喷墨喷涂方法、喷墨喷涂装置和显示面板制造方法
1.本技术要求于2020年7月24日提交的第10-2020-0092158号韩国专利申请的优先权以及由此产生的所有权益，该韩国专利申请的全部内容通过引用包含于此。
技术领域
2.发明的实施例在此涉及喷墨喷涂方法、喷墨喷涂装置和使用喷墨喷涂装置的显示面板制造方法，更具体地，涉及具有提高的可靠性和产品质量的喷墨喷涂方法、喷墨喷涂装置和使用喷墨喷涂装置的显示面板制造方法。


背景技术：

3.显示面板包括多个像素。多个像素均包括诸如晶体管的驱动元件和诸如有机发光二极管的显示元件。可以通过在基底上堆叠电极和发光图案来形成显示元件。
4.该显示元件包括多个有机膜(诸如产生颜色的颜色层)。可以通过掩模工艺形成多个有机膜，掩模工艺包括沉积工艺、曝光工艺、显影工艺、蚀刻工艺等。然而，掩模工艺具有的限制在于：制造工艺复杂，从而增加制造成本。因此，最近正在实施对以喷墨喷涂方式形成有机膜的喷墨喷涂装置和方法的研究。


技术实现要素：

5.发明的实施例提供了可以在高分辨率显示面板制造工艺中使用并且可以提高待制造的有机层的膜均匀性的喷墨喷涂装置和喷墨喷涂方法。
6.发明的实施例还提供了一种显示面板制造方法，该显示面板制造方法通过提高有机层(诸如发射层)的膜均匀性以减少从外部可见的污渍而具有提高的显示质量。
7.发明的实施例提供了一种喷墨喷涂方法，所述喷墨喷涂方法包括以下步骤：准备喷涂单元，所述喷涂单元包括用于将有机材料喷涂在包括显示相同的颜色的多个第一像素的目标基底上的多个喷嘴；将有机材料喷涂到多个第一像素中的第(1+a
×
n)第一像素行的第一像素中的每个；以及将有机材料喷涂到多个第一像素中的第(2+a
×
n)第一像素行的第一像素中的每个，其中，多个喷嘴中的第一喷嘴将有机材料喷涂到第(1+a
×
n)第一像素行的第一像素中的第一参考像素，多个喷嘴中的与第一喷嘴不同的第二喷嘴将有机材料喷涂到第(2+a
×
n)第一像素行的第一像素中的第二参考像素，第二参考像素在第一方向上与第一参考像素平行地设置，n是2或更大的整数，并且a是0或更大的整数。
8.在实施例中，喷墨喷涂方法还可以包括：在将有机材料喷涂到多个第一像素中的第(1+a
×
n)第一像素行的第一像素中的每个的步骤之后并且在将有机材料喷涂到多个第一像素中的第(2+a
×
n)第一像素行的第一像素中的每个的步骤之前，使喷涂单元沿着多个第一像素的与第一方向交叉的第二方向移位。
9.在实施例中，可以在将有机材料喷涂到第(1+a
×
n)第一像素行的第一像素中的每个的步骤之后，执行将有机材料喷涂到第(2+a
×
n)第一像素行的第一像素中的每个的步骤。
10.在实施例中，将有机材料喷涂到多个第一像素中的第(1+a
×
n)第一像素行的第一像素中的每个的步骤可以包括：将有机材料喷涂到多个第一像素中的第一第一像素行的第一像素中的每个；以及将有机材料喷涂到多个第一像素中的第(1+n)第一像素行的第一像素中的每个，其中，第一喷嘴可以将有机材料喷涂到第一第一像素行的第一像素中的第一参考像素，并且第一喷嘴可以将有机材料喷涂到在第一方向上与第一第一像素行的第一像素中的第一参考像素平行地设置的第(1+n)第一像素行的第一像素中的第一参考像素。
11.在实施例中，将有机材料喷涂到多个第一像素中的第(2+a
×
n)第一像素行的第一像素中的每个的步骤可以包括：将有机材料喷涂到多个第一像素中的第二第一像素行的第一像素中的每个；以及将有机材料喷涂到多个第一像素中的第(2+n)第一像素行的第一像素中的每个，其中，第二喷嘴可以将有机材料喷涂到第二第一像素行的第一像素中的第二参考像素，第二喷嘴可以将有机材料喷涂到第(2+n)第一像素行的第一像素中的第二参考像素，并且第(2+n)第一像素行的第一像素中的第二参考像素在第一方向上与第二第一像素行的第一像素中的第二参考像素平行地设置。
12.在实施例中，由多个喷嘴中的每个喷嘴喷涂的有机材料可以包括相同的发光材料。
13.在实施例中，喷墨喷涂方法还可以包括沿着多个第一像素的第一方向移动喷涂单元。
14.在实施例中，喷涂单元可以在沿着多个第一像素的第一方向移动的同时将有机材料喷涂到在第二方向上设置的多个第一像素。
15.在实施例中，喷涂单元可以在第二方向上延伸。
16.在实施例中，n可以是4或更大的整数，并且在将有机材料喷涂到多个第一像素中的第(2+a
×
n)第一像素行的第一像素中的每个的步骤之后，喷墨喷涂方法还可以包括：将有机材料喷涂到多个第一像素中的第(3+a
×
n)第一像素行的第一像素中的每个；以及将有机材料喷涂到多个第一像素中的第(4+a
×
n)第一像素行的第一像素中的每个。
17.在实施例中，多个喷嘴中的与第一喷嘴和第二喷嘴不同的第三喷嘴可以将有机材料喷涂到第(3+a
×
n)第一像素行的第一像素中的第三参考像素，第三参考像素在第一方向上与第一参考像素和第二参考像素平行地设置，多个喷嘴中的与第一喷嘴至第三喷嘴不同的第四喷嘴可以将有机材料喷涂到第(4+a
×
n)第一像素行的第一像素中的第四参考像素，并且第四参考像素在第一方向上与第一参考像素至第三参考像素平行地设置。
18.在实施例中，目标基底还可以包括在与第一方向交叉的第二方向上布置的多个第二像素和在第二方向上布置的多个第三像素。
19.在实施例中，在喷涂有机材料的步骤中，可以将一滴至九滴有机材料液滴喷涂到多个第一像素中的每个。
20.在发明的实施例中，一种喷墨喷涂装置包括包含多个喷嘴的喷涂单元，所述多个喷嘴将有机材料喷涂在目标基底上，所述目标基底包括显示相同的颜色的多个第一像素，其中，多个喷嘴包括：第一喷嘴，将有机材料喷涂到多个第一像素中的设置在第(1+a
×
n)第一像素行中的第一像素中的第一参考像素；以及第二喷嘴，将有机材料喷涂到多个第一像素中的设置在第(2+a
×
n)第一像素行中的第一像素中的第二参考像素，第二参考像素在第一方向上与第一参考像素平行地设置，n是2或更大的整数，并且a是0或更大的整数。
21.在实施例中，喷墨喷涂装置还可以包括传送部分，所述传送部分使喷涂单元沿着多个第一像素的与第一方向交叉的第二方向移动，并且喷涂单元可以在沿着第一方向移动的同时将有机材料喷涂到在第二方向上设置的多个第一像素。
22.在发明的实施例中，一种显示面板制造方法包括以下步骤：准备包括显示相同的颜色的多个第一像素的目标基底；以及由通过包括多个喷嘴的喷涂单元将有机材料喷涂到多个第一像素中的每个来形成有机层，其中，在形成有机层的步骤中，多个喷嘴中的第一喷嘴将有机材料喷涂到多个第一像素中的第(1+a
