喷墨印刷设备
1.相关申请的交叉引用
2.本技术要求于2020年7月22日提交的第10-2020-0090812号韩国专利申请的优先权和权益，该韩国专利申请出于所有目的通过引用并入本文，如同在本文中充分阐述一样。
技术领域
3.本发明的实施方式总体上涉及喷墨印刷设备，并且更具体地，涉及包括具有堆叠的喷嘴板的头部单元的喷墨印刷设备。


背景技术：

4.喷墨印刷工艺是一种利用彩色油墨通过将油墨喷溅到由分隔壁分隔的预定区域中来实现图像的技术。近来，喷墨印刷工艺已经广泛地用于显示装置(诸如，有机发光显示(oled)装置和液晶显示(lcd)装置)的制造工艺中。当通过喷墨印刷工艺印刷显示装置的图案时，与沉积工艺相比，可以仅用少量的材料来生产元件，并且由于制造工艺的简化，可以大大降低成本。
5.然而，当在通过其喷射油墨的喷嘴中出现墨渍或部分堵塞时，可能无法保证和确保油墨的直线度，并且因此油墨冲击位置的可再现性可能劣化。在这种情况下，可能出现图案无法以精确形状印刷的缺陷。此外，由于用于去除喷嘴的墨渍或堵塞的维护工作，生产率可能降低。
6.在本背景技术部分中公开的以上信息仅用于理解本发明构思的背景技术，并且因此，其可以包含不构成现有技术的信息。


技术实现要素：

7.申请人发现，当使用包括具有喷嘴的头部单元的喷墨印刷设备通过喷墨印刷工艺制造显示装置时，喷墨印刷设备的头部单元的喷嘴可能容易被阻塞，使得喷墨印刷设备的再现性可能劣化，并且可能增加喷墨印刷设备的维护成本。
8.具有用于制造根据本发明的原理和实现方式构造的显示装置的头部单元的喷墨印刷设备能够通过增加喷墨印刷设备的头部单元的更换周期来改善生产效率。例如，喷墨印刷设备包括头部单元的堆叠的喷嘴板，并且堆叠的喷嘴板可以通过拆卸和去除堆叠的喷嘴板中的有缺陷的喷嘴板而容易地修复。因此，可以缩短头部单元的更换时间，从而改善喷墨印刷设备的生产效率。
9.根据本发明的一方面，喷墨印刷设备包括：通道板，在通道板中设置有头部腔室；以及多个喷嘴板，设置在通道板下方，多个喷嘴板包括与头部腔室流体连接的喷嘴，其中：多个喷嘴板彼此堆叠，以及多个喷嘴板的喷嘴由穿过多个喷嘴板且彼此重叠的多个通孔形成。
10.多个喷嘴板可以包括从多个喷嘴板中的至少一个的侧表面向外延伸的突起部。
11.在多个喷嘴板中的每个的底表面上可以设置有防水层。
12.在防水层和多个喷嘴板中的在防水层下方的喷嘴板之间可以设置有粘合剂层。
13.粘合剂层和多个喷嘴板中的每个的上表面之间的粘合强度可以大于粘合剂层和防水层之间的粘合强度。
14.多个喷嘴板的多个通孔中的每个可以包括具有第一宽度的上内侧表面和具有小于第一宽度的第二宽度的下内侧表面。
15.多个喷嘴板可以包括第一喷嘴板和设置在第一喷嘴板上的第二喷嘴板，以及第一喷嘴板的通孔的第一宽度可以大于第二喷嘴板的通孔的第一宽度。
16.多个喷嘴板可以包括：第一喷嘴板；以及第二喷嘴板，设置在第一喷嘴板上。
17.第一防水层可以设置在第一喷嘴板的底表面上，并且第二防水层可以设置在第二喷嘴板的底表面上。
18.多个喷嘴板中的每个可以包括在一个方向上布置的多个子喷嘴板。
19.将理解的是，前面的概述性描述和下面的详细描述二者都是示例性的和说明性的，并且旨在提供对所要求保护的本发明的进一步说明。
附图说明
20.包括附图以提供对本发明的进一步理解，且将附图并入本说明书中并构成本说明书的一部分，附图示出了本发明的实施方式并且与说明书一起用于说明本发明构思。
21.图1是根据本发明的原理构造的显示装置的实施方式的平面图。
22.图2是图1的显示装置的剖视图。
23.图3、图4、图5、图6和图7是示出图1的显示装置的制造工艺的一部分的剖视图。
24.图8是根据本发明的原理构造的喷墨印刷设备的实施方式的立体图。
25.图9是图8的喷墨印刷设备的头部单元的立体图。
26.图10是图8的喷墨印刷设备的头部单元的仰视图。
27.图11是沿着图10的线i-i'截取的剖视图。
28.图12是示出根据本发明原理的检查图8的喷墨印刷设备的过程的方法的流程图。
29.图13和图14是使用图8的喷墨印刷设备已在其上形成冲击点的衬底的立体图。
30.图15、图16和图17是示出从被污染的头部单元去除喷嘴板的过程的剖视图。
31.图18是图8的喷墨印刷设备的头部单元的喷嘴板的另一实施方式的立体图。
32.图19是图8的喷墨印刷设备的头部单元的喷嘴板的另一实施方式的立体图。
33.图20是图8的喷墨印刷设备的头部单元的喷嘴板的另一实施方式的立体图。
34.图21是图8的喷墨印刷设备的头部单元的喷嘴板的另一实施方式的剖视图。
35.图22是图8的喷墨印刷设备的头部单元的喷嘴板的另一实施方式的剖视图。
36.图23是图8的喷墨印刷设备的头部单元的喷嘴板的另一实施方式的剖视图。
具体实施方式
37.在下面的描述中，出于说明的目的，阐述了许多具体细节，以提供对本发明的各种实施方式或实现方式的透彻理解。如本文中所使用的，“实施方式”和“实现方式”是可互换的词语，其采用本文中所公开的发明构思中的一个或多个构思的装置或方法的非限制性示例。然而，显而易见的是，各种实施方式可以在没有这些具体细节或者具有一个或多个等效
布置的情况下实践。在其他示例中，以框图形式示出了公知的结构和装置，以避免不必要地混淆各种实施方式。此外，各种实施方式可以是不同的，但是不必是排它的。例如，在不背离本发明构思的情况下，实施方式的特定形状、配置和特性可以在另一实施方式中使用或实施。
38.除非另有说明，否则示出的实施方式应被理解为提供一些方式的不同细节的示例性特征，其中可以在实践中以所述一些方式来实施本发明构思。因此，除非另有说明，否则在不背离本发明构思的情况下，各种实施方式的特征、部件、模块、层、膜、面板、区域和/或方面等(下文中，单独称为或统称为“元件”)可以另行组合、分离、互换和/或重新布置。
39.在附图中使用交叉影线和/或阴影通常是为了使相邻元件之间的边界清楚。因此，除非有说明，否则交叉影线或阴影的存在或不存在都不传达或指示对特定材料、材料性质、尺寸、比例、图示元件之间的共性和/或元件的任何其他特性、属性、性质等的任何偏好或要求。此外，在附图中，出于清楚和/或描述的目的，元件的尺寸和相对尺寸可被夸大。当可以不同地实施实施方式时，具体处理顺序可以与所描述的顺序不同地执行。例如，两个连续地描述的过程可以基本上同时地执行，或者以与所描述的顺序相反的顺序执行。此外，相同的附图标记表示相同的元件。
