1.本发明涉及单晶炉技术领域，尤其涉及一种单晶炉真空检测系统。


背景技术：

2.单晶炉是一种在惰性气体(氮气、氦气为主)环境中,用石墨加热器将多晶硅等多晶材料熔化,用直拉法生长无错位单晶的设备，单晶炉主要包括有炉体、电控柜、主真空泵、真空管道、冷却水系统和电源变压器等主要部分组成，单晶炉在实际使用过程中，往往需要将炉体内都成真空进行使用。
3.实际在使用单晶炉的过程中，炉体内的真空度对于加工作业的质量具有重要影响，因此往往会设置有真空度检测仪进行真空度检测，但是现有技术一般是炉体与真空泵之间设置的真空管道上设置真空检测仪来检测真空情况，但是其无法有效区分炉体内和真空管道内的真空变化，即无法区分是炉体漏气还是管道漏气。


技术实现要素：

4.基于背景技术的技术问题，本发明提出了一种单晶炉真空检测系统。
5.本发明提出的一种单晶炉真空检测系统，包括固定筒，所述固定筒水平放置，所述固定筒圆周外壁的底端连接有连接管，所述固定筒圆周外壁的一侧连接有抽气管，所述固定筒两端内壁之间的中间位置转动连接有水平放置的安装筒，且安装筒的一端传动连接有驱动电机，所述固定筒远离驱动电机的一端与安装筒中心对应的位置固定有真空度检测仪，且真空度检测仪的探针伸入至安装筒内，所述安装筒圆周外壁的一侧固定有连接板，且连接板远离安装筒的一端固定有弧形结构的挡板，挡板的外壁与固定筒的内壁滑动连接，所述安装筒圆周外壁远离连接板的一侧固定有滤网座。
6.优选的，所述固定筒的两端开口设置，且固定筒的两端均可拆卸连接有密封盖板，固定筒圆周内壁底部靠近抽气管的一侧固定有限位框，挡板的外壁与限位框的内壁滑动连接，滤网座远离安装筒的一端固定有弧形结构的滑动板，滑动板的外壁与固定筒的内壁滑动连接。
7.优选的，所述安装筒靠近滤网座的一侧设置成固定网板，且滤网座固定于固定网板的中间位置，安装筒圆周内壁的两侧之间固定有弧形结构的导流板，导流板的中间位置向着靠近滤网座的一侧拱起，导流板位于真空度检测仪的探针靠近滤网座的一侧，安装筒远离固定网板的一侧设置成连接网板，连接网板位于连接板靠近抽气管的一侧。
8.优选的，所述滤网座设置有穿透固定于固定网板的第一滤网板和第二滤网板，且第一滤网板和第二滤网板之间构成有连接腔，固定网板外壁与连接腔对应的位置开设有水平方向等距离分布的连接孔，第二滤网板位于靠近连接网板的一侧，第二滤网板网孔的孔径小于第一滤网板网孔的孔径。
9.优选的，所述连接腔的两侧内壁之间固定有等距离分布的隔板，且隔板的截面设置成v型结构，隔板的中间位置向着靠近安装筒弯折。
10.优选的，所述导流板靠近滤网座的一侧开设有等距离分布的导流槽，且导流槽设置成类孔状结构，导流槽的内径向内逐渐收缩。
11.优选的，所述固定筒两端内壁之间的两侧均固定有连接筒，且靠近抽气管一侧的连接筒设置于抽气管的上方位置，远离抽气管一侧的连接筒设置于抽气管的下方位置，两个连接筒内均设置有往复移动的活塞机构。
12.优选的，所述连接筒的外壁开设有多个风孔，且两个连接筒上的风孔分别分布于固定筒的两端位置，活塞机构设置有固定于固定筒端部的电动伸缩杆，电动伸缩杆的一端固定有与连接筒内壁滑动连接的活塞，活塞位于对应连接筒远离风孔的一端位置。
13.优选的，所述连接筒外壁的风孔设置成多组，每组风孔设置成沿着连接筒的外壁呈环形阵列分布，多组风孔沿着连接筒的轴线等距离分布，连接筒外壁位于每组风孔的两侧均固定有环状结构的引流板，引流板设置成向外拱起的弧形结构。
14.优选的，所述引流板的圆周内壁开设有环形阵列分布的引流槽，且引流槽的宽度向着远离连接筒的一端逐渐减小，引流槽的深度向着远离连接筒的一端逐渐减小。
15.本发明中的有益效果为：
16.本发明实施例中，利用连接板的阻挡使炉体内气流从上方的滤网座穿过再从抽气管被抽出，从而通过过滤作业避免飞尘或水雾积结影响真空度检测仪以及真空泵的使用，并且在稳定真空后使挡板随着安装筒周期性往复转动，当挡板转动至抽气管位置时将抽气管封堵，此状态下真空度检测仪检测炉体内真空度的稳定情况或变化情况，当挡板转动至连接管位置时将连接管封堵，此状态下真空度检测仪对抽气管连接的真空管道的真空度变化情况进行检测，从而区分炉体和真空管道的真空变化情况而有效判别漏气情况，减少真空度检测仪的使用个数，且提高实际对单晶炉真空检测的使用效果和有效性。
