1.本实用新型涉及真空镀膜仪技术领域，尤其涉及一种高效纳米真空镀膜仪。


背景技术：

2.真空镀膜是在真空环境下，将某种金属或金属化合物以气相的形式沉积到材料表面形成镀膜层的一种技术。现有的纳米真空镀膜仪在对工件镀膜的过程中，由于工件表面很大，在蒸发镀膜材料的时候，喷出来的材料很难均匀覆盖到工件表面，导致工作效率较低，且工件固定后角度无法进行调节，实用性较差。


技术实现要素：

3.本实用新型的目的是提供一种高效纳米真空镀膜仪，解决现有技术中存在的上述问题。
4.为解决上述技术问题，本实用新型采用如下技术方案：
5.本实用新型的一种高效纳米真空镀膜仪，包括真空箱体、固定组件和调节组件，所述真空箱体内上部设置有调节板、底部设置有蒸发源，所述调节板底部固连有所述固定组件，所述调节组件包括调节螺杆、调节螺母、驱动环和连杆，所述调节板左端与所述真空箱体左侧壁转动连接、右端通过铰接座转动连接有所述连杆，所述调节螺杆上端贯穿所述真空箱体顶壁后螺纹连接有所述调节螺母、下端转动连接有所述连杆，所述调节螺母底部通过轴承与所述真空箱体顶壁转动连接，所述调节螺母外套接有所述驱动环。
6.进一步的，所述固定组件包括驱动电机、转动座、液压缸、固定板和固定垫，所述驱动电机安装在所述调节板上且输出端连接有所述转动座，所述转动座周向侧壁固连有若干个所述液压缸，所述液压缸的输出端连接有所述固定板，所述固定板内侧设置有所述固定垫。
7.进一步的，所述调节板底部固连有若干个连接板，所述连接板与所述液压缸一一对应设置且相互固连。
8.进一步的，所述转动座周向侧壁对称固连有四个所述液压缸。
9.再进一步的，所述蒸发源顶部设置有导板。
10.进一步的，所述导板的横截面呈八字形。
11.进一步的，所述驱动环外侧壁均匀设置有防滑纹。
12.与现有技术相比，本实用新型的有益技术效果：
13.本实用新型的高效纳米真空镀膜仪通过设置调节组件和固定组件，不仅能够使喷出来的材料均匀覆盖到工件表面，提高工作效率，还能够对工件的角度进行调节，整体结构简单、使用方便，实用性强。
附图说明
14.下面结合附图说明对本实用新型作进一步说明。
15.图1为本实用新型的高效纳米真空镀膜仪的结构示意图；
16.图2为本实用新型的高效纳米真空镀膜仪的固定组件的结构示意图。
17.附图标记说明：1、真空箱体；11、调节板；12、连接板；2、固定组件；21、驱动电机；22、转动座；23、液压缸；24、固定板；25、固定垫；3、调节组件；31、调节螺杆；32、铰接座；33、调节螺母；34、驱动环；35、轴承；36、连杆；4、蒸发源；41、导板。
具体实施方式
18.如图1、图2所示，一种高效纳米真空镀膜仪，包括真空箱体1、固定组件2和调节组件3，真空箱体1内上部设置有调节板11、底部设置有蒸发源4，调节板11底部固连有固定组件2，调节组件3包括调节螺杆31、调节螺母33、驱动环34和连杆36，调节板11左端与真空箱体1左侧壁转动连接、右端通过铰接座32转动连接有连杆36，调节螺杆31上端贯穿真空箱体1顶壁后螺纹连接有调节螺母33、下端转动连接有连杆36，调节螺母33底部通过轴承35与真空箱体1顶壁转动连接，调节螺母33外套接有驱动环34。
19.本实施例的高效纳米真空镀膜仪在使用时，通过抽气组件对真空箱体1进行抽真空，使真空箱体1处于真空状态，蒸发源4内放有镀膜材料，蒸发后的镀膜材料附着在工件的表面，在此过程中，固定组件2能够对工件进行有效定位，同时，通过旋转驱动环34，可带动调节螺母33转动，由于调节螺杆31与连杆36转动连接且调节板11与连杆36转动连接，在转动调节螺母33时，可调节调节螺杆31在真空箱体1内的长度，从而带动调节板11实现倾斜，进而对工件的角度进行调节。
20.其中，固定组件2包括驱动电机21、转动座22、液压缸23、固定板24和固定垫25，驱动电机21安装在调节板11上且输出端连接有转动座22，转动座22周向侧壁固连有若干个液压缸23，液压缸23的输出端连接有固定板24，固定板24内侧设置有固定垫25。使用时，通过驱动电机21带动转动座22转动，转动座22可同步带动工件转动，可使蒸发源4喷出来的镀膜材料均匀覆盖到工件表面，并且液压缸23可驱动固定板24和固定垫25向靠近工件的方向运动，以对工件进行定位。
21.为了更好的实现固定组件2与调节板11的固定连接，调节板11底部固连有若干个连接板12，连接板12与液压缸23一一对应设置且相互固连。其中，转动座22周向侧壁可对称固连有四个液压缸23。
22.并且，在蒸发源4顶部设置有导板41，导板41的横截面呈八字形，以提高镀膜材料的有效利用率，减少了镀膜材料的浪费。
23.为了方便驱动环34的转动，在驱动环34外侧壁均匀设置有防滑纹。
24.本实用新型的高效纳米真空镀膜仪不仅能够使喷出来的材料均匀覆盖到工件表面，提高工作效率，还能够对工件的角度进行调节，整体结构简单、使用方便，实用性强。
25.以上所述的实施例仅是对本实用新型的优选方式进行描述，并非对本实用新型的范围进行限定，在不脱离本实用新型设计精神的前提下，本领域普通技术人员对本实用新型的技术方案做出的各种变形和改进，均应落入本实用新型权利要求书确定的保护范围内。