40.当诸如层的元件被称为位于另一元件或层“上”、“连接至”或“联接至”另一元件或层时，其可以直接位于另一元件或层上、直接连接至或联接至另一元件或层，或者可以存在介于中间的元件或层。然而，当元件或层被称为“直接位于”另一元件或层“上”、“直接连接至”或“直接联接至”另一元件或层时，不存在介于中间的元件或层。为此，术语“连接”可以表示在存在或者不存在介于中间的元件的情况下的物理连接、电连接和/或流体连接。此外，d1轴、d2轴和d3轴不限于直角坐标系的三个轴(诸如，x轴、y轴和z轴)，且可以以更宽泛的含义进行解释。例如，d1轴、d2轴和d3轴可以彼此垂直，或者可以表示彼此不垂直的不同方向。出于本公开的目的，“x、y和z中的至少一个”和“选自由x、y和z构成的组中的至少一个”可以解释为仅x、仅y、仅z或者x、y和z中的两个或更多个的任何组合，诸如以xyz、xyy、yz和zz为例。如本文中所使用的，术语“和/或”包括相关所列项目中的一个或多个的任何和所有组合。
41.虽然术语“第一”、“第二”等可以在本文中用于描述各种类型的元件，但是这些元件不应受这些术语的限制。这些术语用于将一个元件与另一元件区分开。因此，在不背离本公开的教导的情况下，下面讨论的第一元件可以称为第二元件。
42.诸如“下面(beneath)”、“下方(below)”、“之下(under)”、“下(lower)”、“上方(above)”、“上(upper)”、“之上(over)”、“较高(higher)”、“侧(side)”(例如，如“侧壁(sidewall)”中那样)等的空间相对术语可以在本文中用于描述性目的，并且从而用于描述如附图中所示的一个元件与另一(些)元件的关系。除了附图中描绘的取向之外，空间相对术语旨在涵盖设备在使用、操作和/或制造中的不同取向。例如，如果将附图中的设备翻转，则描述为在其他元件或特征“下方”或“下面”的元件将随之取向为在其他元件或特征“上方”。因此，示例性术语“下方”可以涵盖上方和下方两种取向。此外，设备可以以其他方式取向(例如，旋转90度或处于其他取向)，并且因而相应地解释本文中所使用的空间相对描述词。
43.本文中使用的术语是出于描述特定实施方式的目的，而非旨在进行限制。除非上
下文另有明确指示，否则如本文中所使用的，单数形式“一”、“一个”和“该”旨在也包括复数形式。此外，当在本说明书中使用时，术语“包含”、“包含有”、“包括”和/或“包括有”表示所陈述的特征、整体、步骤、操作、元件、部件和/或其组的存在，但不排除一个或多个其他特征、整体、步骤、操作、元件、部件和/或其组的存在或添加。还应注意的是，如本文中所使用的，术语“基本上”、“约”和其他类似术语用作近似术语而不用作程度术语，并且因此用于为本领域普通技术人员将认识到的测量值、计算值和/或提供值中的固有偏差留有余量。
44.本文中参照作为理想化的实施方式和/或中间结构的示意图的剖面图和/或分解图描述各种实施方式。如此，将预期到由例如制造技术和/或公差而导致的与图示形状的偏差。因此，本文中所公开的实施方式不应一定被解释为限于特定示出的区域形状，而是包括由例如制造引起的形状的偏差。以这种方式，附图中示出的区域本质上可以是示意性的，并且这些区域的形状可以不反映装置的区域的实际形状，并且因此，不一定旨在进行限制。
45.除非另有限定，否则本文中使用的所有术语(包括技术术语和科学术语)具有与本公开所属领域的普通技术人员通常理解的含义相同的含义。术语，诸如在常用词典中限定的术语，应解释为具有与其在相关技术的上下文中的含义一致的含义，并且不应以理想化或过度正式的含义进行解释，除非本文中明确地如此限定。
46.在整个说明书中，相同的附图标记表示相同的部件。
47.在下文中，将参照附图描述实施方式。
48.图1是根据实施方式的显示装置的平面图。
49.显示装置1可以表示具有显示屏幕的任何电子装置。显示装置1的示例可以包括提供显示屏幕的电视、膝上型计算机、监视器、广告牌、移动电话、智能电话、平板个人计算机(pc)、电子手表、智能手表、手表电话、移动通信终端、电子笔记本电脑、电子书、便携式多媒体播放器(pmp)、导航装置、游戏机、数码相机、物联网装置等。图1中所示的显示装置1是电视。显示装置1可以具有高分辨率或超高分辨率，诸如hd、uhd、4k和8k。然而，实施方式不限于此。
50.显示装置1针对每个位置可以包括用于传输信号或改变光的波长的各种图案。通过图案化工艺形成显示装置1的图案。图案化工艺可以包括光工艺、喷墨工艺等。所述图案中的一些可以使用喷墨印刷设备(例如，图8的1000)通过喷墨工艺形成。以下实施方式示出了通过喷墨工艺在其中形成一些图案的显示装置1。
51.可以通过显示方法对显示装置1进行不同分类。例如，显示装置1可以分类成有机发光显示(有机led)装置、无机发光显示(无机led)装置、量子点发光显示(qed)装置、微米led显示装置、纳米led显示装置、等离子体显示装置(pdp)、场发射显示(fed)装置和阴极射线管(crt)显示装置、液晶显示(lcd)装置、电泳显示(epd)装置等。在下文中，将对有机发光显示装置进行描述作为显示装置1的示例，并且除非需要特殊区别，否则应用于实施方式的有机发光显示装置将被简单地称为显示装置1。然而，实施方式不限于此。例如，以上提及或本领域已知的其它显示装置可以应用于实施方式。
52.参照图1，显示装置1可以包括显示区域dpa和非显示区域nda。
53.显示区域dpa可以包括多个像素px。多个像素px可以布置成矩阵。在平面图中，每个像素px的形状可以是矩形或正方形。然而，实施方式不限于此。例如，每个像素px可以具有菱形形状，其每条边相对于显示装置1的一侧方向是倾斜的。像素px可以包括各种颜色像
素px。例如，像素px可以包括红色的第一颜色像素px、绿色的第二颜色像素px和蓝色的第三颜色像素px，但实施方式不限于此。彩色像素px可以交替地布置成条纹类型或pentile类型。