附图说明
17.图1为本发明提出的一种单晶炉真空检测系统的整体结构示意图；
18.图2为本发明提出的一种单晶炉真空检测系统的固定筒内部结构示意图；
19.图3为本发明提出的一种单晶炉真空检测系统的挡板位于初始状态下结构示意图；
20.图4为本发明提出的一种单晶炉真空检测系统的挡板与抽气管位置对应状态下结构示意图；
21.图5为本发明提出的一种单晶炉真空检测系统的挡板与连接管位置对应状态下结构示意图；
22.图6为本发明提出的一种单晶炉真空检测系统的滤网座结构示意图；
23.图7为本发明提出的一种单晶炉真空检测系统的导流板结构示意图；
24.图8为本发明提出的一种单晶炉真空检测系统的连接筒结构示意图；
25.图9为本发明提出的一种单晶炉真空检测系统的引流板结构示意图。
26.图中：1固定筒、2连接管、3抽气管、4安装筒、5真空度检测仪、6连接板、7挡板、8滤网座、9密封盖板、10限位框、11滑动板、12第一滤网板、13第二滤网板、14连接腔、15固定网板、16连接孔、17隔板、18导流板、1801导流槽、19连接网板、20连接筒、21风孔、22活塞、23引流板、2301引流槽。
具体实施方式
27.下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。
28.在本发明的描述中，需要理解的是，术语“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“顶”、“底”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明的限制。
29.实施例1
30.参照图1-图2，一种单晶炉真空检测系统，包括固定筒1，固定筒1水平放置，固定筒1圆周外壁的底端连接有连接管2，且连接管2的底端固定于炉体内，固定筒1圆周外壁的一侧连接有抽气管3，且抽气管3连接有真空泵，固定筒1两端内壁之间的中间位置转动连接有水平放置的安装筒4，且安装筒4的一端传动连接有驱动电机，固定筒1远离驱动电机的一端与安装筒4中心对应的位置固定有真空度检测仪5，且真空度检测仪5的探针伸入至安装筒4内，安装筒4圆周外壁的一侧固定有连接板6，且连接板6远离安装筒4的一端固定有弧形结构的挡板7，挡板7位于连接管2和抽气管3之间的位置，挡板7的外壁与固定筒1的内壁滑动连接，安装筒4圆周外壁远离连接板6的一侧固定有滤网座8，实际在使用过程中，利用连接管2将固定筒1连接于炉体外，而通过抽气管3与真空泵连接以通过固定筒1内的腔室将炉体内进行抽真空，参照图3，此时状态下的挡板7位于连接管2和抽气管3之间的位置不影响正常的抽真空作业，而利用连接板的阻挡使炉体内气流从上方的滤网座8穿过再从抽气管3被抽出，从而通过过滤作业避免飞尘或水雾积结影响真空度检测仪5以及真空泵的使用，并且在稳定真空后使挡板7随着安装筒4周期性往复转动，当挡板7转动至抽气管3位置时将抽气管3封堵，参照图4，此状态下真空度检测仪5检测炉体内真空度的稳定情况或变化情况，当挡板7转动至连接管2位置时将连接管2封堵，参照图5，此状态下真空度检测仪5对抽气管3连接的真空管道的真空度变化情况进行检测，从而区分炉体和真空管道的真空变化情况而有效判别漏气情况，减少真空度检测仪的使用个数，且提高实际对单晶炉真空检测的使用效果和有效性。
31.参照图2，本发明中，固定筒1的两端开口设置，且固定筒1的两端均可拆卸连接有密封盖板9，固定筒1圆周内壁底部靠近抽气管3的一侧固定有限位框10，挡板7的外壁与限位框10的内壁滑动连接，滤网座8远离安装筒4的一端固定有弧形结构的滑动板11，滑动板11的外壁与固定筒1的内壁滑动连接，利用限位框10的限位以及对称设置的滑动板11而保证挡板7移动的稳定性，且利用限位框10与挡板7的贴合提高真空检测时利用挡板7进行阻挡封闭的使用效果。
