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一种硅片收集装置的制作方法

时间:2022-02-03 阅读: 作者:专利查询

一种硅片收集装置的制作方法

1.本技术涉及硅片收集领域,具体而言,涉及一种硅片收集装置。


背景技术:

2.硅片一般是指由单晶硅切割成的薄片,直径有6英寸、8英寸、12英寸等规格,主要用来生产集成电路。
3.目前,在对硅片进行转运收集的过程中,由于箱子较高存在不方便对箱子的底部进行硅片摆放,导致摆放的过程中容易对硅片的外边造成磕碰,影响了硅片的表面质量,同时目前的收集转运装置不能够对硅片进行单独摆放,大多都是直接堆放在一起,容易造成硅片之间相互挤压,增加了硅片损坏的概率,以及存在不能够对不同尺寸的硅片进行单独固定,如何发明一种硅片收集装置来改善这些问题,成为了当前需要解决的问题。


技术实现要素:

4.为了弥补以上不足,本技术提供了一种硅片收集装置,旨在改善不方便对箱子的底部进行硅片摆放,导致摆放的过程中容易对硅片的外边造成磕碰,影响了硅片的表面质量,同时目前的收集转运装置不能够对硅片进行单独摆放,增加了硅片损坏的概率,以及不能够对不同尺寸的硅片进行单独固定的问题。
5.本技术实施例提供了一种硅片收集装置包括壳体组件、升降调节组件、储存组件以及定位组件。
6.所述壳体组件包括箱体、箱门、固定板以及缓冲底板,所述箱门转动连接在所述箱体的一侧,所述固定板连接在所述箱门与所述箱门之间,所述缓冲底板连接在所述箱体的内部下方。
7.所述升降调节组件包括连接框、电机、轴杆、螺纹杆、第一锥齿轮、第二锥齿轮以及第一螺纹套,所述连接框固定在所述箱体的内部两侧,所述电机固定在所述箱体的外部两侧,所述轴杆和所述螺纹杆设置在所述箱体的内部,所述轴杆与所述电机的输出端连接,所述螺纹杆的一端与所述连接框转动连接,所述第一锥齿轮固定在所述轴杆上,所述第二锥齿轮固定在所述螺纹杆的另一端,所述第二锥齿轮与所述第一锥齿轮啮合连接,所述第一螺纹套螺纹套接在所述螺纹杆上。
8.所述储存组件包括隔板、第一收集夹板、第二收集夹板、连接板、第一支撑板、第二支撑板以及缓冲夹块,所述隔板连接在所述缓冲底板的上方,所述第一收集夹板与所述隔板之间滑动连接,所述第二收集夹板的一侧与所述第一螺纹套固定连接,所述第二收集夹板和所述第一收集夹板上开设有夹槽,所述连接板连接在所述第一收集夹板和所述第二收集夹板之间的下方,所述第一支撑板和所述第二支撑板滑动连接在所述连接板的上表面,所述第一支撑板的一侧滑动连接有滑动连接块,所述缓冲夹块分别连接在所述第一支撑板和所述第二支撑板的一侧。
9.所述定位组件包括调节杆、固定块以及螺杆,所述调节杆连接在所述第一支撑板
和所述第二支撑板之间,所述固定块固定在所述箱体的上方,所述螺杆与所述固定块之间螺纹连接,所述螺杆的一端与所述滑动连接块转动连接。
10.在上述实现过程中,通过启动电机带动轴杆进行转动,从而带动第一锥齿轮进行转动,第一锥齿轮和第二锥齿轮啮合连接从而使得螺纹杆进行转动,第一螺纹套螺纹套接在螺纹杆上,从而使得第一螺纹套相对于螺纹杆进行移动,从而带动第二收集夹板进行移动,第二收集夹板与第一收集夹板进行连接,从而使得第一收集夹板与第二收集夹板一起移动,有利于将第一收集夹板和第二收集夹板的底部升到箱体的上方,通过缓冲夹块与夹槽的相互配合实现对硅片进行固定,有利于对底部的硅片进行放置,有利于降低对硅片造成损坏的概率,通过调节杆的长度进行调节,从而有利于对第一支撑板和第二支撑板之间的距离进行调节,当转动螺杆带动第一支撑板进行移动时,通过设置调节杆能够分别对第一支撑板和第二支撑板进行单独调节。从而实现第二收集夹板和第一支撑板以及第一收集夹板和第二支撑板对不同尺寸的硅片进行单独固定,有利于对箱子底部的硅片摆放,降低了对硅片的外边造成磕碰的概率,提高了硅片的表面质量,有利于对硅片进行单独摆放,降低了硅片损坏的概率,有利于满足对不同尺寸的硅片进行单独固定。
11.在一种具体的实施方案中,所述箱门上设置有拉手,所述箱门与所述固定板之间连接有锁扣。
12.在上述实现过程中,设置拉手方便将箱门打开,设置锁扣有利于对箱门和固定板进行固定。
13.在一种具体的实施方案中,所述箱体的底部连接有移动轮,所述箱体的一侧连接有扶手。
14.在上述实现过程中,设置移动轮有利于对装置进行移动,通过扶手与移动轮相互配合,提高了装置的灵活性。
15.在一种具体的实施方案中,所述缓冲底板包括连接杆、第一弹簧以及板体,所述连接杆连接在所述箱体的内部下方,所述板体固定在所述连接杆的上方,所述第一弹簧缠绕在所述连接杆上。