54.非显示区域nda可以设置在显示区域dpa周围。非显示区域nda可以完全或部分地围绕显示区域dpa。显示区域dpa可以具有矩形形状，并且非显示区域nda可以设置成与显示区域dpa的四条边相邻。非显示区域nda可以形成显示装置1的边框。
55.在非显示区域nda中，可以设置用于驱动显示区域dpa的驱动电路或驱动元件。在实施方式中，设置在显示装置1的显示衬底上的焊盘部分可以设置在设置成与显示装置1的第一长边(例如，图1中的下侧)相邻的第一非显示区域nda和设置成与显示装置1的第二长边(例如，图1中的上侧)相邻的第二非显示区域nda中。外部装置exd可以安装在焊盘部分的焊盘电极上。外部装置exd可以包括例如连接膜、印刷电路板、驱动器集成电路(dic)、连接器、布线连接膜等。直接形成在显示装置1的显示衬底上的扫描驱动器sdr可以设置在设置成与显示装置1的第一短边(例如，图1中的左侧)相邻的第三非显示区域nda中。
56.图2是根据实施方式的显示装置的剖视图。
57.参照图2，显示装置1可以包括第一显示衬底10、面对第一显示衬底10的第二显示衬底20、以及插置在第一显示衬底10和第二显示衬底20之间的填充层30。例如，填充层30可以将第一显示衬底10结合到第二显示衬底20。
58.第一显示衬底10可以包括第一衬底11、针对每个像素px设置的像素电极pxe、沿着像素px的边界设置的像素限定层pdl、定位在由像素限定层pdl暴露的开口中并且设置在像素电极pxe上的发光层eml、设置在发光层eml和像素限定层pdl上并且设置成跨过多个像素px的公共电极cme、以及设置在公共电极cme上的封装结构ecl。
59.像素限定层pdl可以与像素电极pxe的边缘部分重叠。发光层eml包括有机发光材料。不管像素px的种类/类型如何，发光层eml的有机发光材料均可以发射相同的颜色。例如，发光层eml在红色像素px、绿色像素px和蓝色像素px中的全部中均可以发射蓝光。然而，实施方式不限于此。像素限定层pdl可以包括暴露像素电极pxe的开口。光阻挡区域ba和光透射区域ta可以分别由像素限定层pdl和像素限定层pdl的开口限定。
60.封装结构ecl可以包括至少一个薄膜封装层。例如，薄膜封装层可以包括第一无机层17、有机层18和第二无机层19。
61.第二显示衬底20可以包括第二衬底21、设置在第二衬底21的面对第一衬底11的一个表面上的光阻挡构件bml、在第二衬底21的一个表面上设置在由光阻挡构件bml限定的开口中的滤色器层cfl、设置在滤色器层cfl和光阻挡构件bml上的第一封盖层22、设置在第一封盖层22上并且与光阻挡构件bml重叠的分隔壁ptl、设置在由分隔壁ptl围绕的空间中的波长转换层wcl和光透射层tpl、以及设置在波长转换层wcl、光透射层tpl和分隔壁ptl上的第二封盖层23。
62.光阻挡构件bml可以设置在光阻挡区域ba中以与像素限定层pdl重叠，并且包括暴露第二衬底21的一个表面同时与光透射区域ta重叠的开口。
63.滤色器层cfl可以包括设置在第一颜色像素px中的第一滤色器层cfl1、设置在第二颜色像素px中的第二滤色器层cfl2和设置在第三颜色像素px中的第三滤色器层cfl3。例如，第一滤色器层cfl1可以是红色(r)滤色器层，第二滤色器层cfl2可以是绿色(g)滤色器
层，并且第三滤色器层cfl3可以是蓝色(b)滤色器层。
64.波长转换层wcl可以包括设置在第一颜色像素px中的第一波长转换图案wcl1和设置在第二颜色像素px中的第二波长转换图案wcl2。光透射层tpl可以设置在第三颜色像素px中。
65.第一波长转换图案wcl1可以包括第一基础树脂brs1和设置在第一基础树脂brs1中的第一波长转换材料wcp1。第二波长转换图案wcl2可以包括第二基础树脂brs2和设置在第二基础树脂brs2中的第二波长转换材料wcp2。光透射层tpl可以包括第三基础树脂brs3和设置在第三基础树脂brs3中的散射体scp。
66.第一基础树脂brs1、第二基础树脂brs2和第三基础树脂brs3可以包括透光有机材料。例如，第一基础树脂brs1、第二基础树脂brs2和第三基础树脂brs3可以包括环氧树脂、丙烯酸树脂、cardo树脂、酰亚胺树脂等。第一基础树脂brs1、第二基础树脂brs2和第三基础树脂brs3可以由相同的材料形成，但实施方式不限于此。
67.散射体scp可以是金属氧化物颗粒或有机颗粒。金属氧化物的示例可以包括氧化钛(tio2)、氧化锆(zro2)、氧化铝(al2o3)、氧化铟(in2o3)、氧化锌(zno)、氧化锡(sno2)等。有机颗粒的材料的示例可以包括丙烯酸树脂和氨基甲酸酯树脂等。
68.第一波长转换材料wcp1可以将第三颜色光转换为第一颜色光，并且第二波长转换材料wcp2可以将第三颜色光转换为第二颜色光。第一波长转换材料wcp1和第二波长转换材料wcp2可以是量子点、量子棒、磷光体等。量子点的示例可以包括iv族化合物纳米晶体、ii-vi族化合物纳米晶体、iii-v族化合物纳米晶体、iv-vi族化合物纳米晶体及其组合。第一波长转换图案wcl1和第二波长转换图案wcl2还可以包括用于提高波长转换效率的散射体scp。
69.设置在第三颜色像素px中的光透射层tpl透射从发光层eml发射的第三颜色光，同时保持光的波长。光透射层tpl的散射体scp可以用于控制发射穿过光透射层tpl的光的发射路径。光透射层tpl可以不包括波长转换材料。
70.填充层30可以设置在第一显示衬底10和第二显示衬底20之间。填充层30可以填充第一显示衬底10和第二显示衬底20之间的空间，并且可以将第一显示衬底10结合到第二显示衬底20。填充层30可以设置在第一显示衬底10的封装结构ecl和第二显示衬底20的第二封盖层23之间。
71.如上所述，在显示装置1中，像素电极pxe、像素限定层pdl、发光层eml、光阻挡构件bml、滤色器层cfl、分隔壁ptl、波长转换层wcl、光透射层tpl等具有特定的图案形状。为了形成这样的构件，可以使用光工艺或喷墨工艺。在下文中，将通过根据实施方式的第二显示衬底20的制造工艺来详细描述图案化工艺。
