1.本实用新型涉及单晶炉清扫技术领域，尤其是涉及一种清扫装置。


背景技术：

2.单晶炉是一种在惰性气体(氩气、氦气为主)环境中，用石墨加热器将多晶硅等多晶材料熔化，用直拉法生长无错位单晶的设备。其中，单晶炉拉出的晶棒暂储至单晶炉的副室内。
3.由于单晶体是在持续的高温低压保护气体下生产的，这对单晶炉室内的环境要求严格，因此，当晶棒取出后，需要对单晶炉的各部件进行全面清理，特别是副室。但是，由于副室的结构较为特殊，且副室长度远大于其内径(例如内径300mm、长5000mm)，导致副室的清理难度较大。
4.目前，大部分单晶炉设备的副室均为人工进行清理，由于副室特殊结构在清理时需要专用的工装，而且人工清理的效果也不太理想，这对洁净度要求极高的半导体设备带来较大的干扰，降低了生产效率。


技术实现要素：

5.本实用新型旨在至少解决现有技术中存在的技术问题之一。为此，本实用新型提出一种清扫装置，所述清扫装置能够自动化清扫单晶炉的副室，减少人工介入程度，清扫效率高且清扫质量好，解决了现有技术中人工清扫质量差且效率低的技术问题。
6.根据本实用新型实施例的一种清扫装置，所述清扫装置用于清扫单晶炉的副室，且包括：支架；清扫组件，所述清扫组件设在所述支架上，且用于清扫所述副室的壁面；行走组件，所述行走组件设在所述支架上且适于支撑在所述副室的壁面上以沿所述副室的轴向运动，所述行走组件包括多组行走轮组，多组所述行走轮组沿所述支架的周向设置，所述行走轮组包括沿所述支架的轴向间隔设置的多个行走轮，在所述支架的径向上，每个所述行走轮与所述支架之间的径向距离可分别改变；第一驱动组件，所述第一驱动组件用于驱动至少一组所述行走轮组运动，以使多组所述行走轮组沿所述副室的壁面滚动。
7.根据本实用新型实施例的清扫装置，通过设置第一驱动组件驱动行走轮组运动，以带动行走组件沿副室的壁面滚动，因行走组件和清扫组件均设置在支架上，行走组件在滚动的过程中，可带动清扫组件移动，以对副室的整个壁面进行清扫，实现自动化清扫副室的壁面，减少人工介入程度，并提升清扫效率，且由于行走轮组与支架之间的径向距离可变，使得本技术的清扫装置可适应不平整的副室内壁面并可对多种尺寸的副室内壁面进行清扫。本技术的清扫装置，适用范围广、清扫效率高且清扫质量好。
8.根据本实用新型的一些实施例，所述行走组件还包括：行走架，所述行走架包括第一安装架和多个第二安装架，多个所述第二安装架沿所述支架的周向设置，每个所述第二安装架包括两个连接杆，所述行走轮组的两个所述行走轮分别可转动地安装于对应所述连接杆上。
9.可选地，所述连接杆与所述第一安装架枢转连接，所述行走组件还包括：弹性件，所述弹性件连接在所述第二安装架的两个所述连接杆之间，且用于向两个所述连接杆施加朝向彼此转动的作用力。
10.可选地，所述第二安装架的两个所述连接杆的转动中心轴线重合，且与所述行走轮的中心轴线平行。
11.可选地，所述连接杆的长度两端分别具有第一连接部和第二连接部，所述第一连接部与所述第一安装架相连，所述第二连接部与所述行走轮相连，所述连接杆还具有第三连接部，所述第三连接部与所述弹性件相连，在所述连接杆的长度方向上，所述第三连接部与所述第一连接部之间的距离大于或等于所述第一连接部和所述第二连接部之间距离的一半。
12.可选地，所述弹性件为弹簧、或气缸、或气弹簧。
13.可选地，所述第一驱动组件包括多个第一电机，每组所述行走轮组与一个所述第一电机对应设置。
14.根据本实用新型的一些实施例，所述清扫组件可相对所述支架转动，所述清扫装置还包括：第二驱动组件，所述第二驱动组件用于驱动所述清扫组件绕所述支架的中心轴线转动。
15.可选地，所述清扫组件包括旋转架和清扫刷，所述旋转架直接或间接设在所述支架上，所述清扫刷与所述旋转架可拆卸相连；和/或，所述清扫刷通过伸缩组件与所述旋转架相连，在所述支架的径向上，所述伸缩组件的长度可调。