技术特征：
1.一种高效纳米真空镀膜仪，其特征在于：包括真空箱体、固定组件和调节组件，所述真空箱体内上部设置有调节板、底部设置有蒸发源，所述调节板底部固连有所述固定组件，所述调节组件包括调节螺杆、调节螺母、驱动环和连杆，所述调节板左端与所述真空箱体左侧壁转动连接、右端通过铰接座转动连接有所述连杆，所述调节螺杆上端贯穿所述真空箱体顶壁后螺纹连接有所述调节螺母、下端转动连接有所述连杆，所述调节螺母底部通过轴承与所述真空箱体顶壁转动连接，所述调节螺母外套接有所述驱动环。2.根据权利要求1所述的一种高效纳米真空镀膜仪，其特征在于：所述固定组件包括驱动电机、转动座、液压缸、固定板和固定垫，所述驱动电机安装在所述调节板上且输出端连接有所述转动座，所述转动座周向侧壁固连有若干个所述液压缸，所述液压缸的输出端连接有所述固定板，所述固定板内侧设置有所述固定垫。3.根据权利要求2所述的一种高效纳米真空镀膜仪，其特征在于：所述调节板底部固连有若干个连接板，所述连接板与所述液压缸一一对应设置且相互固连。4.根据权利要求2所述的一种高效纳米真空镀膜仪，其特征在于：所述转动座周向侧壁对称固连有四个所述液压缸。5.根据权利要求1所述的一种高效纳米真空镀膜仪，其特征在于：所述蒸发源顶部设置有导板。6.根据权利要求5所述的一种高效纳米真空镀膜仪，其特征在于：所述导板的横截面呈八字形。7.根据权利要求1-6中任一项所述的一种高效纳米真空镀膜仪，其特征在于：所述驱动环外侧壁均匀设置有防滑纹。

技术总结
本实用新型公开了一种高效纳米真空镀膜仪，包括真空箱体、固定组件和调节组件，所述真空箱体内上部设置有调节板、底部设置有蒸发源，所述调节板底部固连有所述固定组件，所述调节组件包括调节螺杆、调节螺母、驱动环和连杆，所述调节板左端与所述真空箱体左侧壁转动连接、右端通过铰接座转动连接有所述连杆，所述调节螺杆上端贯穿所述真空箱体顶壁后螺纹连接有所述调节螺母、下端转动连接有所述连杆，所述调节螺母底部通过轴承与所述真空箱体顶壁转动连接，所述调节螺母外套接有所述驱动环。本实用新型能够使喷出来的材料均匀覆盖到工件表面，提高工作效率，且能够对工件的角度进行调节，整体结构简单、使用方便，实用性强。实用性强。实用性强。


技术研发人员：崔志敏 陈颖 曹胜利 李耀
受保护的技术使用者：华北理工大学
技术研发日：2021.09.16
技术公布日：2022/1/21