72.图3、图4、图5、图6和图7是示出根据实施方式的显示装置的制造工艺的一部分的剖视图，并且示意性地示出第二显示衬底20的制造工艺。
73.首先，参照图3，可以在第二衬底21的一个表面上形成光阻挡构件bml。例如，光阻挡构件bml可以在涂覆光阻挡材料之后通过曝光/显影工艺或光刻工艺被图案化。光阻挡构件bml可以在第二衬底21的一个表面上形成网格图案。
74.接下来，参照图4，可以在第二衬底21的一个表面上形成滤色器层cfl，并且滤色器层cfl可以(例如，在水平方向上)设置在光阻挡构件bml之间。滤色器层cfl可以形成在与光
透射区域ta中的每个重叠的区域中。滤色器层cfl可以通过曝光/显影工艺或光刻工艺被图案化，或者可以使用喷墨印刷设备(例如，图8的1000)被图案化。
75.随后，参照图5，形成覆盖滤色器层cfl和光阻挡构件bml的第一封盖层22，并且在与第一光阻挡区域ba1、第二光阻挡区域ba2和第三光阻挡区域ba3重叠的区域中形成分隔壁ptl。分隔壁ptl可以通过例如曝光/显影工艺或光刻工艺被图案化。
76.此后，在由分隔壁ptl围绕的空间中形成波长转换层wcl和光透射层tpl。在实施方式中，可以使用喷墨印刷设备1000形成波长转换层wcl和光透射层tpl。
77.例如，在图5中所示的步骤之后，参照图6，可以通过使用喷墨印刷设备1000将油墨喷溅到第一光透射区域ta1上来形成第一波长转换图案wcl1。第一波长转换图案wcl1可以形成在由分隔壁ptl围绕的第一光透射区域ta1中。第一波长转换图案wcl1可以通过经由喷墨印刷设备1000的喷嘴将油墨喷溅到第一光透射区域ta1上来形成。
78.接下来，参照图7，可以通过使用喷墨印刷设备1000将油墨喷溅到第二光透射区域ta2上来形成第二波长转换图案wcl2。第二波长转换图案wcl2可以形成在由分隔壁ptl围绕的第二光透射区域ta2中。第二波长转换图案wcl2可以通过经由喷嘴或喷墨印刷头(不同于用于形成第一波长转换图案wcl1的喷嘴或喷墨印刷头)将油墨喷溅到第二光透射区域ta2上来形成。在另一实施方式中，可以使用与用于形成第一波长转换图案wcl1的喷墨印刷设备1000不同的喷墨印刷设备来形成第二波长转换图案wcl2。
79.例如，形成光透射层tpl的工艺类似于形成第一波长转换图案wcl1和第二波长转换图案wcl2的工艺。光透射层tpl可以形成在由分隔壁ptl围绕的第三光透射区域ta3中。光透射层tpl可以通过与用于形成第一波长转换图案wcl1和第二波长转换图案wcl2的喷嘴不同的喷嘴将油墨喷溅到第三光透射区域ta3上来形成。
80.在下文中，将详细描述上述喷墨印刷设备1000。
81.图8是示出根据实施方式的喷墨印刷设备的立体图。
82.参照图8，根据实施方式的喷墨印刷设备1000可以包括基础框架130、台150、台移动单元160、印刷头移动单元320、330和340、以及头部单元700。
83.台150可以设置在基础框架130上。台150提供用于放置目标衬底sub的空间。例如，待经受印刷工艺的目标衬底sub可以安装在台150的顶表面上。可以将衬底对准器安装在台150上方以对准目标衬底sub。衬底对准器可以由石英或陶瓷材料制成，并且可以设置成静电卡盘的形式，但实施方式不限于此。
84.台150可以由能够透射光的透明或半透明材料或能够反射光的不透明材料制成。台150的整个平面形状可以类似于(或基本上等同于)目标衬底sub的平面形状。例如，当目标衬底sub具有矩形形状时，台150的整体形状可以是矩形，而当目标衬底sub具有圆形形状时，台150的整体形状可以是圆形。在附图中，示出了台150具有矩形形状，其中长边在第二方向d2上设置，而短边在第一方向d1上设置。
85.台150可以固定到台移动单元160，并且可以随着台移动单元160的移动一起移动。台移动单元160可以安装在基础框架130上，并可沿着第一方向d1在基础框架130上移动。当提供台移动单元160时，可以省略用于在第一方向d1上移动头部单元700的第二水平移动单元320。稍后将给出其详细描述。
86.头部单元700可以(例如，在第三方向d3上)设置在台150上方。头部单元700可以在
目标衬底sub上印刷油墨。喷墨印刷设备1000还可以包括油墨供应单元(诸如，油墨盒)，并且可以通过头部单元700向目标衬底sub喷溅(或喷射)从油墨供应单元供应的油墨。
87.油墨可以以溶液状态提供。油墨可以包括例如溶剂和包含在溶剂中的有机材料。有机材料可以分散在溶剂中。有机材料可以是以上参照图2描述的基础树脂、散射体和波长转换材料。在除去溶剂之后，有机材料可以最终保留在目标衬底sub上。溶剂可以是在室温下或通过加热蒸发或挥发的材料。溶剂可以是丙酮、水、酒精、甲苯等。
88.头部单元700可以安装在支承单元310上并且与台150间隔开预定距离。支承单元310可以包括在水平方向(例如，第一方向d1或第二方向d2)上延伸的水平支承部分311、以及连接到水平支承部分311并在竖直方向(例如，第三方向d3)上延伸的竖直支承部分312。水平支承部分311的延伸方向可以与第二方向d2相同，第二方向d2是台150的长边方向。竖直支承部分312的端部可以放置在基础框架130上。
89.头部单元700和台150之间的距离可以通过支承单元310的高度来调节。当将目标衬底sub放置在台150上时，可以通过将头部单元700设置成与目标衬底sub具有特定距离，而在可确保处理空间的范围内调节头部单元700与台150之间的距离。
90.例如，虽然在附图中示出了一个头部单元700，但是实施方式不限于此。例如，在向目标衬底sub提供多种油墨的工艺的情况下，可以提供与油墨的种类相同数量的头部单元700。
91.头部单元700可以通过印刷头移动单元在水平方向或竖直方向上移动。印刷头移动单元可以包括第一水平移动单元330、第二水平移动单元320和竖直移动单元340。
92.第一水平移动单元330可以安装在水平支承部分311上，并且第二水平移动单元320可以安装在基础框架130上。