16.可选地，所述旋转架通过所述第二驱动组件与所述支架间接相连，所述第二驱动组件包括第二电机，所述第二电机安装在所述支架上，所述旋转架设在所述第二电机的远离所述支架的一端。
17.本实用新型的附加方面和优点将在下面的描述中变得明显，或通过本实用新型的实践了解到。
附图说明
18.本实用新型的上述和/或附加的方面和优点从结合下面附图对实施例的描述中将变得明显和容易理解，其中：
19.图1为本实用新型一个实施例的清扫装置与副室结合时的剖视图。
20.图2为本实用新型一个实施例的行走组件的剖视图。
21.图3为本实用新型一个实施例的清扫装置与副室结合后的结构示意图。
22.附图标记：
23.1000、清扫装置；
24.100、支架；
25.200、清扫组件；210、旋转架；220、清扫刷；230、伸缩组件；
26.300、行走组件；
27.310、行走轮组；311、行走轮；
28.320、行走架；
29.321、第一安装架；
30.322、第二安装架；
31.3221、连接杆；
32.3222、第一连接部；3223、第二连接部；3224、第三连接部；
33.330、弹性件；
34.400、第一驱动组件；410、第一电机；
35.500、第二驱动组件；510、第二电机；
36.2000、副室。
具体实施方式
37.下面详细描述本实用新型的实施例，所述实施例的示例在附图中示出，其中自始至终相同或类似的标号表示相同或类似的元件或具有相同或类似功能的元件。下面通过参考附图描述的实施例是示例性的，仅用于解释本实用新型，而不能理解为对本实用新型的限制。
38.在本实用新型的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“长度”、“宽度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”、“顺时针”、“逆时针”、“轴向”、“径向”、“周向”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。
39.下面参考说明书附图描述本实用新型实施例的清扫装置1000。
40.根据本实用新型实施例的清扫装置1000，清扫装置1000用于清扫单晶炉的副室2000，如图1所示，包括：支架100、清扫组件200、行走组件300和第一驱动组件400。
41.其中，如图1所示，清扫组件200设在支架100上，且用于清扫副室2000的壁面。由此可知，本技术的清扫装置1000主要通过清扫组件200清扫副室2000的壁面，此处所说的壁面为副室2000的内壁面。
42.如图1所示，行走组件300设在支架100上，行走组件300适于支撑在副室2000的壁面上以沿副室2000的轴向运动，行走组件300包括多组行走轮组310，多组行走轮组310沿支架100的周向设置，行走轮组310包括沿支架100的轴向间隔设置的多个行走轮311，则多个行走轮311可增加行走组件300与副室2000的壁面配合长度，保证行走组件300稳定支撑在副室2000壁面上，避免清扫装置1000相对于副室2000倾斜而增加清扫难度。
43.其中，在支架100的径向上，每个行走轮311与支架100之间的径向距离可分别改变。也就是说，在支架100的径向上，每个行走轮311与支架100之间的径向距离不会固定不变的，是可调节的，而且多个行走轮311与支架100之间的径向距离的调节是相互独立的，即每个行走轮311与支架100之间的径向距离的调节不会干涉其余行走轮311与支架100之间的径向距离的调节。
44.第一驱动组件400用于驱动至少一组行走轮组310运动，以使多组行走轮组310沿副室2000的壁面滚动，从而实现行走组件300沿副室2000轴向的运动。
45.由上述结构可知，本实用新型实施例的清扫装置1000，通过将清扫组件200设置在支架100上，一方面，支架100用于支撑清扫组件200，确保清扫组件200在清扫副室2000壁面的过程中位置稳定，从而提高清扫质量；另一方面，因行走组件300也设置在支架100上，当
