1.本实用新型涉及一种半导体加工设备，尤其是一种切片机料座夹紧装置。


背景技术：

2.在蓝宝石或半导体切片工艺中，目前使用的切片机料座夹紧装置通常采用顶置夹紧油缸的方式：由夹紧油缸内的螺旋弹簧提供向上的拉力，通过油缸蘑菇头将料座拉紧在夹紧底座上。该方式存在问题如下：1、油缸蘑菇头与料座接触面较小，料座相应位置应力较为集中，局部位置容易产生塑性变形，料座整体形变量也较大；2、由于油缸是顶置式，且蘑菇头与料座直接接触，若油缸发生液压油泄漏，油污容易对工件造成污染。
3.因此，对切片机料座夹紧装置进行改进，对于提升加工精度和避免污染是有益的。


技术实现要素：

4.本实用新型要解决的技术问题是，克服现有技术中的不足，提供一种切片机料座夹紧装置。
5.为解决上述技术问题，本实用新型采用的解决方案是：
6.提供一种切片机料座夹紧装置，包括：夹紧底座，所述夹紧底座具有第一工作空间和第二工作空间，且所述第一工作空间和第二工作空间连通；料座，所述料座位于所述夹紧底座的第一工作空间中，且所述料座和夹紧底座之间可相对运动；以及动作机构，所述动作机构位于所述夹紧底座的第二工作空间中，且所述动作机构包括：顶杆，所述顶杆对应在所述料座上；弹力组件，所述弹力组件可弹性形变；以及液压组件，所述液压组件可伸缩；其中，所述顶杆相对于所述料座具有第一状态和第二状态，在第一状态下，所述弹力组件作用在所述顶杆上，并通过所述顶杆使得料座被抵触限定第一工作空间内；在第二状态下，所述液压组件作用在所述顶杆上，以使得所述顶杆克服弹力组件而远离料座。
7.作为一种改进方案，所述顶杆上设置有第一工作面，所述料座上设置有第二工作面；其中，所述顶杆通过第一工作面抵触在料座的第二工作面上，且所述第一工作面和第二工作面为一组相互配合的倾斜面。
8.作为一种改进方案，所述弹力组件包括：限位块，所述限位块固定设置在第二工作空间内；弹力件，所述弹力件的第一端作用在顶杆上，所述弹力件的第二端作用在限位块上。
9.作为一种改进方案，所述顶杆的外侧面设置有密封圈，所述密封圈贴合在第二工作空间的内壁上，使得所述第二工作空间和第一工作空间的连通通道被密封。
10.作为一种改进方案，所述液压组件包括：液压缸，所述液压缸固定在所述第二工作空间内；连杆，所述连杆的第一端连接在液压缸上，所述连杆的第二端连接在顶杆上；其中，所述液压缸作用在连杆上，并通过连杆使得液压缸可带动顶杆运动。
11.作为一种改进方案，所述液压缸位于顶杆的一侧，以使得所述动作机构的整体长度缩短。
12.作为一种改进方案，所述动作机构设置有多组，多组动作机构沿所述料座的长度方向间隔排列；且多组所述动作机构中的连杆相互连接，或多组所述动作机构中的连杆为同一根连杆，通过连杆使得多组动作机构同步带动顶杆远离料座。
13.作为一种改进方案，所述料座上设置有第三工作面，且所述第三工作面和第二工作面分别位于料座的相对两个侧面；所述第一工作空间的内壁上设置有第四工作面；其中，所述料座通过第三工作面抵触在第一工作空间的第四工作面上，且第三工作面和第四工作面为一组相互配合的倾斜面。
14.作为一种改进方案，所述顶杆包括：杆体；顶块，所述顶块可拆卸式连接在杆体上，且所述顶块作用在料座上；其中，所述动作机构设置有多组，多组动作机构沿所述料座的长度方向间隔排列；且多组所述动作机构中的顶块相互连接，或多组所述动作机构中的顶块为同一个顶块，通过顶块使得多组动作机构同步作用于料座。
15.作为一种改进方案，所述夹紧底座上还可拆卸式连接有密封钣金；其中，所述第二工作空间由夹紧底座和密封钣金配合构建，通过密封钣金使得第二工作空间对外敞开或封闭。
16.技术原理说明：
17.本实用新型利用弹力组件可弹性形变和液压组件可伸缩的特性，实现料座在夹紧底座第一工作空间内的相对动作。当弹力组件作用在顶杆上时，通过顶杆使得料座被抵触限定第一工作空间内；当液压组件作用在顶杆上时，使得顶杆克服弹力组件而远离料座。
18.与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：
19.1、本实用新型可以同时布置多组液压组件与碟簧单元，在提供可靠夹紧力的同时，在减小料座的变形，提高产品加工精度。
20.2、本实用新型的碟簧和液压油缸布置在夹紧装置的侧面，用钣金和密封胶将碟簧和液压油缸等部件包覆在夹紧底座上。因此，整个装置只有顶杆末端会伸入切割室。所有与液压油有关的部件和管路都被封闭起来，能够有效避免液压油泄漏产生的污染风险。
附图说明
21.图1是本实用新型的外形构造图。
22.图2是主视方向碟簧单元位置的剖面图。
23.图3是主视方向液压组件位置的剖面图。
24.图4是俯视方向碟簧单元和液压组件位置的剖面图。
25.图中1-夹紧底座，2-料座，3-顶块，4-密封钣金，5-液压油接口，6-底座螺栓，7