16.在上述实现过程中,设置连接杆和第一弹簧能够对板体提供支撑和缓冲,有利于减少装置移动时对板体造成的晃动。
17.在一种具体的实施方案中,所述螺纹杆上连接有限位板,所述限位板固定在所述螺纹杆的两端。
18.在上述实现过程中,设置限位板有利于对第一螺纹套移动的位置进行限定,从而能够对第一收集夹板、第二收集夹板、第一支撑板以及第二支撑板的移动高度进行限定。
19.在一种具体的实施方案中,所述隔板的两侧开设有滑槽,所述第一收集夹板的一侧连接有滑块,所述滑块滑动连接在所述滑槽内。
20.在上述实现过程中,开设滑槽和设置滑块有利于第一收集夹板随着第二收集夹板一起进行移动,有利于提高第一收集夹板移动的稳定性。
21.在一种具体的实施方案中,所述缓冲夹块包括第二弹簧以及夹套,所述第二弹簧分别连接在所述第一支撑板和所述第二支撑板的一侧,所述夹套与所述第二弹簧连接。
22.在上述实现过程中,通过夹套与夹槽的相互配合实现对硅片进行固定,第二弹簧能够提供缓冲,有利于对硅片进行放置,有利于降低对硅片造成损坏的概率。
23.在一种具体的实施方案中,所述调节杆包括第一杆体、第二杆体以及调节螺栓,所述第一杆体的一端与所述第一支撑板连接,所述第二杆体的一端与所述第二支撑板连接,所述第二杆体与所述第一杆体之间滑动连接,所述调节螺栓连接在所述第一杆体上。
24.在上述实现过程中,通过第一杆体和第二杆体之间滑动连接从而便于对调节杆的长度进行调节,从而有利于对第一支撑板和第二支撑板之间的距离进行调节,当转动螺杆带动第一支撑板进行移动时,通过设置调节杆能够分别对第一支撑板和第二支撑板进行单独调节。
25.在一种具体的实施方案中,所述固定块上连接有第二螺纹套,所述螺杆与所述第二螺纹套之间螺纹连接。
26.在上述实现过程中,第二螺纹套与固定块连通,螺杆通过第二螺纹套与固定块之间进行螺纹连接。
27.在一种具体的实施方案中,所述螺杆上连接有旋转手轮,所述旋转手轮固定在所述螺杆的一端。
28.在上述实现过程中,设置旋转手轮有利于对螺杆进行旋转,有利于提高螺杆转动的灵活性。
附图说明
29.为了更清楚地说明本技术实施方式的技术方案,下面将对实施方式中所需要使用的附图作简单地介绍,应当理解,以下附图仅示出了本技术的某些实施例,因此不应被看作是对范围的限定,对于本领域普通技术人员来讲,在不付出创造性劳动的前提下,还可以根据这些附图获得其他相关的附图。
30.图1是本技术实施方式提供的硅片收集装置第一视角结构示意图;
31.图2为本技术实施方式提供的硅片收集装置第二视角结构示意图;
32.图3为本技术实施方式提供的升降调节组件结构示意图;
33.图4为本技术实施方式提供的储存组件结构示意图;
34.图5为本技术实施方式提供的定位组件结构示意图。
35.图中:100-壳体组件;110-箱体;120-箱门;122-拉手;130-固定板;132-锁扣;140-移动轮;150-扶手;160-缓冲底板;162-连接杆;164-第一弹簧;166-板体;200-升降调节组件;210-连接框;220-电机;230-轴杆;240-螺纹杆;242-限位板;250-第一锥齿轮;260-第二锥齿轮;270-第一螺纹套;300-储存组件;310-隔板;312-滑槽;320-第一收集夹板;322-滑块;330-第二收集夹板;340-夹槽;350-连接板;360-第一支撑板;362-滑动连接块;370-第二支撑板;380-缓冲夹块;382-第二弹簧;384-夹套;400-定位组件;410-调节杆;412-第一杆体;414-第二杆体;416-调节螺栓;420-固定块;422-第二螺纹套;430-螺杆;432-旋转手轮。
具体实施方式
36.下面将结合本技术实施例中的附图,对本技术实施例中的技术方案进行描述。
37.为使本技术实施方式的目的、技术方案和优点更加清楚,下面将结合本技术实施方式中的附图,对本技术实施方式中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实
施方式是本技术一部分实施方式,而不是全部的实施方式。基于本技术中的实施方式,本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施方式,都属于本技术保护的范围。
38.因此,以下对在附图中提供的本技术的实施方式的详细描述并非旨在限制要求保护的本技术的范围,而是仅仅表示本技术的选定实施方式。基于本技术中的实施方式,本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施方式,都属于本技术保护的范围。
39.应注意到:相似的标号和字母在下面的附图中表示类似项,因此,一旦某一项在一个附图中被定义,则在随后的附图中不需要对其进行进一步定义和解释。