93.第一水平移动单元330可以在水平支承部分311上在第二方向d2上移动头部单元700。第二水平移动单元320可以在第一方向d1上移动竖直支承部分312，以在第一方向d1上移动安装在支承单元310上的头部单元700。
94.通过第一水平移动单元330和第二水平移动单元320的水平移动，即使使用其面积小于目标衬底sub的面积的头部单元700来执行印刷工艺，也可以将油墨喷溅到目标衬底sub的整个区域。
95.竖直移动单元340可以通过在竖直方向上提升或降低水平支承部分311上的头部单元700来调节头部单元700和台150之间的距离。例如，当目标衬底sub被放置在台150上时，可以通过利用竖直移动单元340将头部单元700设置成与目标衬底sub具有特定距离，而在可确保处理空间的范围内调整头部单元700的位置。
96.图9是根据实施方式的头部单元的立体图。图10是根据实施方式的头部单元的仰视图。图11是沿着图10的线i-i'截取的剖视图。将参照图9、图10和图11更详细地描述头部单元700的配置。
97.头部单元700可以包括头部分710和主体部分720。
98.主体部分720可以包括形成在其中的主体腔室。油墨可以被供应到主体部分720的主体腔室，并且供应的油墨可以通过稍后将描述的头部分710的第一内部通道sm流入到头部腔室hc。如稍后将描述的，尚未通过喷嘴nz喷射的油墨可以通过第二内部通道rm返回到主体腔室。
99.头部分710可以形成头部单元700的底表面。例如，头部分710可以面对设置在头部单元700下方的台150。头部分710可以具有沿着一个方向延伸的形状。头部分710的延伸方向可以与支承单元310的水平支承部分311的延伸方向相同。例如，头部分710的延伸方向可以是第二方向d2，第二方向d2是台150的长边方向。
100.头部分710可以包括喷嘴nz、内部通道sm和rm以及头部腔室hc。头部分710还可以包括堆叠的多个板np和pp。多个板np和pp可以包括一个或多个喷嘴板np和一个或多个通道板pp。一个或多个喷嘴板np可以设置在一个或多个通道板pp下方。堆叠的板np和pp的部分可以被去除以限定特定的空间，例如喷嘴nz、内部通道sm和rm以及头部腔室hc。喷嘴nz可以通过一个或多个喷嘴板np形成，并且内部通道sm和rm以及头部腔室hc可以通过一个或多个通道板pp形成。
101.内部通道sm和rm可以包括第一内部通道sm和第二内部通道rm，第一内部通道sm提供油墨通过其从主体腔室移动到头部腔室hc的路径，并且第二内部通道rm提供油墨中的一些部分(未通过喷嘴nz喷射的油墨)通过其返回到主体腔室的路径。
102.用于去除包括在油墨中的杂质的过滤器ft1和ft2可以安装在内部通道sm和rm内。第一过滤器ft1可以设置在第一内部通道sm内，并且第二过滤器ft2可以设置在第二内部通道rm内。第一过滤器ft1和第二过滤器ft2可以使油墨通过，同时过滤出诸如气泡的杂质。
103.第一过滤器ft1可以覆盖第一内部通道sm的整个宽度，并且第二过滤器ft2可以覆盖第二内部通道rm的整个宽度。因此，流过第一内部通道sm的油墨可以全部穿过第一过滤器ft1，并且流过第二内部通道rm的油墨可以全部穿过第二过滤器ft2。
104.头部腔室hc可以提供用于将油墨存储在头部分710中的空间。如稍后将描述的，头部腔室hc的体积可以通过设置在头部腔室hc上的膜mb的变形而改变。
105.多个喷嘴nz可以形成在头部分710中。在实施方式中，包括在一个头部分710中的喷嘴nz的数量可以是128至1800，但是实施方式不限于此。
106.多个喷嘴nz可以提供油墨通过其喷射的路径。多个喷嘴nz可以穿透喷嘴板np，以在空间上连接到内部通道sm和rm以及头部腔室hc。例如，多个喷嘴nz可以与内部通道sm和rm以及头部腔室hc流体连接，例如连通。喷嘴nz的具体形状将稍后描述。
107.喷嘴nz可以形成在喷嘴板np内。如上所述，头部单元700可以包括多个喷嘴板np。多个喷嘴板np可以形成堆叠结构。在实施方式中，头部单元700可以包括三个喷嘴板np。在下文中，将描述包括三个喷嘴板np(例如，构成第二内部通道rm的底表面的第一喷嘴板np1、设置在第一喷嘴板np1下方的第二喷嘴板np2、以及设置在第二喷嘴板np2下方的第三喷嘴板np3)的头部单元700作为示例，但是实施方式不限于一个头部单元700中包括的喷嘴板np的数量。
108.防水层aw可以设置在每个喷嘴板np的底表面上。防水层aw可以覆盖每个喷嘴板np的整个底表面。这里，术语“防水”可以意指防止由于诸如油墨以及水的液体而变湿。具体地，第一防水层aw1可以设置在第一喷嘴板np1的底表面上，第二防水层aw2可以设置在第二喷嘴板np2的底表面上，并且第三防水层aw3可以设置在第三喷嘴板np3的底表面上。
109.喷嘴板np的表面特性可以影响喷射的油墨的液滴尺寸以及喷嘴nz的油墨喷射性能和稳定性。
110.当喷嘴板np的底表面具有亲水性时，随着油墨的反复喷射，喷嘴板np的底表面可
以被油墨等润湿。当喷嘴板np的表面湿润时，油墨在喷嘴板np的表面上与湿油墨形成块状物，使得油墨可以以向下流动的方式喷射，而不形成完全的液滴形状。结果，油墨的喷射方向可能扭曲并且油墨的喷射速度可能降低，从而使印刷质量劣化并且使喷射油墨之后形成的弯月面不稳定。
111.防水层aw可以防止喷嘴板np的底表面被油墨润湿，从而改善以上描述的喷嘴nz的喷射性能。防水层aw可以使用硅化合物或氟化合物形成。例如，可以使用聚四氟乙烯(ptfe)，其是基于特氟龙(teflon)的材料。此外，防水层aw可以通过各种涂覆或沉积方法形成。例如，防水层aw可以通过旋涂、物理气相沉积(pvd)、化学气相沉积(cvd)、原子层沉积(ald)等形成。
112.粘合剂层al可以插置在喷嘴板np之间。喷嘴板np可以通过粘合剂层al彼此结合。具体地，粘合剂层al的顶表面可以接触设置在上喷嘴板np的底表面上的防水层aw，并且粘合剂层al的底表面可以接触下喷嘴板np的顶表面。粘合剂层al可以覆盖喷嘴板np的与相应粘合剂层al接触的整个顶表面。在实施方式中，第一粘合剂层al1可以插置在第一防水层aw1和第二喷嘴板np2之间，并且第二粘合剂层al2可以插置在第二防水层aw2和第三喷嘴板np3之间。
