1.本实用新型涉及推车，尤其是涉及一种晶圆运输推车。


背景技术：

2.在半导体晶圆厂晶圆的运输过程中，广泛使用推车进行运输。但推车在运输过程中如发生意外，导致推车倾斜时，晶圆盒极易从推车上掉落，导致wafer破裂。在非运输过程中，如果放置或者取出晶圆盒时出现操作员动作不当，也可能导致推车倾斜，晶圆盒极易从推车上掉落，导致晶圆破裂。


技术实现要素：

3.本实用新型的目的在于提供一种晶圆运输推车，在运输晶圆过程中或者操作员动作不当导致推车倾斜时，可以保护晶圆盒不会从推车上掉落，从而防止晶圆破裂的情况产生。
4.为了达到上述目的，本实用新型提供了一种晶圆运输推车，包括：
5.至少一层搁置板，所述搁置板的横截面呈方形，并且具有四条边和四个角，所述搁置板用于搁置晶圆盒；
6.四个支撑柱，分别安装在所述搁置板的四个角上，以支撑所述搁置板；
7.四个滚轮，分别安装在四个所述支撑柱的底部；
8.一个可移动挡板，安装在所述搁置板的第一边上，放置晶圆盒或者取出晶圆盒时，所述可移动挡板打开，移动晶圆盒时，所述可移动挡板关闭，此时，所述可移动挡板垂直所述搁置板的表面并与所述第一边两侧的支撑柱活动连接；以及
9.三个固定挡板，分别安装在所述搁置板的另三个边上并与所在边两侧的支撑柱固定连接，所述固定挡板与所述搁置板的表面垂直。
10.可选的，在所述的晶圆运输推车中，所述搁置板具有一空腔和一开口，所述开口与所述空腔连通，所述开口位于所述第一边上。
11.可选的，在所述的晶圆运输推车中，所述可移动挡板包括挡板主体、连接块和限位杆，所述限位杆安装在所述挡板主体的一侧，所述连接块安装在所述挡板主体的与所述限位杆相对的另一侧，放置晶圆盒或者取出晶圆盒时，所述挡板主体和所述限位杆位于所述空腔内，移动晶圆盒时，所述挡板主体从所述空腔内向外伸出，所述限位杆卡在所述开口处，所述挡板主体垂直于所述搁置板，所述连接块的两端分别与所述第一边两侧的支撑柱活动连接。
12.可选的，在所述的晶圆运输推车中，所述第一边两侧的支撑柱上均设置有卡扣，用于卡住所述连接块的两端。
13.可选的，在所述的晶圆运输推车中，所述方形为长方形。
14.可选的，在所述的晶圆运输推车中，另三个边依次为连接的第二边、第三边和第四边，所述第二边和所述第四边均与所述第一边连接。
15.可选的，在所述的晶圆运输推车中，所述固定挡板分别安装在所述第二边、第三边和第四边上。
16.可选的，在所述的晶圆运输推车中，所述搁置板为至少两个时，至少两个所述搁置板平行设置且之间有一定的距离，所述固定挡板的高度为相邻的所述搁置板的垂直距离的1/3～1/2。
17.可选的，在所述的晶圆运输推车中，所述滚轮为万向轮。
18.可选的，在所述的晶圆运输推车中，所述支撑柱的径向与所述搁置板的表面垂直。
19.在本实用新型提供的晶圆运输推车中，在运输晶圆过程中或者操作员动作不当导致推车倾斜时，可以保护晶圆盒不会从推车上掉落，从而防止晶圆破裂的情况产生。
附图说明
20.图1是本实用新型实施例的晶圆运输推车的结构示意图；
21.图2是本实用新型实施例的可移动挡板的结构示意图；
22.图3是本实用新型实施例的可移动挡板从打开状态到关闭状态的动作示意图；
23.图中：210-搁置板、220-支撑柱、230-滚轮、240-可移动挡板、241-限位杆、242-挡板主体、243-连接块、250-固定挡板、260-卡扣、211-第一层面板、212-第二层面板。
具体实施方式
24.下面将结合示意图对本实用新型的具体实施方式进行更详细的描述。根据下列描述，本实用新型的优点和特征将更清楚。需说明的是，附图均采用非常简化的形式且均使用非精准的比例，仅用以方便、明晰地辅助说明本实用新型实施例的目的。
