管的右端口通过卡箍组件与盲板密封连接，四通管的上端口通过卡箍组件与盲板密封连接，四通管的下端口与真空阀的入口端密封连接，真空阀的出口端与第二排气管的入口端密封连接，第二排气管出口端与真空泵的入口密封连接，改用四通管作为连接管，管道内残留聚集的氧化物可以很轻松的、彻底的清理干净，四通管的右端口、上端口均通过卡箍组件盲板密封连接，安装和拆卸方便，有效的提高了清理效率。

马玉怀 陈元寿

宁夏中欣晶圆半导体科技有限公司

750021 宁夏回族自治区银川市西夏区光明西路28号

一种可便捷拆装清理式单晶炉，包括炉体、排气装置，排气装置包括第一排气管、四通管、卡箍组件、盲板、真空阀、第二排气管、真空泵，第一排气管的入口端与炉体的内腔连通，第一排气管的出口端与四通管的左端口密封连接，四通管的右端口通过卡箍组件与盲板密封连接，四通管的上端口通过卡箍组件与盲板密封连接，四通管的下端口与真空阀的入口端密封连接，真空阀的出口端与第二排气管的入口端密封连接，第二排气管出口端与真空泵的入口密封连接，改用四通管作为连接管，管道内残留聚集的氧化物可以很轻松的、彻底的清理干净，四通管的右端口、上端口均通过卡箍组件盲板密封连接，安装和拆卸方便，有效的提高了清理效率。