×
n)第一像素行的第一像素中的第一参考像素，多个喷嘴中的与第一喷嘴不同的第二喷嘴将有机材料喷涂到多个第一像素中的第(2+a
×
n)第一像素行的第一像素中的第二参考像素，第二参考像素在第一方向上与第一参考像素平行地设置，n是2或更大的整数，并且a是0或更大的整数。
23.在实施例中，在将有机材料喷涂到第(1+a
×
n)第一像素行的第一像素中，第二喷嘴可以将有机材料喷涂到与第一参考像素设置在同一行中的第一相同行像素。
24.在实施例中，n是4或更大的整数，在形成有机层的步骤中，多个喷嘴中的与第一喷嘴和第二喷嘴不同的第三喷嘴可以将有机材料喷涂到多个第一像素中的第(3+a
×
n)第一像素行的第一像素中的第三参考像素，第三参考像素在第一方向上与第一参考像素和第二参考像素平行地设置，并且多个喷嘴中的与第一喷嘴至第三喷嘴不同的第四喷嘴可以将有机材料喷涂到多个第一像素中的第(4+a
×
n)第一像素行的第一像素中的第四参考像素，第四参考像素在第一方向上与第一参考像素至第三参考像素平行地设置。
25.在实施例中，目标基底还可以包括像素限定膜，所述像素限定膜使多个第一像素分离。
26.在实施例中，有机材料可以包括发光材料，并且包括在发光元件中。
附图说明
27.包括附图以提供对发明的进一步理解，并且附图被并入本说明书中并构成本说明书的一部分。附图示出了发明的实施例，并且与描述一起用于解释发明的原理。在附图中：
28.图1a是依照根据发明的喷墨喷涂方法在其上形成有机层的目标基底的实施例的平面图；
29.图1b至图1e是示出根据发明的喷墨喷涂装置和由喷墨喷涂装置执行的喷墨喷涂方法的实施例的平面图；
30.图1f至图1i是根据发明的喷墨喷涂装置的一部分的实施例的剖视图；
31.图1j是依照根据发明的喷墨喷涂方法在其上形成有机层的目标基底的一部分的实施例的平面图；
32.图2a是依照根据发明的喷墨喷涂方法在其上形成有机层的目标基底的实施例的平面图；
33.图2b至图2g是根据发明的喷墨喷涂装置的实施例的平面图；
34.图2h是依照根据发明的喷墨喷涂方法在其上形成有机层的目标基底的一部分的实施例的平面图；
35.图3a至图3d示出了通过根据发明和对比示例的喷墨喷涂方法形成的薄膜的实施例的捕获图像；以及
36.图4是根据发明的显示面板的实施例的剖视图。
具体实施方式
37.在下文中，将参照附图描述发明的实施例。在公开中，当元件(或区域、层、部分等)被称为“在”另一元件“上”、“连接到”或“结合到”另一元件时，这意味着该元件可以直接连接到/结合到所述另一元件，或者第三元件可以设置在该元件与所述另一元件之间。
38.同样的附图标记表示同样的元件。另外，在附图中，为了技术内容的有效描述，夸大了元件的厚度、比例和尺寸。术语“和/或”包括相关构造可以限定其的一个或更多个的所有组合。
39.将理解的是，尽管在此可以使用术语“第一”、“第二”等来描述各种元件，但是这些元件不应该受这些术语的限制。这些术语仅用于将一个元件与另一元件区分开。例如，在不脱离发明的实施例的范围的情况下，第一元件可以被称为第二元件，并且类似地，第二元件可以被称为第一元件。除非上下文另外清楚地指示，否则单数形式的术语可以包括复数形式。
40.此外，诸如“在
……
下方”、“下”、“在
……
上方”、“上”等术语用于描述附图中所示的构造的关系。术语用作相对概念，并且参照附图中指示的方向被描述。
41.应该理解的是，术语“包含”或“具有”在公开中旨在说明存在所陈述的特征、整体、步骤、操作、元件、组件或其组合，但不排除存在或添加一个或更多个其它特征、整体、步骤、操作、元件、组件或其组合。
42.在此所使用的“约”或“近似”包括所陈述值，并且考虑到所讨论的测量和与具体量的测量相关的误差(即，测量系统的局限性)，意味着如由本领域普通技术人员确定的针对具体值的可接受偏差的范围内。例如，“约”可以意味着在一个或更多个标准偏差内，或在所陈述值的
±
30％、
±
20％、
±
10％、
±
5％内。
43.除非另外限定，否则在此所使用的所有术语(包括技术术语和科学术语)具有与本发明所属领域的普通技术人员通常理解的含义相同的含义。还将理解的是，除非在此明确地如此限定，否则术语(诸如在常用词典中限定的术语)应该被解释为具有与它们在相关领域和发明的上下文中的含义一致的含义，并且将不以理想化或过于形式化的含义来解释。
44.在此参照作为理想化实施例的示意性图示的剖面图示来描述实施例。如此，将预期由例如制造技术和/或公差引起的图示的形状的变化。因此，在此所描述的实施例不应该被解释为限于如在此所示出的区域的具体形状，而是包括由例如制造引起的形状的偏差。在实施例中，示出或描述为平坦的区域通常可以具有粗糙和/或非线性的特征。此外，示出的锐角可以是倒圆(或圆形的)。因此，附图中所示出的区域本质上是示意性的，并且它们的形状不旨在示出区域的精确形状，并且不旨在限制权利要求的范围。
45.在下文中，将参照附图描述在发明的实施例中的喷墨喷涂方法、喷墨喷涂装置以及使用喷墨喷涂装置的显示面板制造方法。
46.图1a是依照根据发明的喷墨喷涂方法在其上形成有机层的目标基底的实施例的平面图。图1b至图1e是示出根据发明的喷墨喷涂装置和由喷墨喷涂装置执行的喷墨喷涂方法的实施例的平面图。图1f至图1i是根据发明的喷墨喷涂装置的一部分的实施例的剖视图。图1j是依照根据发明的喷墨喷涂方法在其上形成有机层的目标基底的一部分的实施例
的平面图。图1f示出了沿着图1b中所示的切割线i-i'截取的剖面。图1g示出了沿着图1c中所示的切割线ii-ii'截取的剖面。图1h示出了沿着图1d中所示的切割线iii-iii'截取的剖面。图1i示出了沿着图1e中所示的切割线iv-iv'截取的剖面。图1j示出了图1a中所示的目标基底的平面图中的放大的像素组(或称为“像素组单元”)。
47.参照图1a，目标基底sub包括多个像素px1、px2和px3。目标基底sub可以是其中包括在多个像素px1、px2和px3中的有机层的至少一部分未完全形成的中间基底。目标基底sub可以具有与沿着第一方向dr1和第二方向dr2限定的平面平行的四边形(例如，矩形)板形状。多个像素px1、px2和px3可以以沿着第一方向dr1和第二方向dr2布置的矩阵形式设置。然而，发明不限于此，多个像素px1、px2和px3可以以各种其它形式设置。为了便于描述，图1a示出了10列中的像素沿着第一方向dr1间隔开，18行中的像素沿着第二方向dr2间隔开，但是更多数量的像素可以布置在实际目标基底sub上。此外，多个像素px1、px2和px3可以以条纹形式或pentile形式以及以矩阵形式设置。