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顶杆，8-弹力件，9-限位块，10-连杆，11-螺母，12-紧定螺钉，13-密封圈，14-柱塞， 15-液压缸，16-锁紧螺母，17-油路堵头。
具体实施方式
26.下面结合附图与具体实施方式对本实用新型作进一步详细描述：
27.如附图所示，切片机料座夹紧装置包括：夹紧底座1，具有第一工作空间和第二工作空间，且所述第一工作空间和第二工作空间连通；料座2，位于夹紧底座1的第一工作空间中，且料座2和夹紧底座1之间可相对运动；动作机构，位于夹紧底座1的第二工作空间中。以
料座2的相对两个侧面分别作为第二工作面和第三工作面，在第一工作空间的内壁上设置第四工作面；料座2通过其第三工作面抵触在第四工作面上，且第三工作面和第四工作面为一组相互配合的倾斜面。夹紧底座1上还可拆卸式连接有密封钣金4；第二工作空间由夹紧底座1和密封钣金4配合构建，通过密封钣金4使得第二工作空间对外敞开或封闭。
28.动作机构包括：顶杆7、可弹性形变的弹力组件，以及可伸缩的液压组件。其中，顶杆7相对于料座2具有第一状态和第二状态。在第一状态下，弹力组件作用在顶杆7 上，并通过顶杆7使得料座2被抵触限定第一工作空间内；在第二状态下，液压组件作用在顶杆7上，以使得顶杆7克服弹力组件而远离料座2。
29.顶杆7包括杆体和顶块3，顶块3可拆卸式连接在杆体上，且顶块3作用在料座2 上；其中，顶块3设置有第一工作面，并通过第一工作面抵触在料座2的第二工作面上，且第一工作面和第二工作面为一组相互配合的倾斜面。顶杆7的外侧面设置有密封圈13，密封圈13贴合在第二工作空间的内壁上，使得第二工作空间和第一工作空间的连通通道被密封。
30.弹力组件包括固定设置在第二工作空间内的限位块9，以及弹力件8，其第一端作用在顶杆7上，第二端作用在限位块9上。
31.液压组件包括：固定在第二工作空间内的液压缸15，以及连杆10。连杆10的第一端连接在液压缸15上，连杆10的第二端连接在顶杆7上；液压缸15作用在连杆10上，并通过连杆10使得液压缸15可带动顶杆7运动。液压缸15位于顶杆7的同一侧，以使得动作机构的整体长度缩短。
32.动作机构设置有多组，且沿料座2的长度方向间隔排列；多组所述动作机构中的顶块3相互连接，或多组动作机构使用同一个顶块3，通过顶块3使得多组动作机构同步作用于料座2。多组动作机构中的连杆10相互连接，或多组动作机构中使用同一根连杆 10，通过连杆10使得多组动作机构同步带动顶杆7远离料座1。
33.下面通过一个具体的示例，对本实用新型进行更为具体的描述：
34.该示例中的弹力件8选择碟簧，液压缸15配置柱塞14。
35.如图1所示，夹紧底座1的上表面设置底座螺栓用于本装置的对外连接，下部开有槽状的第一工作空间，具有倾斜侧面的条状的料座2嵌入第一工作空间中。截面呈楔形的顶块3以其第一工作面抵触在料座2的第二工作面上。因此，料座2的受力面均为大面，整体形变量会比较小。
36.如图2所示，顶杆7的杆体与夹紧底座1之间为间隙配合，其外围装有密封圈13，可防止切割室内的硅粉、切割液等杂质进入弹力组件、液压组件等区域，同时可防止泄漏的液压油进入切割室。顶杆7的杆体上套设碟簧，顶杆7一端可拆卸式连接了顶块3，另一端通过螺母11固定在液压组件中的连杆10上。在夹紧底座1的第二工作空间中设有台阶，限位块9利用外侧的螺纹固定在该台阶处，并由紧定螺钉12实现锁紧定位。碟簧的一端与限位块9相接触，另一端与杆体上的台阶相接触。因此，碟簧的弹力能够作用在顶块3上，对料座2进行夹紧。
37.如图3所示，液压缸15通过螺纹安装在第二工作空间中，并用锁紧螺母16进行锁紧。液压缸15通过柱塞14与连杆10相连，其液压油腔与设于夹紧底座1内的油路相连，多个油路连通并留有一个液压油接口5，其余端口安装油路堵头17。密封钣金4通过螺钉12和密封胶将弹力组件、液压组件等部件包覆在夹紧底座1的第二工作空间中，可有效防止泄漏的
液压油进入到切割室。在需要将料座2装入第一工作空间或需要松开料座2时，柱塞14在液压油的作用下，可对连杆10产生推力；该推力能够克服碟簧的弹力，将连杆10、顶杆7和顶块3向右推开。
38.如图4所示，在其中一个实施例中，在整个料座夹紧装置的一侧均匀间隔地布置4 组弹力组件和3组液压缸15。这样，多组碟簧的弹力和多组柱塞14的推力均衡地通过连杆10和顶杆7作用在顶块3上；再通过顶块3对料座2进行夹紧或松开的操作，使得料座2在长度方向上受力较均匀。
39.最后，需要注意的是，以上列举的仅是本实用新型的具体实施例。显然，本实用新型不限于以上实施例，还可以有很多变形。本领域的普通技术人员能从本实用新型公开的内容中直接导出或联想到的所有变形，均应认为是本实用新型的保护范围。