113.粘合剂层al和喷嘴板np的与相应粘合剂层al接触的顶表面之间的粘合强度可以大于粘合剂层al和与相应粘合剂层al接触的防水层aw之间的粘合强度，但实施方式不限于此。当下喷嘴板np拆卸时，设置在上喷嘴板np的底表面上的防水层aw可以不拆卸。粘合剂层al可以是包含热固性树脂的热固性粘合片，但实施方式不限于此。例如，粘合剂层al可以包括包含各种其它材料的粘合剂。
114.喷嘴板np可以包括在厚度方向上(例如，在竖直方向上)穿透每个喷嘴板np的多个通孔。通孔中的每个可以具有宽度向下变窄的内部结构。例如，通孔中的每个可以包括具有第一宽度的上内侧表面和具有小于第一宽度的第二宽度的下内侧表面。然而，实施方式不限于此。例如，通孔中的每个可以具有宽度基本上恒定或者宽度在第三方向d3上朝向一侧增加的结构。例如，通孔的上部分可以具有比其下部分大的宽度。
115.喷嘴板np的通孔可以形成为网格结构。喷嘴板np的通孔可以布置在一列或多个列中，并且每列可以包括多个通孔。在实施方式中，喷嘴板np可以包括形成为第一方向d1上的4列和第二方向d2上的320行的网格结构的通孔，但是实施方式不限于此。
116.由于喷嘴板np形成为堆叠结构，因此形成在相应喷嘴板np中的通孔可以彼此重叠。在堆叠的喷嘴板np中彼此重叠的多个通孔可以构成喷嘴nz。例如，喷嘴nz可以是在喷嘴板np中彼此重叠的一组通孔。喷嘴nz可以具有这样的内部结构：重复与喷嘴板np的数量一样多的数量的以上描述的通孔的内部结构。在实施方式中，多个喷嘴nz可以形成为第一方向d1上的4列和第二方向d2上的320行的网格结构，但实施方式不限于此。
117.从第一内部通道sm供应的油墨可以通过多个喷嘴nz喷射。通过多个喷嘴nz喷射的油墨可以被供应到目标衬底sub的顶表面。在实施方式中，每个喷嘴nz的单个喷射量可以是1至50pl(皮升)，但是实施方式不限于此。通过喷嘴nz喷射的油墨的量可以通过压电驱动器pzd调节。压电驱动器pzd的详细描述将稍后给出。
118.喷嘴板np可以包括向外突出的突起部pt1或pt2。一个喷嘴板np中的突起部pt1或pt2可以是相对于设置在其上的喷嘴板np向外突出的部分。突起部pt1或pt2可以有助于与
相应突起部pt1或pt2物理连接的喷嘴板np的拆卸。例如，可以利用诸如钳子或镊子的工具抓握突起部pt1或pt2，以拆卸与相应的突起部pt1或pt2连接的喷嘴板np。
119.突起部pt1或pt2可以设置在喷嘴板np的数个侧部中的一个上，但是实施方式不限于此，并且可以设置在多个侧部上。在包括突起部pt1或pt2的喷嘴板np中，突起部pt1或pt2可以在喷嘴板np的整个一个侧表面上向外突出，但实施方式不限于此。
120.在实施方式中，第二喷嘴板np2可以包括第一突起部pt1，并且第三喷嘴板np3可以包括第二突起部pt2。与通道板pp接触的第一喷嘴板np1可以不包括突起部pt1或pt2，但实施方式不限于此。例如，第一突起部pt1可以是上突起部，并且第二突起部pt2可以是在上突起部下方的下突起部。
121.喷嘴板np可以由通过具有良好精细加工性能的材料制成的衬底形成。例如，喷嘴板np可以由不锈钢衬底或硅衬底形成，但实施方式不限于此。喷嘴板np的厚度可以是约20μm至100μm。例如，喷嘴板np可以具有约50μm的厚度，但实施方式不限于此。
122.通道板pp可以设置在喷嘴板np上。通道板pp可以形成以上描述的头部腔室hc以及内部通道sm和rm。
123.根据实施方式的头部单元700可以包括多个通道板pp。多个通道板pp可以具有堆叠结构。在实施方式中，头部单元700可以包括五个通道板pp。在下文中，将描述包括五个通道板pp(例如，设置在喷嘴板np上的第五通道板pp5、设置在第五通道板pp5上的第四通道板pp4、设置在第四通道板pp4上的第三通道板pp3、设置在第三通道板pp3上的第二通道板pp2、以及设置在第二通道板pp2上的第一通道板pp1)的头部单元700作为示例，但是实施方式不限于一个头部单元700中包括的通道板pp的数量。此外，形成在通道板pp内的内部通道sm和rm、头部腔室hc等可以布置成不同形式。
124.内部通道sm和rm以及头部腔室hc可以形成在通道板pp内。从主体部分720的主体腔室供应的油墨可以通过油墨入口il流入到通道板pp的内部。头部腔室hc可以形成在通道板pp内，并且通过第一内部通道sm引入的油墨可以存储在其中。将油墨入口il连接到头部腔室hc的第一内部通道sm可以形成在通道板pp内。填充在头部腔室hc中的油墨可以以液滴的形式通过喷嘴nz喷射。可以设置与每个喷嘴nz对应的一个头部腔室hc。尚未通过喷嘴nz喷射的油墨可以通过第二内部通道rm和油墨出口ol返回到主体部分720的主体腔室。
125.油墨入口il可以形成为穿透最上面的衬底，例如第一通道板pp1，并且头部腔室hc可以形成在膜mb和第四通道板pp4之间。
126.第一内部通道sm可以形成在第二通道板pp2和第四通道板pp4之间，并且第二内部通道rm可以形成在第四通道板pp4和喷嘴板np之间。
127.通道板pp可以由通过具有良好精细加工性能的材料制成的衬底形成。例如，通道板pp可以由不锈钢衬底或硅衬底形成，但实施方式不限于此。通道板pp的厚度可以是约20μm至100μm。例如，通道板pp可以具有约50μm的厚度，但实施方式不限于此。
128.通道板pp可以与喷嘴板np由相同的材料制成并且具有相同的厚度，但是实施方式不限于此。
129.例如，在形成堆叠结构的通道板pp之间可以插置有粘合剂层。插置在通道板pp之间的粘合剂层可以由与插置在喷嘴板np之间的粘合剂层al相同的材料制成，但实施方式不限于此。
130.根据实施方式的头部单元700还可以包括压电驱动器pzd。压电驱动器pzd可以控制每个喷嘴nz的油墨喷射量，并且可以针对每个喷嘴nz设置一个。压电驱动器pzd可以设置在头部腔室hc上方。膜mb可以设置在压电驱动器pzd和头部腔室hc之间。膜mb可以形成头部腔室hc的顶部。