行走组件300沿副室2000的壁面移动时，可带动清扫组件200沿副室2000的壁面移动，从而实现对副室2000的整个壁面进行清扫，消除污染干扰源，以达到全自动清扫副室2000的目的。
46.将行走组件300也设置在支架100上，在保证行走组件300行走能带动清扫组件200移动的同时，支架100也起到支撑行走组件300的作用，提高行走组件300的位置稳定性，从而使得行走组件300可沿副室2000的壁面移动。
47.因副室2000形成为筒状结构例如圆筒状，沿支架100的周向设置多组行走轮组310一方面保证多组行走轮组310均能与副室2000的壁面接触，从而使得多组行走轮组310均能沿副室2000的壁面滚动；另一方面，多组行走轮组310配合可增加行走组件300与副室2000壁面的接触面积，增大行走组件300与副室2000壁面的摩擦力，因副室2000的轴向垂直于水平面，若行走组件300与副室2000之间的摩擦力过小，当行走组件300沿垂直的壁面移动时，清扫装置1000易发生脱落，因此，多组行走轮组310主要是保证行走组件300可在垂直壁面上移动，清扫装置1000不会从副室2000内脱落，从而带动清扫组件200移动，实现对整个副室2000的壁面进行清扫。
48.需要说明的是，本技术的清扫装置1000与副室2000结合后，支架100的轴向与副室2000的轴向一致，这样，当沿支架100的周向设置多组行走轮组310时，可保证多组行走轮组310均能与副室2000的壁面接触，增大行走组件300与副室2000之间的摩擦力。
49.在支架100的径向上，将每个行走轮311与支架100之间的径向距离设置成分别可变的，可以包括以下情况：1、行走组件300在清扫副室2000壁面时，每个行走轮311与支架100之间的径向距离可以随副室2000壁面施加的压力变化而改变，以使得行走组件300在工作过程中自适应调整行走轮311与支架100之间的径向距离；例如，当行走组件300沿副室2000的壁面移动时，若副室2000的壁面不平整(壁面上存在异物导致壁面凸起)，此时行走组件300可以根据凸起高度调整行走轮311与支架100之间的径向距离，实现行走轮311在工作的过程中自适应调整位置，从而使得行走轮组310可始终沿着副室2000的壁面移动；2、在行走组件300与副室2000结合前，可先根据副室2000的内径调节每个行走轮311与支架100之间的径向距离，使得本技术的清扫装置1000可适应多种尺寸的副室2000，提高适用范围，降低使用成本；3、在行走组件300与副室2000结合前，可以根据副室2000的内径调节每个行走轮311与支架100的之间的径向距离，而且，行走组件300在清扫副室2000壁面时，每个行走轮311与支架100之间的径向距离可以随副室2000壁面施加的压力变化而实现自适应调整。
50.设置用于驱动行走轮组310运动的第一驱动组件400，当清扫装置1000与副室2000结合需要对副室2000进行清扫时，第一驱动组件400用于驱动与其相连的行走轮组310转动，使得行走轮组310在副室2000中做前进或后退运动，并带动连接在同一支架100上的行走轮组310在副室2000中同时做前进或后退运动，以实现自动化带动清扫组件200的移动，减少人力劳动，提高清扫效率。
51.可以理解的是相对于现有技术，本技术的清扫装置1000可实现自动清扫副室2000的壁面，减少人工介入程度，自动化程度高，清扫质量好，且在支架100的径向上，设置每组行走轮组310与支架100之间的径向距离可变，在提高清扫装置1000的适用范围的同时，还可保证在清扫的过程中，行走轮组310可以在不平整的副室2000的壁面上行走，从而适应不
平整的副室2000。
52.需要说明的是，上述所述的多组行走轮组310指的是至少两组，在具体的示例中，如图3所示，优选设置三组行走轮组310，三组行走轮组310沿支架100的周向设置，相邻两组行走轮组310之间的夹角呈120