40.在本技术的描述中,需要理解的是,术语“中心”、“纵向”、“横向”、“长度”、“宽度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”、“顺时针”、“逆时针”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系,仅是为了便于描述本技术和简化描述,而不是指示或暗示所指的设备或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作,因此不能理解为对本技术的限制。
41.此外,术语“第一”、“第二”仅用于描述目的,而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此,限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本技术的描述中,“多个”的含义是两个或两个以上,除非另有明确具体的限定。
42.在本技术中,除非另有明确的规定和限定,术语“安装”、“相连”、“连接”、“固定”等术语应做广义理解,例如,可以是固定连接,也可以是可拆卸连接,或成一体;可以是直接相连,也可以通过中间媒介间接相连,可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系。对于本领域的普通技术人员而言,可以根据具体情况理解上述术语在本技术中的具体含义。
43.在本技术中,除非另有明确的规定和限定,第一特征在第二特征之“上”或之“下”可以包括第一和第二特征直接接触,也可以包括第一和第二特征不是直接接触而是通过它们之间的另外的特征接触。而且,第一特征在第二特征“之上”、“上方”和“上面”包括第一特征在第二特征正上方和斜上方,或仅仅表示第一特征水平高度高于第二特征。第一特征在第二特征“之下”、“下方”和“下面”包括第一特征在第二特征正下方和斜下方,或仅仅表示第一特征水平高度小于第二特征。
44.请参阅图1-5,本技术提供一种技术方案:一种硅片收集装置包括壳体组件100、升降调节组件200、储存组件300以及定位组件400。
45.请参阅图1-5,壳体组件100包括箱体110、箱门120、固定板130以及缓冲底板160,箱门120转动连接在箱体110的一侧,固定板130连接在箱门120与箱门120之间,箱门120上设置有拉手122,箱门120与固定板130之间连接有锁扣132。设置拉手122方便将箱门120打开,设置锁扣132有利于对箱门120和固定板130进行固定。箱体110的底部连接有移动轮140,箱体110的一侧连接有扶手150。设置移动轮140有利于对装置进行移动,通过扶手150与移动轮140相互配合,提高了装置的灵活性。缓冲底板160连接在箱体110的内部下方,缓冲底板160包括连接杆162、第一弹簧164以及板体166,连接杆162连接在箱体110的内部下方,板体166固定在连接杆162的上方,第一弹簧164缠绕在连接杆162上。设置连接杆162和
第一弹簧164能够对板体166提供支撑和缓冲,有利于减少装置移动时对板体166造成的晃动。
46.请参阅图1-5,升降调节组件200包括连接框210、电机220、轴杆230、螺纹杆240、第一锥齿轮250、第二锥齿轮260以及第一螺纹套270,连接框210固定在箱体110的内部两侧,电机220固定在箱体110的外部两侧,轴杆230和螺纹杆240设置在箱体110的内部,轴杆230与电机220的输出端连接,螺纹杆240的一端与连接框210转动连接,螺纹杆240上连接有限位板242,限位板242固定在螺纹杆240的两端。设置限位板242有利于对第一螺纹套270移动的位置进行限定,从而能够对第一收集夹板320、第二收集夹板330、第一支撑板360以及第二支撑板370的移动高度进行限定。第一锥齿轮250固定在轴杆230上,第二锥齿轮260固定在螺纹杆240的另一端,第二锥齿轮260与第一锥齿轮250啮合连接,第一螺纹套270螺纹套接在螺纹杆240上。