131.当驱动信号被施加到压电驱动器pzd时，压电驱动器pzd下方的膜mb可以与压电驱动器pzd一起变形，以减小头部腔室hc的体积并增加头部腔室hc中的压力。由于头部腔室hc中的压力增加，头部腔室hc中的油墨可以通过喷嘴nz喷射到外部。
132.传输到压电驱动器pzd的驱动信号可以由设置在头部单元700外部的压电控制器pzc控制。
133.图12是示出根据实施方式的检查喷墨印刷设备的过程的流程图。图13和图14是使用根据实施方式的喷墨印刷设备已在其上形成冲击点的衬底的立体图。图15、图16和图17是示出从被污染的头部单元去除喷嘴板的过程的剖视图。
134.参照图12、图13和图14，根据实施方式的检查喷墨印刷设备的过程可以包括在目标衬底sub1上重复喷墨印刷n次的过程(步骤s11)。n是正整数。可以从喷墨印刷设备1000喷射油墨以在目标衬底sub1上形成冲击点hp。目标衬底sub1上的冲击点hp可以布置成一排。布置成一排的冲击点hp可以形成假想的冲击线hl。
135.当使用喷墨印刷设备1000在目标衬底sub1上执行多次喷墨印刷时，可能在喷墨印刷设备1000的喷嘴nz中逐渐形成污染物，并且累积的污染物可能引起制造误差。例如，如图14中所示，制造误差可以包括测试衬底sub2上的对准误差d。例如，当在测试衬底sub2上执行喷墨印刷时，冲击点hp可能在测试衬底sub2上形成为远离冲击线hl。考虑到显示装置1的性能，可以优选从冲击线hl到冲击点hp的对准误差d是约10μm或更小。
136.因此，作为测试喷墨印刷设备1000的过程，每当在目标衬底sub1上重复喷墨印刷n次，就可以执行检查测试衬底sub2上的对准误差d的过程(步骤s21)。尽管在目标衬底sub1上的重复喷墨印刷已经描述为执行n次，但是可以基于运行时间执行约10至20小时。
137.印刷在测试衬底sub2上的冲击点hp可能与冲击线hl间隔开，以形成对准误差d。在这种情况下，当不存在具有10μm或更大的对准误差d的冲击点hp时，可以再次在目标衬底sub1上执行喷墨印刷的过程(步骤s11)。这种情况的过程可以比先前执行的喷墨印刷过程执行更短的运行时间。之后，可以再次执行测试喷墨印刷设备1000的过程(步骤s21)。
138.在形成在测试衬底sub2上的多个冲击点hp中，当存在至少一个冲击点hp与冲击线hl具有10μm或更大的对准误差d时，可以分离或拆卸最外面的喷嘴板np(例如，第三喷嘴板np3)(步骤s31)。通过将最外面的喷嘴板np与头部单元700分离，可以去除或清洁形成在喷嘴nz周围的污染物。
139.可以重复该过程，直到喷嘴板np的数量变为零(步骤s41)，例如，直到第一喷嘴板np1被分离或拆卸。
140.在下文中，将描述从头部单元700去除其上已经积聚污染物的喷嘴板np的过程。
141.参照图15、图16和图17，当通过根据实施方式的喷墨印刷设备1000重复油墨喷射过程时，可能在喷嘴nz的喷射开口附近形成包括包含在油墨中的有机或无机物质的污染物ct。例如，污染物ct可以包括以上参照图2描述的波长转换材料wcp1和wcp2、散射体scp以及基础树脂brs1、bsr2和bsr3。
142.以这种方式，当污染物ct形成在喷嘴nz的喷射开口附近时，喷嘴nz可能被阻塞或者可能改变油墨喷射路径，从而导致如图14中所示的不良的油墨冲击。
143.图15示出了污染物ct仅形成在第三喷嘴板np3上的情况，该第三喷嘴板np3是最外面的喷嘴板np，但实施方式不限于此，并且污染物ct可以形成在多个喷嘴板np上。
144.为了解决污染问题，可以去除其上形成有污染物ct的喷嘴板np。可以通过抓握第二突起部pt2来拆卸其上形成有污染物ct的第三喷嘴板np3。具体的拆卸方法与以上描述的突起部pt1或pt2的描述中的那些相同。
145.一旦拆卸了其上形成有污染物ct的第三喷嘴板np3，通过喷嘴nz喷射的油墨便可以沿着如图13中所示的直的冲击线hl形成冲击点hp。
146.根据实施方式的喷墨印刷设备1000可以包括具有堆叠结构的多个喷嘴板np，并且喷嘴板np中的每个可以容易地拆卸。因此，当特定喷嘴nz存在问题时，可以仅去除多个喷嘴板np中的包括特定喷嘴nz的喷嘴板np，从而降低了更换头部单元700的成本。此外，可以缩短头部单元700的更换时间，从而改善喷墨印刷设备1000的生产效率。
147.在下文中，将描述喷墨印刷设备1000的其它实施方式。在以下实施方式中，为了便于描述，将省略或简化与上述实施方式的部件相同的部件的描述，并且将主要描述不同之处。
148.图18是示出根据另一实施方式的喷嘴板的立体图。
149.参照图18，根据该实施方式的喷墨印刷设备与根据上述实施方式的喷墨印刷设备1000的不同之处在于，该喷墨印刷设备包括与包括在喷墨印刷设备1000中的喷嘴板np不同的喷嘴板np_1。在下文中，将主要描述根据该实施方式的喷嘴板np_1和根据上述实施方式的喷嘴板np之间的不同之处。
150.根据该实施方式的喷墨印刷设备可以包括从喷嘴板np_1的一个侧表面的一部分向外突出的突起部pt1_1或pt2_1。在图18中，突起部pt1_1或pt2_1被示出为设置在喷嘴板np_1的短侧表面上，但实施方式不限于此。例如，突起部pt1_1或pt2_1可以设置在喷嘴板np_1的长侧表面上。此外，可以在一个喷嘴板np_1上设置多个突起部pt1_1或pt2_1。
151.突起部pt1_1或pt2_1的宽度可以小于其上设置有突起部pt1_1或pt2_1的侧表面的宽度。此外，突起部pt1_1或pt2_1的厚度可以与物理连接到突起部pt1_1或pt2_1的喷嘴板np_1的厚度相同，但实施方式不限于此。例如，突起部pt1_1或pt2_1的厚度可以小于喷嘴板np_1的厚度。突起部pt1_1和pt2_1中的每个可以在厚度方向上(例如，在竖直方向上)不重叠，从而易于抓握。
152.在实施方式中，第二喷嘴板np2_1可以包括第一突起部pt1_1，并且第三喷嘴板np3_1可以包括第二突起部pt2_1。第一突起部pt1_1可以覆盖第二喷嘴板np2_1的一个侧表面的一部分，并且第二突起部pt2_1可以覆盖第三喷嘴板np3_1的一个侧表面的一部分。在第一喷嘴板np1_1上可以不设置有突起部pt1_1或pt2_1。