°
。
53.当然，在其他的一些示例中，也可设置两组行走轮组310或四组行走轮组310，当行走轮组310的数量为两组时，两组行走轮组310之间的夹角呈180
°
；当行走轮组310的数量为四组时，四组行走轮组310之间的夹角呈90
°
。行走轮组310的数量不作具体限制，只要保证行走轮组310的数量大于一组即可。
54.在本实用新型的一些实施例中，如图1所示，行走组件300还包括：行走架320，行走架320包括第一安装架321和多个第二安装架322，多个第二安装架322沿支架100的周向设置。第一安装架321和第二安装架322配合用于实现将行走轮组310连接在支架100上，使得行走轮组310相对于支架100位置稳定，且设置多个第二安装架322沿支架100的周向设置，第二安装架322远离支架100的一端用于连接一组行走轮组310，从而保证多组行走轮组310设置在支架100的周向上。
55.需要说明的是，上述所说的多个第二安装架322指的是至少两个，其中，第二安装架322的数量与行走轮组310的数量一致，每个第二安装架322用于连接一组行走轮组310。
56.可选地，第一安装架321安装在支架100的一端，支架100的另一端连接有清扫组件200，使得行走组件300与清扫组件200同时连接在支架100上，一方面保证行走组件300沿副室2000的壁面移动时可带动清扫组件200移动；另一方面，因支架100自身具有一定的长度，将行走组件300与清扫组件200分别连接在支架100的两端保证行走组件300与清扫组件200间隔设置，便于设置行走轮311。
57.可选地，如图1所示，每个第二安装架322包括两个连接杆3221，行走轮组310的两个行走轮311分别可转动地安装于对应连接杆3221上，则每个连接杆3221上用于连接一个行走轮311，连接杆3221用于支撑行走轮311，使得行走轮311位置稳定，且两个行走轮311可保证行走组件300与副室2000的壁面配合长度，使得行走组件300运动平稳，保证行走组件300可在垂直壁面上移动，不会发生脱落。
58.可选地，两个连接杆3221相对倾斜设置，使得两个连接杆3221之间呈一定夹角，当清扫装置1000与副室2000结合后，两个连接杆3221和副室2000的壁面配合形成为类似三角形的结构，使得行走轮组310行走稳定，避免发生倾斜，从而稳定地带动清扫组件200移动。
59.可选地，第一驱动组件400直接驱动行走轮311转动，当其中一个行走轮311转动时，转动的行走轮311可在副室2000中做前进或后退运动，从而带动连接在同一第二安装架322的另一个行走轮311在副室2000中做前进或后退运动，因转动的两个行走轮311均通过第二安装架322连接在第一安装架321上，从而带动连接在同一第一安装架321上的多个行走轮311同时在副室2000中做前进或后退运动，使得行走组件300自动沿副室2000移动，以实现自动化带动清扫组件200的移动，减少人力劳动。
60.可选地，行走轮311可采用橡胶材质制成，橡胶具有弹性好、价格低廉、可与副室2000的壁面产生较大的摩擦力等优点，当行走轮311采用橡胶材质制成形成为橡胶轮后，可保证行走轮组310稳定地沿副室2000的壁面移动，不会从副室2000内脱落。当然，为了进一步增加行走轮311与副室2000的壁面之间的摩擦力，行走轮311采用的橡胶材质制成时可选
用摩擦系数较大的橡胶，以便于行走轮311可在光滑的壁面上滚动。
61.可选地，连接杆3221与第一安装架321枢转连接。也就是说，连接杆3221可转动地连接在第一安装架321上，这样，当行走组件300沿副室2000的壁面移动时，若副室2000的壁面上存在异物导致壁面不平整，此时连接杆3221相对于第一安装架321转动，从而调节行走轮311与支架100之间的径向距离，使得行走轮311可抵接在壁面上，保证清扫装置1000不会从副室2000内脱落。