48.多个第一像素px1、多个第二像素px2和多个第三像素px3可以设置在目标基底sub上。多个第一像素px1、多个第二像素px2和多个第三像素px3均可以包括沿着第一方向dr1平行地设置的多个行。在下文中，在此的第一方向dr1也可以被称为行方向。多个第一像素px1、多个第二像素px2和多个第三像素px3中的每者的多个行可以沿着第二方向dr2间隔开。在下文中，在此的第二方向dr2也可以被称为列方向。
49.设置在目标基底sub上的多个第一像素px1、多个第二像素px2和多个第三像素px3可以均显示彼此不同的颜色。多个第一像素px1可以全部显示相同的第一颜色光，多个第二像素px2可以全部显示不同于第一颜色光的相同的第二颜色光，并且多个第三像素px3可以全部显示不同于第一颜色光和第二颜色光的相同的第三颜色光。在实施例中，多个第一像素px1可以全部显示蓝光，多个第二像素px2可以全部显示绿光，并且多个第三像素px3可以全部显示红光。在实施例中，第一光(即，蓝光)可以是具有约410纳米(nm)至约480nm的波长范围的光，第二光(即，绿光)可以是具有约500nm至约570nm的波长范围的光，并且第三光(即，红光)可以是具有约625nm至约675nm的波长范围的光。在下文中，在描述中，多个第一像素px1、多个第二像素px2和多个第三像素px3中相邻的一个第一像素px1、一个第二像素px2和一个第三像素px3可以被组合为一个像素单元pxu并被称为一个像素单元pxu。
50.多个第一像素px1可以包括多个第一像素(在下文中也被称为“1p”)行pxl1。多个1p行pxl1可以包括沿着第一方向dr1延伸并沿着第二方向dr2间隔开的第一1p行pxl1-1、第二1p行pxl1-2、第三1p行pxl1-3、第四1p行pxl1-4、第五1p行pxl1-5和第六1p行pxl1-6。沿着第一方向dr1布置的多个第一像素px1可以设置在多个1p行pxl1-1、pxl1-2、pxl1-3、pxl1-4、pxl1-5和pxl1-6中的每个中。
51.一起参照图1a至图1j，在发明的实施例中的喷墨喷涂装置包括将有机材料喷涂在目标基底sub上的喷涂单元su。在与第一方向dr1和第二方向dr2垂直的第三方向dr3上，喷涂单元su可以设置在目标基底sub上。在实施例中，喷墨喷涂装置还可以包括供应单元spu，该供应单元spu连接到喷涂单元su并通过喷涂单元su提供待喷涂的有机材料。由供应单元spu提供的有机材料可以是例如发光材料。由供应单元spu提供到喷涂单元su的有机材料可以是发射一种颜色光的发光材料。由供应单元spu提供到喷涂单元su的发光材料可以被等同地提供到包括在喷涂单元su中的多个喷嘴。
52.尽管未示出，但是发明的实施例中的喷墨喷涂装置还可以包括传送喷涂单元su的传送部分。通过传送部分，喷涂单元su可以沿着作为多个第一像素px1的列方向的第二方向dr2移动。喷涂单元su在沿着第二方向dr2移动的同时可以将有机材料喷涂到沿着第一方向dr1设置的多个第一像素px1的每行。喷涂单元su可以沿着作为第一像素px1的行方向的第一方向dr1延伸。其中喷涂单元su沿着第一方向dr1延伸的长度可以根据其中设置有第一像素px1的列的数量而变化。图1b示出了喷涂单元su延伸以与其中设置有第一像素px1的行的整个长度叠置，但是发明不限于此，喷涂单元su可以延伸以仅与其中设置有多个像素px1、px2和px3的行的整个长度的一部分叠置。喷涂单元su可以将有机材料喷涂到多个1p行pxl1中的第(1+a
×
n)1p行的第一像素px1。在描述中，n可以是2或更大的整数，并且a可以是0或更大的整数，其中，n可以是设置在1p组pxg1中的第一像素px1的各个行数和列数。也就是说，在图1a至图1j中所示出的实施例中，n为2，在1p组pxg1中，第一像素px1可以被包括在第一1p行pxl1-1和第二1p行pxl1-2中的两个列中。可以根据有机材料液滴的数量设定n来调节设置在1p组pxg1中的第一像素px1的数量。在下文中，将在下面详细描述1p组pxg1。
53.喷涂单元su可以将有机材料喷涂到多个1p行pxl1中的第(2+a
×
n)1p行的第一像素px1。在将有机材料喷涂到第(1+a
×
n)1p行的第一像素px1之后，可以执行将有机材料喷涂到第(2+a
×
n)1p行的第一像素px1。换句话说，在执行用于将有机材料喷涂到设置在与多个1p行pxl1中的第(1+a
×
n)1p行对应的所有行中的第一像素px1的工艺之后，可以执行用于将有机材料喷涂到与第(2+a
×
n)1p行对应的所有行的第一像素px1的工艺。在图1a至图1j中所示出的实施例中，n例如是2，并且在执行用于将有机材料喷涂到设置在与多个1p行pxl1中的第(1+a
×
2)1p行对应的所有行(即，所有奇数行)中的第一像素px1的工艺之后，可以执行用于将有机材料喷涂到设置在与第(2+a
×
2)1p行对应的所有行(即，所有偶数行)中的第一像素px1的工艺。
54.更详细地，在将有机材料喷涂到多个第一像素px1时，喷涂单元su可以如图1b中将有机材料喷涂在第一1p行pxl1-1中，并且可以如图1c中将有机材料喷涂在第三1p行pxl1-3中。尽管未示出，但是在第三1p行pxl1-3中喷涂有机材料之后，可以在奇数行(诸如第五1p行pxl1-5、第七1p行和第九1p行)中顺序地喷涂有机材料。在用于将有机材料喷涂在奇数行中的工艺完成之后，喷涂单元su可以返回到起始点并且如图1d中将有机材料喷涂在第二1p行pxl1-2中，可以如图1e中将有机材料喷涂在第四1p行pxl1-4中。尽管未示出，但是在第四1p行pxl1-4中喷涂有机材料之后，可以在偶数行(诸如第六1p行pxl1-6、第八1p行和第十1p行)中顺序地喷涂有机材料。
55.喷涂单元su包括多个喷嘴。喷涂单元su可以沿着作为第一像素px1的行方向的第一方向dr1延伸，并且可以包括沿着第一方向dr1间隔开的多个喷嘴。喷涂单元su可以包括与每个像素对应的第一喷嘴nz1、第二喷嘴nz2、第三喷嘴nz3、第四喷嘴nz4和第五喷嘴nz5。图1f至图1i仅示出了第一喷嘴nz1、第二喷嘴nz2、第三喷嘴nz3、第四喷嘴nz4和第五喷嘴nz5，但是至少六个喷嘴可以被包括在喷涂单元su中。包括在喷涂单元su中的多个喷嘴的数量可以根据沿着第一方向dr1延伸的长度来确定。可以对应于沿着第一方向dr1延伸的第一像素行pxl1中与喷涂单元su叠置的第一像素px1的数量来确定包括在喷涂单元su中的多个喷嘴的数量。