47.请参阅图1-5,储存组件300包括隔板310、第一收集夹板320、第二收集夹板330、连接板350、第一支撑板360、第二支撑板370以及缓冲夹块380,隔板310连接在缓冲底板160的上方,第一收集夹板320与隔板310之间滑动连接,第二收集夹板330的一侧与第一螺纹套270固定连接,隔板310的两侧开设有滑槽312,第一收集夹板320的一侧连接有滑块322,滑块322滑动连接在滑槽312内。开设滑槽312和设置滑块322有利于第一收集夹板320随着第二收集夹板330一起进行移动,有利于提高第一收集夹板320移动的稳定性。第二收集夹板330和第一收集夹板320上开设有夹槽340,连接板350连接在第一收集夹板320和第二收集夹板330之间的下方,第一支撑板360和第二支撑板370滑动连接在连接板350的上表面,第一支撑板360的一侧滑动连接有滑动连接块362,缓冲夹块380分别连接在第一支撑板360和第二支撑板370的一侧。缓冲夹块380包括第二弹簧382以及夹套384,第二弹簧382分别连接在第一支撑板360和第二支撑板370的一侧,夹套384与第二弹簧382连接。通过夹套384与夹槽340的相互配合实现对硅片进行固定,第二弹簧382能够提供缓冲,有利于对硅片进行放置,有利于降低对硅片造成损坏的概率。
48.请参阅图1-5,定位组件400包括调节杆410、固定块420以及螺杆430,调节杆410连接在第一支撑板360和第二支撑板370之间,固定块420固定在箱体110的上方,螺杆430与固定块420之间螺纹连接,螺杆430的一端与滑动连接块362转动连接。调节杆410包括第一杆体412、第二杆体414以及调节螺栓416,第一杆体412的一端与第一支撑板360连接,第二杆体414的一端与第二支撑板370连接,第二杆体414与第一杆体412之间滑动连接,调节螺栓416连接在第一杆体412上。通过第一杆体412和第二杆体414之间滑动连接从而便于对调节杆410的长度进行调节,从而有利于对第一支撑板360和第二支撑板370之间的距离进行调节,当转动螺杆430带动第一支撑板360进行移动时,通过设置调节杆410能够分别对第一支撑板360和第二支撑板370进行单独调节。固定块420上连接有第二螺纹套422,螺杆430与第二螺纹套422之间螺纹连接。第二螺纹套422与固定块420连通,螺杆430通过第二螺纹套422与固定块420之间进行螺纹连接。螺杆430上连接有旋转手轮432,旋转手轮432固定在螺杆430的一端。设置旋转手轮432有利于对螺杆430进行旋转,有利于提高螺杆430转动的灵活性。
49.该硅片收集装置的工作原理:使用时,通过启动电机220带动轴杆230进行转动,从而带动第一锥齿轮250进行转动,第一锥齿轮250和第二锥齿轮260啮合连接从而使得螺纹
杆240进行转动,第一螺纹套270螺纹套接在螺纹杆240上,从而使得第一螺纹套270相对于螺纹杆240进行移动,从而带动第二收集夹板330进行移动,第二收集夹板330与第一收集夹板320进行连接,再通过开设滑槽312和设置滑块322从而使得第一收集夹板320与第二收集夹板330一起移动,有利于将第一收集夹板320和第二收集夹板330的底部升到箱体110的上方,通过夹套384与夹槽340的相互配合实现对硅片进行固定,第二弹簧382能够提供缓冲,有利于对底部的硅片进行放置,有利于降低对硅片造成损坏的概率,通过第一杆体412和第二杆体414之间滑动连接从而便于对调节杆410的长度进行调节,从而有利于对第一支撑板360和第二支撑板370之间的距离进行调节,当转动螺杆430带动第一支撑板360进行移动时,通过设置调节杆410能够分别对第一支撑板360和第二支撑板370进行单独调节。从而实现第二收集夹板330和第一支撑板360以及第一收集夹板320和第二支撑板370对不同尺寸的硅片进行单独固定,设置移动轮140有利于对装置进行移动,通过扶手150与移动轮140相互配合,提高了装置的灵活性。改善了不方便对箱子的底部进行硅片摆放,导致摆放的过程中容易对硅片的外边造成磕碰,影响了硅片的表面质量,同时目前的收集转运装置不能够对硅片进行单独摆放,增加了硅片损坏的概率,以及不能够对不同尺寸的硅片进行单独固定的问题。
50.需要说明的是,电机220具体的型号规格需根据该装置的实际规格等进行选型确定,具体选型计算方法采用本领域现有技术,故不再详细赘述。
51.电机220的供电及其原理对本领域技术人员来说是清楚的,在此不予详细说明。
52.以上所述仅为本技术的实施例而已,并不用于限制本技术的保护范围,对于本领域的技术人员来说,本技术可以有各种更改和变化。凡在本技术的精神和原则之内,所作的任何修改、等同替换、改进等,均应包含在本技术的保护范围之内。应注意到:相似的标号和字母在下面的附图中表示类似项,因此,一旦某一项在一个附图中被定义,则在随后的附图中不需要对其进行进一步定义和解释。
53.以上所述,仅为本技术的具体实施方式,但本技术的保护范围并不局限于此,任何熟悉本技术领域的技术人员在本技术揭露的技术范围内,可轻易想到变化或替换,都应涵盖在本技术的保护范围之内。因此,本技术的保护范围应所述以权利要求的保护范围为准。