62.需要说明的是，若副室2000的壁面上存在异物导致壁面上凸起，连接杆3221朝向靠近支架100的方向转动避让凸起部，此时行走轮311还会始终抵接在凸起的表面上，防止清扫装置1000脱落。
63.在一些示例中，因连接杆3221与第一安装架321枢转连接，当待清扫的副室2000的内径较大时，连接杆3221朝向远离支架100的方向移动，以增大行走轮311与支架100之间的径向距离，确保行走轮311抵接在较大的副室2000的壁面上，从而对较大尺寸的副室2000进行清扫；当待清扫的副室2000的内径较小时，连接杆3221朝向靠近支架100的方向移动，以减小行走轮311与支架100之间的径向距离，确保行走轮311抵接在较小的副室2000的壁面上，从而对较小尺寸的副室2000进行清扫，提高清扫装置1000的适用范围。
64.由此可知，通过连接杆3221与第一安装架321枢转连接实现每组行走轮组310与支架100之间的径向距离可改变，在提高清扫装置1000的适用范围的同时还可使得清扫装置1000适应不平整的副室2000的壁面。
65.可选地，如图1所示，行走组件300还包括弹性件330，弹性件330连接在第二安装架322的两个连接杆3221之间，且弹性件330用于向两个连接杆3221施加朝向彼此转动的作用力。可以理解为，弹性件330常驱动两个连接杆3221相对于第一安装架321转动并朝向远离支架100的方向转动，这样，确保清扫装置1000可配合在较大尺寸的副室2000内，在清扫的过程中弹性件330还可保证行走轮311始终抵接在副室2000的壁面上，增加行走轮311与壁面之间的摩擦力，行走轮311不会脱落；且当需要对较小尺寸的副室2000进行清扫时，在清扫装置1000与副室2000配合的过程中，副室2000的壁面会给行走轮311施加朝向支架100移动的作用力，以减少行走轮311与支架100之间的径向距离，此时弹性件330发生弹性变形，使得清扫装置1000可配合在较小尺寸的副室2000内，弹性件330还使得行走轮311始终抵接在副室2000的壁面上，当清扫装置1000从副室2000内移除后，弹性件330恢复原来的几何尺寸和形状，便于后续清扫较大尺寸的副室2000。
66.可选地，弹性件330包括多个，每个第二安装架322的两个连接杆3221之间均连接一个弹性件330，以驱动连接杆3221相对于第一安装架321转动。
67.由此可知，本技术通过设置弹性件330，可根据副室2000的内径自动化调整自身的尺寸大小，自动化程度高。
68.可选地，弹性件330为弹簧、或气缸、或气弹簧。上述结构均能驱动两个连接杆3221朝向彼此转动，一方面使得清扫装置1000能够适应不平整的壁面；另一方面还可增加适用范围。
69.可选地，当弹性件330选用弹簧时，弹簧的两端固定连接在第二安装架322的两个连接杆3221上，使得弹簧可向两个连接杆3221施加朝向彼此转动的作用力；当弹性件330选用气缸时，气缸的两端分别与第二安装架322的两个连接杆3221枢转连接，保证连接杆3221
转动顺畅，不会出现卡死或转不动的现象，以调整行走轮311与支架100之间的距离；当弹性件330选用气弹簧时，气弹簧的两端也分别与第二安装架322的两个连接杆3221枢转连接，防止连接杆3221出现卡死或转不动的现象。
70.需要说明的是，本技术的弹性件330优先选用弹簧，弹簧连接在第二安装架322的两个连接杆3221之间。相比于气缸和气弹簧而言，弹簧具有成本低、重量轻等优点，从而降低清扫装置1000的生产成本，实现清扫装置1000的轻量化，且弹簧与连接杆3221连接时无需采用枢转连接，使得清扫装置1000装配方便，降低装配难度。