56.多个喷嘴nz1、nz2、nz3、nz4和nz5均可以包括多个子喷嘴。可以根据由均与第一像
素px1对应的多个喷嘴nz1、nz2、nz3、nz4和nz5喷涂的有机材料液滴的数量来确定包括在多个喷嘴nz1、nz2、nz3、nz4和nz5中的每个中的子喷嘴的数量。如图1f至图1i中所示，多个喷嘴nz1、nz2、nz3、nz4和nz5均可以包括m个子喷嘴。也就是说，第一喷嘴nz1可以包括第一-1子喷嘴nz1-1至第一-m子喷嘴nz1-m，第二喷嘴nz2可以包括第二-1子喷嘴nz2-1至第二-m子喷嘴nz2-m，第三喷嘴nz3可以包括第三-1子喷嘴nz3-1至第三-m子喷嘴nz3-m，第四喷嘴nz4可以包括第四-1子喷嘴nz4-1至第四-m子喷嘴nz4-m，并且第五喷嘴nz5可以包括第五-1子喷嘴nz5-1至第五-m子喷嘴nz5-m，其中，m可以是喷涂到第一像素px1中的每个的有机材料液滴的数量。在实施例中，m可以是1至9的整数。如图1j中所示，在第一像素px1中的每个中滴落的有机材料液滴的数量可以是七，并且m可以是七。也就是说，包括在多个喷嘴nz1、nz2、nz3、nz4和nz5中的每个中的子喷嘴的数量可以是七。
57.在实施例中的目标基底sub可以是设置在基体基底bsl上的分隔壁bk。多个开口限定在分隔壁bk中，并且在实施例中，多个像素px1、px2和px3可以形成在限定在分隔壁bk中的多个开口中。多个第一像素px1可以通过由喷涂单元su喷涂的有机材料om而形成在限定在分隔壁bk中的多个开口中。
58.包括在每个喷涂单元su中的多个喷嘴中的每个可以将有机材料喷涂到包括在多个1p行pxl1-1、pxl1-2、pxl1-3、pxl1-4、pxl1-5和pxl1-6中的任何一行中的多个第一像素px1中的对应的第一像素px1。如图1b和图1f中所示，在第一1p行pxl1-1中的有机材料的喷涂中，第一喷嘴nz1可以将有机材料om喷涂到第一1p行-第一单元像素px1-11，第二喷嘴nz2可以将有机材料om喷涂到第一1p行-第二单元像素px1-12，第三喷嘴nz3可以将有机材料om喷涂到第一1p行-第三单元像素px1-13，并且第四喷嘴nz4可以将有机材料om喷涂到第一1p行-第四单元像素px1-14。如图1c和图1g中所示，在第三1p行pxl1-3中的有机材料的喷涂中，第一喷嘴nz1可以将有机材料om喷涂到第三1p行-第一单元像素px1-31，第二喷嘴nz2可以将有机材料om喷涂到第三1p行-第二单元像素px1-32，第三喷嘴nz3可以将有机材料om喷涂到第三1p行-第三单元像素px1-33，并且第四喷嘴nz4可以将有机材料om喷涂到第三1p行-第四单元像素px1-34。如图1d和图1h中所示，在第二1p行pxl1-2中的有机材料的喷涂中，第二喷嘴nz2可以将有机材料om喷涂到第二1p行-第一单元像素px1-21，第三喷嘴nz3可以将有机材料om喷涂到第二1p行-第二单元像素px1-22，第四喷嘴nz4可以将有机材料om喷涂到第二1p行-第三单元像素px1-23，并且第五喷嘴nz5可以将有机材料om喷涂到第二1p行-第四单元像素px1-24。如图1e和图1i中所示，在第四1p行pxl1-4中的有机材料的喷涂中，第二喷嘴nz2可以将有机材料om喷涂到第四1p行-第一单元像素px1-41，第三喷嘴nz3可以将有机材料om喷涂到第四1p行-第二单元像素px1-42，第四喷嘴nz4可以将有机材料om喷涂到第四1p行-第三单元像素px1-43，并且第五喷嘴nz5可以将有机材料om喷涂到第四1p行-第四单元像素px1-44。
59.在目标基底sub的实施例中，考虑到将有机材料喷涂到目标基底sub的喷涂单元su喷涂到第一像素px1中的每个的有机材料液滴的数量，可以确定一个1p组pxg1的尺寸以将预定数量或更多的有机材料液滴喷涂到一个1p组pxg1。1p组pxg1的尺寸可以根据n值而变化。一个1p组pxg1可以包括n
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n个第一像素px1。如图1a和图1j中所示出的实施例，n为2，第一方向dr1上的两个列和第二方向dr2上的两个行的第一像素px1可以包括在一个1p组pxg1中。一个1p组pxg1可以包括n
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n个像素单元pxu。
60.通过包括在喷涂单元su中的多个喷嘴nz1、nz2、nz3、nz4和nz5，可以将预定数量的有机材料液滴喷涂到第一像素px1中的每个。在实施例中，通过多个喷嘴nz1、nz2、nz3、nz4和nz5喷涂到第一像素px1中的每个的有机材料液滴的数量可以是1至9。图1j示出了七滴有机材料液滴od1、od2和od3被喷涂到第一像素px1-11、px1-12、px1-21和px1-22中的每个，但是发明不限于此。
61.在喷墨喷涂方法的实施例中，在将有机材料喷涂到多个第一像素中的第(1+a
×
n)1p行的第一像素中的每个以及将有机材料喷涂到多个第一像素中的第(2+a
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n)1p行的第一像素中的每个中，将有机材料喷涂到第(1+a
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n)1p行的第一像素中的第一参考像素的喷嘴与将有机材料喷涂到第(2+a
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n)1p行的第一像素中的在列方向上与第一参考像素平行地设置的第二参考像素的喷嘴不同。也就是说，当通过第一喷嘴将有机材料喷涂到第(1+a
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n)1p行的第一像素中的第一参考像素时，通过与第一喷嘴不同的第二喷嘴将有机材料喷涂到第(2+a