25.在下文中，术语“第一”“第二”等用于在类似要素之间进行区分，且未必是用于描述特定次序或时间顺序。要理解，在适当情况下，如此使用的这些术语可替换。类似的，如果本文所述的方法包括一系列步骤，且本文所呈现的这些步骤的顺序并非必须是可执行这些步骤的唯一顺序，且一些所述的步骤可被省略和/或一些本文未描述的其他步骤可被添加到该方法。
26.请参照图1，本实用新型提供了一种晶圆运输推车，用于运输晶圆盒，包括：
27.至少一层搁置板210，所述搁置板210的横截面呈方形，并且具有四条边和四个角，所述搁置板210用于搁置晶圆盒；
28.四个支撑柱220，分别安装在所述搁置板210的四个角上，以支撑所述搁置板210；
29.四个滚轮230，分别安装在四个所述支撑柱220的底部；
30.一个可移动挡板240，安装在所述搁置板210的第一边上，放置晶圆盒或者取出晶圆盒时，所述可移动挡板240打开，移动晶圆盒时，所述可移动挡板240关闭，此时，所述可移动挡板240垂直所述搁置板210的表面并与所述第一边两侧的支撑柱220活动连接；以及
31.三个固定挡板250，分别安装在所述搁置板210的另三个边上并与所在边两侧的支撑柱220固定连接，所述固定挡板250与所述搁置板210的表面垂直。
32.进一步的，请参照图3，图3是从可移动挡板的侧面形成的纵截面图，搁置板210具有一空腔和一开口，开口与空腔连通，开口位于第一边上。可以将搁置板210分为第一层面板211和第二层面板212以及封边，第一层面板211和第二层面板212平行并且之间具有一定
的距离，封边位于第一层面板211和第二层面板212之间，封边封住在第一层面板211和第二层面板212的三个边的边缘处的空间。使得第一层面板211和第二层面积以及封边组成一个空腔和一个开口，开口和空腔连通。第一层面板211可以作为搁置晶圆盒的接触面，第二层面板212可以是位于第一层面板211的下方，第二层面板212的面积稍大于第一层面板211的面积。在开口处，第二层面板212的边缘处向着第一层面板211(向上)的方向安装的封条，以使得开口处的第一层面板211的边缘和第二层面板212的边缘的距离小于空腔内第一层面板211和第二层面板212的距离，使得限位杆241能在空腔内自由滑动，在开口处能被卡住，从而限定可移动挡板240的位置。
33.并且，可移动挡板240打开时，可移动挡板240缩进空腔，在搁置板210表面不会有凸出的部分，而现有技术的推车没有固定挡板和可移动挡板，但是在搁置板周围有较矮的围栏，在放置或取出晶圆盒时，晶圆盒仍然可能会碰到围栏，碰撞力可能会损坏晶圆。而本实用新型实施例放置或取出晶圆盒时，晶圆盒不会被凸出部分碰到。
34.进一步的，请同时参照图2，可移动挡板240包括挡板主体242、连接块243和限位杆241，限位杆241安装在挡板主体242的一侧，连接块243安装在挡板主体242的与限位杆241相对的另一侧，放置晶圆盒或者取出晶圆盒时，挡板主体242和限位杆241位于空腔内，可移动挡板240打开，移动晶圆盒时，挡板主体242从空腔内向外伸出，限位杆241卡在开口处，随后，挡板主体242向上提起，直到挡板主体242垂直于搁置板210，连接块243的两端分别与第一边两侧的支撑柱220活动连接，可移动挡板240关闭，和三个固定挡板250一起将晶圆盒围在搁置板210上，防止推车倾斜时，晶圆盒从推车上跌落。连接块243的长度大于挡板主体242的长度，连接块243沿着挡板主体242的边向两侧凸出。