71.可选地，如图1所示，第二安装架322的两个连接杆3221的转动中心轴线重合，且上述两个连接杆3221的转动中心轴线与行走轮311的中心轴线平行。也就是说，两个连接杆3221连接在第一安装架321的同一连接处，且第一安装架321上的连接处的中心轴线与行走轮311的中心轴线平行，第一方面，使得行走架320的结构紧凑，连接杆3221不会占用过多的空间；第二方面，无需在第一安装架321上设置多个连接点，降低第一安装架321与连接杆3221的装配难度。
72.当然，在其他的一些示例中，第二安装架322的两个连接杆3221的转动中心轴线也可不重合，例如，第一安装架321上设置有两个连接点，两个连接点间隔设置，第一安装架321的两个连接杆3221分别连接对应连接点上，只要保证连接杆3221能够绕第一安装架321转动，且连接杆3221转动中心轴线与行走轮311的中心轴线平行即可。
73.可选地，如图2所示，连接杆3221的长度两端分别具有第一连接部3222和第二连接部3223，第一连接部3222与第一安装架321相连，第二连接部3223与行走轮311相连。第一连接部3222为第一安装架321的安装提供连接点，第二连接部3223为行走轮311的安装提供连接点，使得第一安装架321和行走轮311分别连接在连接杆3221的两端，连接杆3221绕第一安装架321转动时可带动行走轮311移动，以调节行走轮311与支架100之间的径向距离。
74.可选地，如图2所示，连接杆3221还具有第三连接部3224，第三连接部3224与弹性件330相连。第三连接部3224为弹性件330的安装提供连接点，确保弹性件330可稳定地连接在连接杆3221上，以带动两个连接杆3221朝向靠近彼此的方向移动。
75.在本实用新型的描述中，限定有“第一”、“第二”、“第三”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征，用于区别描述特征，无顺序之分，无轻重之分。
76.可选地，在连接杆3221的长度方向上，第三连接部3224与第一连接部3222之间的距离大于或等于第一连接部3222和第二连接部3223之间距离的一半。也就是说，在连接杆3221的长度方向上，第三连接部3224位于连接杆3221的中心位置，或第三连接部3224靠近第二连接部3223设置，这样，当弹性件330与第三连接部3224相连时，可保证弹性件330位于连接杆3221中心位置，或弹性件330靠近行走轮311设置，使得行走轮311的位置调节更加顺畅，同时可以减小弹性件330需要施加的作用力，降低对弹性件330的要求。
77.可选地，如图1所示，第一驱动组件400包括多个第一电机410，每组行走轮组310与一个第一电机410对应设置。第一电机410带动每组行走轮组310中的其中一个行走轮311转动，以带动行走轮组310转动，从而实现行走组件300的移动。
78.可选地，第一电机410可选用旋转电机，驱动电机的输出轴与每组行走轮组310中的其中一个行走轮311连接，以带动行走轮311转动。
79.可选地，多个第一电机410同步运行，以保证多组行走轮组310的滚动距离一致，使
得清扫装置1000的移动更加平稳。
80.需要说明的是，通过设置多个第一电机410，每个第一电机410可单独控制一组行走轮组310，实现独立控制，使得行走轮组310更加适应不平整的壁面。
81.在本实用新型的一些实施例中，如图2所示，清扫组件200可相对支架100转动。因副室2000形成为筒状，清扫组件200转动保证清扫组件200可对副室2000的整个壁面进行清扫，不留死角，提高清扫质量。
82.此处所说的清扫组件200相对于支架100转动可以是清扫组件200直接转动连接在支架100上，或清扫组件200通过其他的转动连接件连接在支架100上，只要保证清扫组件200可相对支架100转动即可。
83.由此可知，本技术的清扫装置1000在对副室2000进行清扫时，清扫组件200一边相对于副室2000移动，一边相对于副室2000转动，实现副室2000的无死角自动清扫。