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n)1p行的第一像素中的在列方向上与第一参考像素平行地设置的第二参考像素。将有机材料喷涂到第二参考像素的第二喷嘴可以喷涂到第(1+a
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n)1p行的第一像素中的与第一参考像素不同的另一第一像素。在实施例中，如图1a至图1j中所示，例如，第二喷嘴nz2可以不将有机材料om喷涂到作为第一1p行pxl1-1的第一像素中的第一参考像素的第一1p行-第一单元像素px1-11，而是喷涂到作为与第一1p行-第一单元像素px1-11设置在同一行中的第一相同行像素的第一1p行-第二单元像素px1-12。
62.如图1a至图1j中所示，当n为2时，将有机材料喷涂到奇数行的第一像素中的第一参考像素的喷嘴不同于将有机材料喷涂到偶数行的第一像素中的在列方向上与第一参考像素平行地设置的第二参考像素的喷嘴。更特别地，第一喷嘴nz1将有机材料om喷涂到作为第一1p行pxl1-1(奇数行)的第一像素中的第一参考像素的第一1p行-第一单元像素px1-11，并且与第一喷嘴nz1不同的第二喷嘴nz2将有机材料om喷涂到作为第二1p行pxl1-2(偶数行)的第一像素中的与第一参考像素设置在同一列中的第二1p行-第一单元像素px1-21。第一喷嘴nz1将有机材料om喷涂到作为第三1p行pxl1-3(奇数行)的第一像素中的第一参考像素的第三1p行-第一单元像素px1-31，并且与第一喷嘴nz1不同的第二喷嘴nz2将有机材料om喷涂到作为第四1p行pxl1-4(偶数行)的第一像素中的与第一参考像素设置在同一列中的第四1p行-第一单元像素px1-41。在第一1p行pxl1-1(奇数行)中，第二喷嘴nz2可以将有机材料om喷涂到第一1p行-第二单元像素px1-12，并且在第三1p行pxl1-3中，第二喷嘴nz2可以将有机材料om喷涂到第三1p行-第二单元像素px1-32。
63.发明的实施例中的喷墨喷涂方法还可以包括：在将有机材料喷涂到多个第一像素中的第(1+a
×
n)1p行的第一像素中的每个之后并且在执行将有机材料喷涂到多个第一像素中的第(2+a
×
n)1p行的第一像素中的每个之前，使喷涂单元su沿着作为行方向的第一方向dr1移位。因此，将有机材料喷涂到第(1+a
×
n)1p行的第一像素中的第一参考像素的喷嘴可以与将有机材料喷涂到第(2+a
×
n)1p行的第一像素中的在列方向上与第一参考像素平行地设置的第二参考像素的喷嘴不同。
64.如图1f至图1i中所示，在将有机材料喷涂到奇数行的第一像素中的每个之后，实施例中的喷墨喷涂方法可以在将喷涂单元su沿着第一方向dr1移位预定距离之后，执行将有机材料喷涂到偶数行的第一像素中的每个。图1f至图1i示出了在将有机材料喷涂到奇数行的第一像素中的每个之后喷涂单元su沿着第一方向dr1以一个像素距离被移位。也就是
说，示出了第二喷嘴nz2将有机材料om喷涂到与作为第一1p行pxl1-1中的第一参考像素的第一1p行-第一单元像素px1-11相邻的第一1p行-第二单元像素px1-12，喷涂单元su以第一1p行pxl1-1中的一个像素距离被移位，因此，第二喷嘴nz2将有机材料om喷涂到在列方向上与第一1p行-第一单元像素px1-11平行的第二1p行-第一单元像素px1-21。然而，发明不限于此，可以不同地选择其中喷涂单元su沿着第一方向dr1被移位的距离。在实施例中，在将有机材料喷涂到奇数行的第一像素中的每个的步骤中，例如，第一喷嘴nz1将有机材料om喷涂到作为第一1p行pxl1-1中的第一参考像素的第一1p行-第一单元像素px1-11，喷涂单元su可以沿着第一方向dr1以两个像素距离被移位，然后，在将有机材料喷涂到偶数行的第一像素中的每个的步骤中，第三喷嘴nz3可以将有机材料om喷涂到在列方向上与第一1p行-第一单元像素px1-11平行的第二1p行-第一单元像素px1-21。在可选择的实施例中，喷涂单元su可以沿着第一方向dr1以至少三个像素距离被移位。尽管未示出，但是其中喷涂单元su沿着第一方向dr1移位的距离不与单元像素距离一样远，例如，在将有机材料喷涂到第(1+a
×
n)1p行的第一像素的步骤中以及在将有机材料喷涂到第(2+a
×
n)1p行的第一像素的步骤中，喷涂单元su还可以包括设置在分隔壁bk上方的附加喷嘴，喷涂单元su可以被移位使得附加喷嘴将有机材料喷涂到第二参考像素。
65.在发明的实施例中的喷墨喷涂装置和喷墨喷涂方法中，将从喷涂单元su的一个喷嘴获得的有机材料液滴喷涂到第一像素px1-11、px1-12、px1-21和px1-22中的一个第一像素，但是在1p组pxg1中，可以混合并喷涂从喷涂单元su的多个喷嘴获得的有机材料液滴。此外，在一个1p组pxg1中，可以混合在一个第一像素中喷涂的有机材料液滴的n
×
n倍的有机材料液滴。在一个1p组pxg1中，可以将从第一喷嘴nz1获得的第一有机材料液滴od1喷涂到第一1p行-第一单元像素px1-11，可以将从第二喷嘴nz2获得的第二有机材料液滴od2喷涂到第一1p行-第二单元像素px1-12和第二1p行-第一单元像素px1-21，并且可以将从第三喷嘴nz3获得的第三有机材料液滴od3喷涂到第二1p行-第二单元像素px1-22。也就是说，包括在一个1p组pxg1中的单元像素可以包括从总共三个喷嘴获得的有机材料液滴。然而，发明不限于此，当其中喷涂单元su被移位的距离为两个像素距离或更多时，包括在一个1p组pxg1中的单元像素可以包括从总共四个喷嘴获得的有机材料液滴。包括在一个1p组pxg1中的单元像素可以包括从总共n至n
×
n个喷嘴(不包括n)获得的有机材料液滴。多滴有机材料液滴od1、od2和od3的尺寸与工艺设计相同，但是由于喷嘴的差异可能发生分布。在可选择的实施例中，可以不同地调节多滴有机材料液滴od1、od2和od3的尺寸，使得待提供到每个1p组pxg1的有机材料液滴的总喷涂量可以相同。
66.在喷墨喷涂装置和喷墨喷涂方法的实施例中，相对于多个像素行增加在将有机材料喷涂到第(1+a
×
n)1p行的第一像素与第(2+a
×
n)1p行的第一像素之间的喷涂单元的移位可以减小喷涂到每个1p组pxg1的有机材料液滴的总排出量之间的分布。因此，可以提高通过实施例中的喷墨喷涂方法和喷墨喷涂装置制造的显示面板中包括的有机层的膜均匀性，从而提供具有提高的显示质量和可靠性的显示面板。