挡板主体242和限位杆241在空腔内滑动或者挡板主体242和限位杆241收进空腔内时，支撑柱220可以挡住连接块243的两端的凸出部。再具体参照图3，图3是可移动挡板从打开状态到关闭状态的动作示意图，根据箭头的指向，可以看到每一步的具体状态，大概共分为6个步骤，每个步骤中的箭头表示某一部位的移动方向，虚线物体表示移动前的状态。可以看到，在挡板主体242被拉起，可移动挡板240关闭时，连接块243的两端可以固定在支撑板220上，从而固定可移动挡板240。同时，连接块243在垂直于挡板主体242的表面的方向还具有一个凸起部，在挡板主体242和限位杆241缩进空腔时，凸起的方向向下。在挡板主体242被拉起时，凸起部翻转与卡扣260相扣，从而固定住。
35.进一步的，第一边两侧的支撑柱220上均设置有卡扣260，用于卡住连接块243的两端。以将挡板主体242与支撑柱220连接。如果有三层搁置板210，就需要三个可移动挡板240，那就需要6个卡扣260，每根支撑柱220上各三个，每一层各两个。再具体参照图3，卡扣260可以是钩子的形状，在未与连接块243连接时，卡扣260位于每一层中的支撑柱220的较上边的位置，在挡板主体242被拉起来的时候，卡扣260的位置高于连接块243与支撑柱220接触的位置，待挡板主体242全部被拉起来后，翻动卡扣260，卡扣260向下移动，与连接块243的凸起部相扣。
36.进一步的，方形为长方形。在本实用新型的其他实施例中，也可以是正方形。
37.进一步的，另三个边依次为连接的第二边、第三边和第四边，第二边和第四边均与第一边连接。第一边和第二边的相交的角为第一角，第二边和第三边的相交的角为第二角，第三边和第四边的相交的角为第三角，第四边和第一边的相交的角为第四角。四个支撑柱
分别为，安装在第一角上的第一支撑柱；安装在第二角上的第二支撑柱；安装在第三角上的第三支撑柱；安装在第四角上的第四支撑柱。可移动挡板240关闭后，支撑柱和可移动挡板240以及固定挡板250围合形成一个安全空间，并且围栏无缝隙。固定挡板250和可收放装置可采用推车同类型的带孔洞的不锈钢材料做成，固定挡板250可以是通过焊接的方式连接在支撑柱220上，也可是是通过在支撑柱220上形成卡槽，固定挡板250插入卡槽的方式进行固定。
38.进一步的，固定挡板250分别安装在第二边、第三边和第四边上。可移动挡板240安装在第一边上。第一支撑柱和第四支撑柱上还设置有卡扣260，在可移动挡板240关闭时，卡住连接块243的两端，以固定可移动挡板240。
39.进一步的，搁置板210为至少两个时，至少两个搁置板210平行设置且之间有一定的距离，在至少两个搁置板210的四个角均安装支撑柱，固定挡板250的高度为相邻的搁置板210的垂直距离的1/3～1/2。搁置板210为三个时，三个搁置板210均平行设置，三个搁置板210均安装在四个支撑柱220之间，三个搁置板210均分别具有四个角，每个角对应一个支撑柱220。三个搁置板210可以是一样的面积一样的形状。
40.进一步的，滚轮230为万向轮。
41.进一步的，支撑柱220的径向与搁置板210的表面垂直。
42.综上，在本实用新型实施例提供的晶圆运输推车中，在运输晶圆过程中或者操作员动作不当导致推车倾斜时，可以保护晶圆盒不会从推车上掉落，从而防止晶圆破裂的情况产生。
43.上述仅为本实用新型的优选实施例而已，并不对本实用新型起到任何限制作用。任何所属技术领域的技术人员，在不脱离本实用新型的技术方案的范围内，对本实用新型揭露的技术方案和技术内容做任何形式的等同替换或修改等变动，均属未脱离本实用新型的技术方案的内容，仍属于本实用新型的保护范围之内。