153.根据该实施方式的喷墨印刷设备可以包括具有堆叠结构的多个喷嘴板np_1，并且喷嘴板np_1中的每个可以容易地分离或拆卸。因此，当特定喷嘴nz_1存在问题时，可以仅去除或拆卸多个喷嘴板np_1中的包括特定喷嘴nz_1的喷嘴板np_1，从而降低了更换头部单元的成本。此外，可以缩短头部单元的更换时间，从而改善喷墨印刷设备的生产效率。
154.图19是示出根据又一实施方式的喷嘴板的立体图。
155.根据该实施方式的喷墨印刷设备可以包括分成多个区域的喷嘴板np_2。具体地，根据该实施方式的喷嘴板np_2可以被分成沿着喷嘴板np_2的长边方向布置的多个子喷嘴板。包括在一个喷嘴板np_2中的子喷嘴板的数量是两个或更多个，并且可以小于或等于沿着一个喷嘴板np_2的长边方向设置的喷嘴nz_2的数量。突起部pt_2(例如，pt11_2、pt12_2、pt13_2、
…
、pt1n_2和pt21_2、pt22_2、pt23_2、
…
、pt2n_2)可以设置在第二喷嘴板np2_2的子喷嘴板和第三喷嘴板np3_2的子喷嘴板的短侧表面上。在第一喷嘴板np1_2上可以不设置有突起部pt_2。
156.根据该实施方式的喷墨印刷设备可以包括具有堆叠结构的多个喷嘴板np_2，并且喷嘴板np_2中的每个可以容易地分离或拆卸。因此，当特定的喷嘴nz_2存在问题时，可以仅去除或拆卸多个喷嘴板np_2中的包括特定喷嘴nz_2的喷嘴板np_2的子喷嘴板，从而降低了更换头部单元的成本。此外，可以缩短头部单元的更换时间，从而改善喷墨印刷设备的生产效率。
157.图20是示出根据又一实施方式的喷嘴板的立体图。
158.参照图20，根据该实施方式的喷墨印刷设备可以包括分成多个区域的喷嘴板np_3。具体地，根据该实施方式的喷嘴板np_3可以被分成沿着喷嘴板np_3的短边方向布置的多个子喷嘴板。包括在一个喷嘴板np_3中的子喷嘴板的数量是两个或更多个，并且可以小于或等于沿着喷嘴板np_3的短边方向设置的喷嘴nz_3的数量。根据实施方式的喷嘴板np_3可以包括四个子喷嘴板，但是实施方式不限于子喷嘴板的数量。突起部pt_3(例如，pt11_3、pt12_3、pt13_3、pt14_3、pt21_3、pt22_3、pt23_3和pt24_3)可以设置在第二喷嘴板np2_3的子喷嘴板和第三喷嘴板np3_3的子喷嘴板的短侧表面上。在第一喷嘴板np1_3上可以不设置有突起部pt_3。
159.根据该实施方式的喷墨印刷设备可以包括具有堆叠结构的多个喷嘴板np_3，并且喷嘴板np_3中的每个可以容易地分离或拆卸。因此，当特定喷嘴nz_3存在问题时，可以仅去除多个喷嘴板np_3中的包括特定喷嘴nz_3的喷嘴板np_3的子喷嘴板，从而降低更换头部单元的成本。此外，可以缩短头部单元的更换时间，从而改善喷墨印刷设备的生产效率。
160.图21是根据又一实施方式的喷嘴板的喷嘴的剖视图。
161.在根据该实施方式的喷墨印刷设备中，形成在喷嘴板np_4中的通孔可以不对准。具体地，穿过包括在第一喷嘴板np1_4中的通孔的中心的第一假想线l1、穿过包括在第二喷嘴板np2_4中的通孔的中心的第二假想线l2、以及穿过包括在第三喷嘴板np3_4中的通孔的中心的第三假想线l3可以不对准。从根据该实施方式的喷墨印刷设备喷射的油墨可以主要沿着第一假想线l1、第二假想线l2和第三假想线l3喷射。
162.根据该实施方式的喷墨印刷设备可以包括具有堆叠结构的多个喷嘴板np_4，并且喷嘴板np_4中的每个可以容易地分离或拆卸。因此，当特定喷嘴nz_4存在问题时，可以仅去除或拆卸多个喷嘴板np_4中的包括特定喷嘴nz_4的喷嘴板np_4，从而降低了更换头部单元的成本。此外，可以缩短头部单元的更换时间，从而改善喷墨印刷设备的生产效率。
163.图22是根据又一实施方式的喷嘴板的喷嘴的剖视图。
164.在根据该实施方式的喷墨印刷设备中，形成在喷嘴板np_5中的通孔可以具有彼此不同的宽度(例如，直径)。具体地，第一宽度w1、第二宽度w2和第三宽度w3可以彼此不同，其中第一宽度w1是包括在第一喷嘴板np1_5中的通孔的宽度，第二宽度w2是包括在第二喷嘴
板np2_5中的通孔的宽度，第三宽度w3是包括在第三喷嘴板np3_5中的通孔的宽度。
165.在实施方式中，在具有堆叠结构的喷嘴板np_5中，喷嘴nz_5的宽度可以向下增加。例如，第二宽度w2可以大于第一宽度w1，并且第三宽度w3可以大于第二宽度w2，但实施方式不限于此。当宽度向下增加时，由喷射的油墨对喷嘴nz_5产生的影响可以被最小化。
166.根据该实施方式的喷墨印刷设备可以包括具有堆叠结构的多个喷嘴板np_5，并且喷嘴板np_5中的每个可以容易地分离或拆卸。因此，当特定喷嘴nz_5存在问题时，可以仅去除或拆卸多个喷嘴板np_5中的包括特定喷嘴nz_5的喷嘴板np_5，从而降低了更换头部单元的成本。此外，可以缩短头部单元的更换时间，从而改善喷墨印刷设备的生产效率。
167.图23是根据又一实施方式的喷嘴板的喷嘴的剖视图。
168.在根据该实施方式的喷墨印刷设备中，形成在喷嘴板np1_6、np2_6和np3_6中的通孔的宽度(例如，直径)基本上恒定，使得形成在喷嘴板np_6中的喷嘴nz_6的宽度w_6在整个喷嘴板np_6中基本上恒定。包括在第一喷嘴板np1_6内的通孔的宽度、包括在第二喷嘴板np2_6中的通孔的宽度以及包括在第三喷嘴板np3_6中的通孔的宽度可以彼此相同。
169.根据该实施方式的喷墨印刷设备可以包括具有堆叠结构的多个喷嘴板np_6，并且喷嘴板np_6中的每个可以容易地拆卸。因此，当特定喷嘴nz_6存在问题时，可以仅去除多个喷嘴板np_6中的包括特定喷嘴nz_6的喷嘴板np_6，从而降低了更换头部单元的成本。此外，可以缩短头部单元的更换时间，从而改善喷墨印刷设备的生产效率。
170.在详细描述的最后，本领域的技术人员将理解的是，在本质上不背离本发明的原理的情况下，可以对优选实施方式做出许多变化和修改。因此，本发明的所公开的优选实施方式仅以概述性和描述性意义使用，并且不是出于限制的目的。