67.更特别地，当解释发明的实施例中的喷墨喷涂装置和喷墨喷涂方法的效果时，由于在具有低分辨率的现有显示面板中，每个像素的尺寸对于喷墨喷涂装置的每个喷嘴的尺寸是大的，因此能够由通过喷涂单元的喷嘴执行多次喷涂来在一个像素中提供多滴有机材料液滴，但是由于在高分辨率显示面板中，每个像素的尺寸减小，在工艺中不可能由通过喷
涂单元的喷嘴执行多次喷涂来将有机材料液滴提供到一个像素。此外，随着像素尺寸减小，提供到一个像素的有机材料液滴的数量受到限制。因此，由于每滴有机材料液滴之间的分布差异而导致的有机层的膜均匀性会降低。
68.然而，在发明的实施例中的喷墨喷涂装置和喷墨喷涂方法中，可以通过喷涂单元的喷嘴以包括n
×
n个像素单元的像素组单元提供多滴有机材料液滴，并且与喷涂到一个像素的有机材料液滴相比，可以在1p组pxg1中混合n
×
n倍的有机材料液滴。此外，在将有机材料喷涂到第(1+a
×
n)1p行的第一像素与第(2+a
×
n)1p行的第一像素的步骤之间执行喷涂单元的移位，因此，将有机材料喷涂到第(1+a
×
n)1p行的第一像素中的第一参考像素的喷嘴可以与将有机材料喷涂到第(2+a
×
n)1p行的第一像素中的在列方向上与第一参考像素平行地设置的第二参考像素的喷嘴不同。也就是说，喷墨喷涂工艺不是在一个像素中执行，而是在包括n
×
n个像素单元的像素组单元中执行，在像素组单元中，更多不同类型的喷嘴执行有机材料的喷涂，因此可以提高通过混合像素组单元中的有机材料液滴形成的有机层的膜均匀性，并且可以减少从外部可见的污渍。因此，通过发明的实施例中的喷墨喷涂装置和喷墨喷涂方法制造的显示面板可以具有提高的显示质量和可靠性。
69.尽管未示出，但是在发明的实施例中的喷墨喷涂装置中包括的喷涂单元su可以以预定角度倾斜。更特别地，喷涂单元su可以相对于喷涂单元su沿其移动的第二方向dr2以预定角度倾斜，并且倾斜的喷涂单元su可以移动以便将有机材料喷涂到多个第一像素px1。
70.喷涂单元su可以以预定间隔被包括，以便使包括在喷涂单元su中的多个喷嘴之中的任何两个之间的间隔与对应于多个喷嘴中的每个的像素列之间的间隔匹配。在喷墨喷涂装置的实施例中，在移动倾斜的喷涂单元su的同时执行有机材料的喷涂，因此可以在像素列之间具有不同的间隔的各种显示面板的制造工艺中执行喷墨喷涂工艺。
71.图2a是依照根据发明的喷墨喷涂方法的另一实施例在其上形成有机层的目标基底的平面图。图2b至图2g是根据发明的喷墨喷涂装置的另一实施例的平面图。图2h是依照根据发明的喷墨喷涂方法在其上形成有机层的目标基底的一部分的另一实施例的平面图。图2h示出了图2a中所示的目标基底的平面图中的放大的1p组。在下文中，在参照图2a至图2h描述发明的实施例中的喷墨喷涂装置中，相同的附图标记将被赋予与上面描述的组件相同的组件，并且将省略详细描述。
72.图2a至图2h示出了在喷墨喷涂装置和喷墨喷涂方法中包括在一个1p组pxg2中的第一像素px1中的每个的行和列为四的实施例。也就是说，n为4，并且在1p组pxg2中，第一1p行pxl1-1、第二1p行pxl1-2、第三1p行pxl1-3和第四1p行pxl1-4中的每者中的第一像素px1可以包括在四个列中。在实施例中，在一个1p组pxg2中可以包括4
×
4(即，16)个像素单元pxu。
73.在喷墨喷涂装置和喷墨喷涂方法的实施例中，当n是4或更大的整数时，可以在将有机材料喷涂到多个第一像素中的第(2+a
×
n)1p行的第一像素中的每个之后，执行将有机材料喷涂到多个第一像素中的第(3+a
×
n)1p行的第一像素中的每个和将有机材料喷涂到多个第一像素中的第(4+a
×
n)1p行的第一像素中的每个。参照图2a至图2h，n为4，在执行用于将有机材料喷涂到设置在与第(1+4a)1p行对应的所有行中的第一像素px1的工艺之后，可以执行用于将有机材料喷涂到设置在与第(2+4a)1p行对应的所有行中的第一像素px1的工艺，之后可以执行用于将有机材料喷涂到设置在与第(3+4a)1p行对应的所有行中的第一
像素px1的工艺，然后可以执行用于将有机材料喷涂到设置在与第(4+4a)1p行对应的所有行中的第一像素px1的工艺。
74.更详细地，在将有机材料喷涂到多个第一像素px1中，喷涂单元su可以如图2b中将有机材料喷涂在第一1p行pxl1-1中，并且有机材料可以如图2c中被喷涂在第五1p行pxl1-5中。尽管未示出，但是在第五1p行pxl1-5中喷涂有机材料之后，可以在第(1+4a)1p行(诸如第九1p行、第十三1p行和第十七1p行)中顺序地喷涂有机材料。在用于将有机材料喷涂在第(1+4a)1p行中的工艺完成之后，喷涂单元su可以返回到起始点并且如图2d中将有机材料喷涂在第二1p行pxl1-2中，并且可以如图2e中将有机材料喷涂在第六1p行pxl1-6中。尽管未示出，但是在第六1p行pxl1-6中喷涂有机材料之后，可以在第(2+4a)1p行(诸如第十1p行、第十四1p行和第十八1p行)中顺序地喷涂有机材料。在用于将有机材料喷涂在第(2+4a)1p行中的工艺完成之后，喷涂单元su可以返回到起始点并如图2f中将有机材料喷涂在第三1p行pxl1-3中，并且可以顺序地将有机材料喷涂在第(3+4a)1p行(诸如第七1p行、第十一1p行、第十五1p行和第十九1p行)中。在用于将有机材料喷涂在第(3+4a)1p行中的工艺完成之后，喷涂单元su可以返回到起始点并如图2g中将有机材料喷涂在第四1p行pxl1-4中，并且可以顺序地将有机材料喷涂在第(4+4a)1p行(诸如第八1p行、第十二1p行、第十六1p行和第二十1p行)中。
75.包括在每个喷涂单元su中的多个喷嘴中的每个可以将有机材料喷涂到包括在多个行中的任何一个行中的多个第一像素px1中的对应的第一像素px1。发明的实施例中的喷墨喷涂方法还可以包括：在将有机材料喷涂到多个第一像素中的第(1+a
×
n)1p行的第一像素中的每个之后并且在执行将有机材料喷涂到多个第一像素中的第(2+a
×
n)1p行的第一像素中的每个之前，使喷涂单元su沿着作为行方向的第一方向dr1移位。此外，当n是4或更大的整数时，在将有机材料喷涂到多个第一像素中的第(2+a
×
n)1p行的第一像素中的每个之后并且在将有机材料喷涂到多个第一像素中的第(3+a
×
n)1p行的第一像素中的每个之前，还可以包括使喷涂单元su沿着作为行方向的第一方向dr1移位。在将有机材料喷涂到多个第一像素中的第(3+a