32.参照图6，本发明中，安装筒4靠近滤网座8的一侧设置成固定网板15，且滤网座8固定于固定网板15的中间位置，安装筒4圆周内壁的两侧之间固定有弧形结构的导流板18，导流板18的中间位置向着靠近滤网座8的一侧拱起，导流板18位于真空度检测仪5的探针靠近滤网座8的一侧，安装筒4远离固定网板15的一侧设置成连接网板19，连接网板19位于连接板6靠近抽气管3的一侧，从而在实际使用过程中，炉体内气流进入到固定筒1内后，气流分别穿过滤网座8和固定网板15，而利用连接网板19使真空度检测仪5对固定筒1内连通的腔室进行真空度检测，从而避免气流灰尘以及水雾直接与探针接触而降低真空度检测仪5的
使用寿命，并且利用滤网座8和固定网板15的分布设置，配合弧形拱起的导流板18而提高对气流运动的导流变化效果，从而通过增加气流沿着径向的运动以提高对气流的过滤效果。
33.参照图6，本发明中，滤网座8设置有穿透固定于固定网板15的第一滤网板12和第二滤网板13，且第一滤网板12和第二滤网板13之间构成有连接腔14，固定网板15外壁与连接腔14对应的位置开设有水平方向等距离分布的连接孔16，第二滤网板13位于靠近连接网板19的一侧，第二滤网板13网孔的孔径小于第一滤网板12网孔的孔径，从而在实际使用过程中，利用弧形结构的导流板18配合两个滤网板之间连接腔14引导，而提高滤网座8位置对气流的分散过滤效果，以避免炉体随着气流进入的其它成分影响真空泵以及真空度检测仪5的正常使用。
34.参照图6，本发明中，连接腔14的两侧内壁之间固定有等距离分布的隔板17，且隔板17的截面设置成v型结构，隔板17的中间位置向着靠近安装筒4弯折，从而利用弯折呈v型结构的隔板17配合弧形结构的导流板18而提高气流在滤网座8位置的撞击分散效果，以提高实际的过滤效果，并且利用多个隔板17的阻挡而提高对气流中其它物质的收集和阻挡，从而进一步提高设备长久使用的有效性。
35.参照图6-图7，本发明中，导流板18靠近滤网座8的一侧开设有等距离分布的导流槽1801，且导流槽1801设置成类孔状结构，导流槽1801的内径向内逐渐收缩，从而利用导流槽1801配合隔板17而使气流在连接腔14内向中心位置引流，而提高隔板17对气流的阻隔分散效果。
36.实施例2
37.实施例2包括实施例1的所有结构和方法，参照图2，一种单晶炉真空检测系统，还包括有，固定筒1两端内壁之间的两侧均固定有连接筒20，且靠近抽气管3一侧的连接筒20设置于抽气管3的上方位置，远离抽气管3一侧的连接筒20设置于抽气管3的下方位置，两个连接筒20内均设置有往复移动的活塞机构。
38.参照图8，本发明中，连接筒20的外壁开设有多个风孔21，且两个连接筒20上的风孔21分别分布于固定筒1的两端位置，活塞机构设置有固定于固定筒1端部的电动伸缩杆，电动伸缩杆的一端固定有与连接筒20内壁滑动连接的活塞22，活塞22位于对应连接筒20远离风孔21的一端位置，实际在抽真空的过程中，使两个活塞22同向运动，即使两个连接筒20上的风孔21分别进行抽吸和吹气作业，以加快气流运动提高抽真空效率，而在检测真空度利用挡板7进行封堵时，使两个活塞22反向移动，即同时挤压固定筒1内的气腔，以通过真空度检测仪5的数据反馈快速判断是否存在漏气，从而提高实际的真空检测效果。
39.参照图8，本发明中，连接筒20外壁的风孔21设置成多组，每组风孔21设置成沿着连接筒20的外壁呈环形阵列分布，多组风孔21沿着连接筒20的轴线等距离分布，连接筒20外壁位于每组风孔21的两侧均固定有环状结构的引流板23，引流板23设置成向外拱起的弧形结构；
40.参照图9，引流板23的圆周内壁开设有环形阵列分布的引流槽2301，且引流槽2301的宽度向着远离连接筒20的一端逐渐减小，引流槽2301的深度向着远离连接筒20的一端逐渐减小，以利用两侧弧形结构的引流板23以及多个引流槽2301而将风孔21气流快速向外分散，以提高利用连接筒20及其内部的活塞机构快速均匀地分散固定筒1内的气流，提高抽真空效率，以及快速均匀的分散气流而有效进行真空变化的检测。
41.以上所述，仅为本发明较佳的具体实施方式，但本发明的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本发明揭露的技术范围内，根据本发明的技术方案及其发明构思加以等同替换或改变，都应涵盖在本发明的保护范围之内。