84.其中，图1上方所示出的箭头为清扫组件200的转动方向，由图1可知，本实施例的清扫组件200相对支架100逆时针转动，在另一些示例中，清扫组件200也可相对支架100顺时针转动，转动方向不作具体限制，只要清扫组件200能无死角的对副室2000的壁面进行清扫即可。
85.可选地，如图1所示，清扫装置1000还包括：第二驱动组件500，第二驱动组件500用于驱动清扫组件200绕支架100的中心轴线转动，使得清扫组件200相对支架100转动，以对副室2000的整个周向壁面进行清扫，不会存在清扫死角。
86.当然，在其他的一些示例中，清扫组件200也可相对于支架100固定不动，当清扫组件200固定不动时，清扫组件200绕支架100的中心轴线设置一圈，清扫组件200覆盖在副室2000的内周向上，清扫组件200沿副室2000的延伸方向移动即可实现无死角清扫。如此设置省去了第二驱动组件500的设置，节约清扫装置1000的生产成本，并减轻清扫装置1000的重量，并使清扫装置1000可稳定地对竖直的副室2000进行清扫，不易脱落。
87.可选地，如图1所示，清扫组件200包括旋转架210和清扫刷220，旋转架210直接或间接设在支架100上，清扫刷220与旋转架210可拆卸相连；和/或，清扫刷220通过伸缩组件230与旋转架210相连，在支架100的径向上，伸缩组件230的长度可调。这里是指，清扫刷220可通过伸缩组件230与旋转架210相连且清扫刷220与旋转架210可拆卸相连；或者，清扫刷220直接与旋转架210可拆卸相连，中间不设置伸缩组件230；又或者，清扫刷220通过伸缩组件230与旋转架210相连，无法拆卸。
88.本技术优选选用清扫刷220与旋转架210形成可拆卸相连且清扫刷220与旋转架210之间通过伸缩组件230连接，通过设置可拆卸相连，便于更换和清洗清扫刷220，提高清扫刷220的清扫质量；通过设置伸缩组件230便于调节清扫刷220与旋转架210之间的距离，使得清扫组件200可对多种尺寸的副室2000进行清扫，进一步提高清扫范围。
89.可选地，清扫刷220可选用细毛刷，当细毛刷与副室2000的壁面接触时，细毛刷不会划伤壁面，且细毛刷具有一定的变形能力，将细毛刷抵接在副室2000的壁面上时，可增加细毛刷与壁面的接触面积，提高清扫质量。
90.可选地，当清扫刷220直接与旋转架210可拆卸相连不设置伸缩组件230时，旋转架210在长度方向上间隔设置多个连接点，清扫刷220可连接在不同的连接点上，以调节清扫刷220与旋转架210之间的距离，上述设置在省去伸缩组件230设置的同时还可实现清扫刷
220与旋转架210之间的距离可调，以对不同内径尺寸的副室2000进行清扫。
91.上述所说的可拆卸相连可以是螺栓和螺母连接，也可以为螺栓和内螺纹孔的连接，可根据实际需要进行选择。
92.可选地，伸缩组件230包括伸缩驱动件和伸缩板(图中未示出)，伸缩驱动件安装在旋转架210上，伸缩驱动件的输出端连接伸缩板，伸缩板固定连接清扫刷220，通过伸缩驱动件带动伸缩板往复移动，实现调节清扫刷220与旋转架210之间的距离，以适应不同内径尺寸的副室2000。
93.可选地，清扫刷220可拆卸连接在伸缩板的一端，这样，可形成清扫刷220与旋转架210之间的可拆卸相连，且需要更换或清洗清扫刷220时，只需拆下清扫刷220即可，无需将伸缩组件230拆下。
94.可选地，伸缩驱动件可以为气缸、液压缸或电推杆的一种，也可以是电机带动丝杠螺母转动以驱动清扫刷220移动，在此不做具体的限制，可驱动清扫刷220相对于旋转架210移动即可。
95.可选地，如图1所示，旋转架210通过第二驱动组件500与支架100间接相连。也就是说，第二驱动组件500的一端连接在支架100上，第二驱动组件500的另一端连接旋转架210，在实现行走组件300在移动的过程中能带动清扫组件200移动的同时，还可保证旋转架210可相对支架100转动，从而实现清扫组件200的一边移动一边转动。