×
n)1p行的第一像素中的每个之后并且在将有机材料喷涂到多个第一像素中的第(4+a
×
n)1p行的第一像素中的每个之前，还可以包括使喷涂单元su沿着作为行方向的第一方向dr1移位。因此，将有机材料喷涂到第(1+a
×
n)1p行的第一像素中的第一参考像素的喷嘴、将有机材料喷涂到第(2+a
×
n)1p行的第一像素中的在列方向上与第一参考像素平行地设置的第二参考像素的喷嘴、将有机材料喷涂到第(3+a
×
n)1p行的第一像素中的在列方向上与第一参考像素和第二参考像素平行地设置的第三参考像素的喷嘴和将有机材料喷涂到第(4+a
×
n)1p行的第一像素中的在列方向上与第一参考像素、第二参考像素和第三参考像素平行地设置的第四参考像素的喷嘴可以全部不同。
76.如图2a至图2h中所示，当n为4时，从第一喷嘴获得的第一有机材料液滴od1被喷涂到第一1p行-第一单元像素px1-11，该第一1p行-第一单元像素px1-11是作为第(1+4a)1p行的第一1p行pxl1-1的第一像素中的第一参考像素，并且从第二喷嘴获得的第二有机材料液滴od2被喷涂到第二1p行-第一单元像素px1-21，该第二1p行-第一单元像素px1-21是作为第(2+4a)1p行的第二1p行pxl1-2的第一像素中的与第一参考像素设置在同一列中的第二参考像素。此外，从第三喷嘴获得的第三有机材料液滴od3被喷涂到第三1p行-第一单元像素px1-31，该第三1p行-第一单元像素px1-31是作为第(3+4a)1p行的第三1p行pxl1-3的第
一像素中的在列方向上与第一参考像素和第二参考像素平行地设置的第三参考像素，并且从第四喷嘴获得的第四有机材料液滴od4被喷涂到第四1p行-第一单元像素px1-41，该第四1p行-第一单元像素px1-41是作为第(4+4a)1p行的第四1p行pxl1-4的第一像素中的在列方向上与第一参考像素至第三参考像素平行地设置的第四参考像素。
77.图2a至图2h示出了在将有机材料喷涂到第(1+a
×
n)1p行、第(2+a
×
n)1p行、第(3+a
×
n)1p行和第(4+a
×
n)1p行的第一像素中的每个的步骤之间喷涂单元su沿着第一方向dr1以一个像素距离被移位。换句话说，示出了从第二喷嘴nz2获得的第二有机材料液滴od2被喷涂到第一1p行-第二单元像素px1-12和第二1p行-第一单元像素px1-21，从第三喷嘴nz3获得的第三有机材料液滴od3被喷涂到第二1p行-第二单元像素px1-22和第三1p行-第一单元像素px1-31，并且从第四喷嘴获得的第四有机材料液滴od4被喷涂到第三1p行-第二单元像素px1-32和第四1p行-第一单元像素px1-41。然而，发明不限于此，并且可以不同地选择其中喷涂单元su沿着第一方向dr1被移位的距离。此外，其中喷涂单元su被移位的距离在每个步骤中可以是不同的，例如，在将有机材料喷涂到第(1+a
×
n)1p行之后并且在将有机材料喷涂到第(2+a
×
n)1p行之前，喷涂单元su以一个像素距离被移位，并且在将有机材料喷涂到第(2+a
×
n)1p行之后并且在将有机材料喷涂到第(3+a
×
n)1p行之前，喷涂单元su以至少两个像素距离被移位。在实施例中，例如，在将有机材料喷涂在第(1+a
×
n)1p行中之后并且在将有机材料喷涂在第(2+a
×
n)1p行中之前，喷涂单元su可以以两个像素距离被移位，在将有机材料喷涂在第(2+a
×
n)1p行中之后并且在将有机材料喷涂在第(3+a
×
n)1p行中之前，喷涂单元su可以以五个像素距离被移位，并且在将有机材料喷涂在第(3+a
×
n)1p行中之后并且在将有机材料喷涂在第(4+a
×
n)1p行中之前，喷涂单元su可以再次以两个像素距离被移位。
78.在一个1p组pxg2中，从第一喷嘴获得的第一有机材料液滴od1可以被喷涂到第一1p行-第一单元像素px1-11，从第二喷嘴获得的第二有机材料液滴od2可以被喷涂到第一1p行-第二单元像素px1-12和第二1p行-第一单元像素px1-21，从第三喷嘴获得的第三有机材料液滴od3可以被喷涂到第一1p行-第三单元像素px1-13、第二1p行-第二单元像素px1-22和第三1p行-第一单元像素px1-31，从第四喷嘴获得的第四有机材料液滴od4可以被喷涂到第一1p行-第四单元像素px1-14、第二1p行-第三单元像素px1-23、第三1p行-第二单元像素px1-32和第四1p行-第一单元像素px1-41，从第五喷嘴获得的第五有机材料液滴od5可以被喷涂到第二1p行-第四单元像素px1-24、第三1p行-第三单元像素px1-33和第四1p行-第二单元像素px1-42，从第六喷嘴获得的第六有机材料液滴od6可以被喷涂到第三1p行-第四单元像素px1-34和第四1p行-第三单元像素px1-43，并且从第七喷嘴获得的第七有机材料液滴od7可以被喷涂到第四1p行-第四单元像素px1-44。也就是说，包括在一个1p组pxg2中的单元像素可以包括从总共七个喷嘴获得的有机材料液滴。然而，发明不限于此，并且当其中喷涂单元su被移位的距离为两个像素距离或更大时，包括在一个1p组pxg2中的单元像素可以包括从总共8至16个喷嘴获得的有机材料液滴。包括在一个1p组pxg2中的单元像素可以包括从总共n至n
×
n个喷嘴(不包括n)获得的有机材料液滴。多滴有机材料液滴od1、od2、od3、od4、od5、od6和od7的尺寸与工艺设计相同，但是由于喷嘴的差异可能发生分布。在可选择的实施例中，可以不同地调节多滴有机材料液滴od1、od2、od3、od4、od5、od6和od7的尺寸，使得待提供到每个1p组pxg2的有机材料液滴的总喷涂量可以相同。
79.如图2a至图2h中所示，在发明的实施例中的喷墨喷涂装置和喷墨喷涂方法中，由于有机材料液滴中的每滴的分布，因此在每个第一像素中喷涂两滴有机材料液滴以降低有机层的膜均匀性，但是在包括16个像素单元的像素组单元中喷涂并混合总共32滴有机材料液滴，通过喷涂单元中包括的多个喷嘴(即，四个或更多个喷嘴)将有机材料液滴提供在像素组单元中，因此，可以提高通过混合像素组单元中的有机材料液滴形成的有机层的膜均匀性，并且可以减少从外部可见的污渍。
80.图3a至图3d示出了通过发明的实施例和对比示例中的喷墨喷涂方法形成的薄膜的捕获图像。在图3a至图3d中，每个薄膜形成了施加到每英寸200像素(ppi)的像素密度的薄膜。图3a和图3b是对比示例的捕获图像，其中通过在每个像素行中喷涂有机材料而没有用于使喷涂单元移位的工艺来形成薄膜。在图3a中，一滴有机材料液滴被提供到一个像素，并且在图3b中，五滴有机材料液滴被提供到一个像素。图3c是实施例的喷墨喷涂方法中的示例的捕获图像，其中n为4，并且在第(1+4a)1p行中的有机材料的喷涂工艺、在第(2+4a)1p行中的有机材料的喷涂工艺、在第(3+4a)1p行中的有机材料的喷涂工艺和在第(4+4a)1p行中的有机材料的喷涂工艺中的每者之间添加用于使喷涂单元移位的工艺。在图3c中，五滴有机材料液滴被提供到一个像素。图3d是参考示例的捕获图像，在参考示例中通过喷涂单元将有机材料喷涂在每个像素行中而没有用于使喷涂单元移位的工艺来形成薄膜。在图3d中，七滴有机材料液滴被提供到一个像素。
81.参照图3c和图3d，与图3a的对比示例和图3b的对比示例相比，当在发明的实施例中通过喷墨喷涂方法形成薄膜时，可以看出的是，在薄膜中表现为水平条纹的污渍减少。具体地，即使当将图3b的对比示例和图3c的示例(其中五滴有机材料液滴被提供到一个像素)进行对比时，也可以看出的是，在图3c的示例中，出现在薄膜中的污渍也减少。此外，即使与其中七滴有机材料液滴被提供在一个像素中的图3d的参考示例相比，可以看出的是，在图3c的示例中，在薄膜中出现的污渍也减少。因此，发明的实施例中的喷墨喷涂方法包括喷涂单元的移位工艺，从而执行用于通过包括多个像素单元的像素组单元中的更多个喷嘴将有机材料喷涂到像素组单元的喷墨工艺，因此可以看出的是，可以提高像素组单元中的有机层的膜均匀性，并且可以减少从外部可见的污渍。
82.图4是根据发明的显示面板的实施例的剖视图。在图4中所示的显示面板的实施例中，可以通过根据发明的喷墨喷涂装置和喷墨喷涂方法形成构造的至少一部分。
83.参照图4，在发明的实施例中，显示面板dp可以是发光显示面板。图4示出了对应于多个像素中的一个像素的剖面以及对应于两个晶体管t1和t2以及发光元件ee的剖面。如图4中所示，显示面板dp包括基体层bl、设置在基体层bl上的电路元件层ml、设置在电路元件层ml上的显示元件层el以及设置在显示元件层el上的绝缘层tfe(在下文中，也称为上部绝缘层)。
84.基体层bl可以包括合成树脂层。可以通过在用于制造显示面板dp的支撑基底上形成合成树脂层，在合成树脂层上形成导电层、绝缘层等，然后去除支撑基底来形成基体层bl。
85.电路元件层ml包括至少一个绝缘层和电路元件。电路元件包括信号线、像素驱动电路等。可以通过由涂覆、沉积等的绝缘层、半导体层和导电层的形成工艺以及由光刻工艺的绝缘层、半导体层和导电层的图案化工艺来形成电路元件层ml。
86.在所示出的实施例中，电路元件层ml包括缓冲层bfl、阻挡层brl以及第一绝缘层10、第二绝缘层20、第三绝缘层30、第四绝缘层40、第五绝缘层50、第六绝缘层60和第七绝缘层70。缓冲层bfl、阻挡层brl以及第一绝缘层10、第二绝缘层20、第三绝缘层30、第四绝缘层40、第五绝缘层50、第六绝缘层60和第七绝缘层70可以包括无机膜和有机膜之中的任何一种。缓冲层bfl和阻挡层brl可以包括无机膜。第五绝缘层50、第六绝缘层60和第七绝缘层70之中的至少一个可以包括有机膜。
87.图4示出了构成第一晶体管t1和第二晶体管t2的第一有源区a1、第二有源区a2、第一栅极g1、第二栅极g2、第一源极s1、第二源极s2、第一漏极d1、第二漏极d2的布置关系。在所示出的实施例中，第一有源区a1和第二有源区a2可以包括不同的材料。第一有源区a1可以包括多晶硅半导体，并且第二有源区a2可以包括金属氧化物半导体。第一源极s1和第一漏极d1是具有比第一有源区a1的掺杂浓度高的掺杂浓度的区域，并且具有电极的功能。第二源极s2和第二漏极d2是其中金属氧化物半导体被减少的区域，并且具有电极的功能。在实施例中，上电极ue可以设置在第二绝缘层20上并与第一栅极g1叠置。
88.在发明的实施例中，第一有源区a1和第二有源区a2可以包括相同的半导体材料，在这种情况下，电路元件层ml的堆叠结构可以变得较简单。
89.显示元件层el包括像素限定膜pdl和发光元件ee。发光元件ee可以是有机发光二极管或量子点发光二极管。阳极ae设置在第七绝缘层70上。像素限定膜pdl的像素开口pdl-op暴露阳极ae的至少一部分。像素限定膜pdl的像素开口pdl-op可以限定发光区域pxa。非发光区域npxa可以围绕发光区域pxa。
90.空穴控制层hcl和电子控制层ecl可以共同地设置在发光区域pxa和非发光区域npxa中。发射层eml可以包括发光材料，并且以对应于像素开口pdl-op的图案形式设置。与呈膜形式的空穴控制层hcl和电子控制层ecl相比，发射层eml可以以不同的方法沉积。空穴控制层hcl和电子控制层ecl可以使用开口掩模共同地形成在多个像素中。发射层eml可以通过根据发明的喷墨喷涂装置和喷墨喷涂方法以对应于像素开口pdl-op的图案形式形成。也就是说，图4中所示的像素限定膜pdl可以对应于图1f至图1i中所示的分隔壁bk，并且发射层eml可以对应于形成在分隔壁bk的开口中的有机材料om。然而，发明不限于此，空穴控制层hcl和电子控制层ecl也可以通过根据发明的喷墨喷涂装置和喷墨喷涂方法如发射层eml一样以对应于像素开口pdl-op的图案形式形成。此外，尽管未示出，但是可以通过根据发明的喷墨喷涂装置和喷墨喷涂方法形成设置在显示元件层el上的滤色器层、光控制层等。
91.阴极ce设置在电子控制层ecl上。上部绝缘层tfe设置在阴极ce上。上部绝缘层tfe可以是薄膜封装层，以便封装显示元件层el。上部绝缘层tfe可以包括多个薄膜。多个薄膜可以包括无机膜和有机膜。上部绝缘层tfe可以包括封装显示元件层el的绝缘层和提高光出射效率的多个绝缘层。
92.在实施例中，当在具有减小的每个像素的尺寸的高分辨率显示面板制造工艺中使用喷墨喷涂装置和喷墨喷涂方法时，可以提高通过在像素组单元中执行喷墨工艺而将形成的有机层的膜均匀性。因此，当通过使用根据发明的喷墨喷涂装置和喷墨喷涂方法制造显示面板时，可以制造具有提高的显示质量的高分辨率显示面板。
93.尽管已经参照发明的优选实施例描述了发明，但是将理解的是，发明不应该限于
这些优选实施例，而是在不脱离发明的精神和范围的情况下，本领域技术人员可以进行各种改变和修改。
94.因此，发明的技术范围不旨在限于说明书的详细描述中阐述的内容，而是旨在由所附权利要求限定。