96.可选地，第二驱动组件500包括第二电机510，第二电机510安装在支架100上，旋转架210设在第二电机510的远离支架100的一端。支架100用于支撑第二电机510，使得第二电机510的位置稳定，同时第二电机510能够有效驱动清扫组件200绕支架100的中心轴线转动，无需另设安装架安装第二电机510，降低生产成本，并方便第二电机510的安装。
97.下面结合说明书附图描述本实用新型的具体实施例中清扫装置1000的具体结构。本实用新型的实施例可以为前述的多个技术方案进行组合后的所有实施例，而不局限于下述具体实施例。
98.实施例1
99.一种清扫单晶炉副室2000的清扫装置1000，如图1所示，包括：支架100、清扫组件200、行走组件300和第一驱动组件400。
100.其中，如图1所示，清扫组件200设在支架100上用于清扫副室2000的壁面，行走组件300设在支架100上且适于支撑在副室2000的壁面上以沿副室2000的轴向运动，行走组件300包括三组行走轮组310，三组行走轮组310沿支架100的周向设置，每组行走轮组310均包括沿支架100的轴向间隔设置的多个行走轮311，在支架100的径向上，每个行走轮311与支架100之间的径向距离可分别改变。
101.第一驱动组件400用于驱动行走轮组310运动，以使三组行走轮组310沿副室2000的壁面滚动。
102.实施例2
103.一种清扫单晶炉副室2000的清扫装置1000，与实施例1不同的是，如图1所示，行走组件300包括行走架320和弹性件330，行走架320包括第一安装架321和三个第二安装架322，三个第二安装架322沿支架100的周向设置，每个第二安装架322包括两个连接杆3221，行走轮组310包括沿支架100的轴向间隔设置的两个行走轮311，行走轮311可转动地安装于
对应连接杆3221上。
104.连接杆3221与第一安装架321枢转连接，弹性件330连接在第二安装架322的两个连接杆3221之间用于向两个连接杆3221施加朝向彼此转动的作用力。
105.实施例3
106.一种清扫单晶炉副室2000的清扫装置1000，与实施例1不同的是，如图1所示，清扫组件200包括旋转架210和清扫刷220，旋转架210通过第二驱动组件500与支架100间接相连，第二驱动组件500用于驱动清扫组件200绕支架100的中心轴线转动。
107.清扫刷220与旋转架210可拆卸相连，且清扫刷220通过伸缩组件230与旋转架210相连，在支架100的径向上，伸缩组件230的长度可调。
108.在本实用新型的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。
109.图3中示出了三个清扫组件200、三个行走组件300用于示例说明的目的，但是普通技术人员在阅读了上面的技术方案之后、显然可以理解将该方案应用到两个、四个或者更多个清扫组件200以及应用到两个、四个或者更多个行走组件300的技术方案中，这也落入本实用新型的保护范围之内。
110.根据本实用新型实施例的清扫装置1000的其他构成例如第一电机410和第二电机510的驱动形式以及驱动原理对于本领域普通技术人员而言都是已知的，这里不再详细描述。
111.在本说明书的描述中，参考术语“实施例”、“示例”等的描述意指结合该实施例或示例描述的具体特征、结构、材料或者特点包含于本实用新型的至少一个实施例或示例中。在本说明书中，对上述术语的示意性表述不一定指的是相同的实施例或示例。而且，描述的具体特征、结构、材料或者特点可以在任何的一个或多个实施例或示例中以合适的方式结合。
112.尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，本领域的普通技术人员可以理解：在不脱离本实用新型的原理和宗旨的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由权利要求及其等同物限定。