1.本实用新型涉及抛光液滴加装置，特别是一种单轴机循环稳定注液装置。
背景技术：
2.随着现代科学技术的飞速发展，很多领域对光学元件的表面质量提出了越来越高的要求，因此对光学加工的性能的要求也日益提高。单轴机作为传统光学加工的设备，单轴机可加工平面元件亦可加工球面、非球面元件，其加工光学元件加工尺寸小到毫米级、大到米级，加工尺寸范围覆盖范围广；单轴机可以完成光学元件的磨砂、粗抛光和精抛光，加工工序可覆盖成型后的所有加工工序。因此单轴机在现今的光学加工生产中有着举足轻重的地位。
3.单轴机抛光主要采用的是化学机械抛光，它涉及到抛光液的选择和抛光工艺的优化。在实际生产过程中，尽管单轴机用抛光液的量比环形抛光机少，但是绝大多数抛光液是浪费掉的，因此引入循环过滤注液装置，专利201310150439.8介绍了这种装置，但是在循环抛光过程中，由于产物沉积，抛光液ph值波动，抛光粉团聚等引起了抛光液粒度分布不均匀，导致了抛光后光学元件表面粗糙度增加、划痕增加。
技术实现要素：
4.本实用新型提出了一种单轴机循环稳定注液装置，该装置采用多级过滤和双桶静置的方式保证了抛光液粒度的均匀性，解决了光学加工过程中抛光液粒度分布不均匀导致的表面质量不稳定的问题，提高了光学元件加工质量，并且有效地延长注液时间，实现了单轴机循环稳定的注液。
5.本实用新型的技术解决方案如下：
6.一种单轴机循环稳定注液装置，其特点在于该装置包括铁笔、铁笔座、夹具、抛光模、水槽、一级滤芯、二级滤芯、第一储液槽、三级滤芯、节流阀、水管、泵、出水口、叶轮、第二储液槽及圆管。
7.所述铁笔放置在所述铁笔座中，所述铁笔座固定在所述夹具上，工件固定在所述夹具上，所述铁笔进行摆动从而带动所述夹具和所述工件摆动，所述抛光模由电机带动自转。所述水槽放置在所述抛光模的下方，用来承接抛光液，所述水槽上有一个开口，抛光液流经所述一级滤芯和二级滤芯，将流至所述第一储液槽中。抛光液再经所述圆管流至所述第二储液槽中，由所述泵带动所述叶轮转动将抛光液抽取上来，由所述出水口流出，所述水管连接在所述出水口上，抛光液由水管导流，经所述节流阀和所述三级滤芯加注到所述抛光模上。
8.本实用新型的技术优点是：
9.本实用新型采用多级过滤和双桶静置的方式保证了抛光液粒度的均匀性，解决了抛光液粒度分布不均匀导致的加工表面质量不稳定的问题，提高了抛光液的颗粒均匀度，提高了光学元件加工质量。
10.本实用新型的使用成本低、使用寿命长、容易实现，并且能有效地延长注液时间，实现了单轴机循环稳定的注液，适合单轴机长期使用，节约人工，提高了加工效率和生产效率。
附图说明
11.图1为本实用新型单轴机循环稳定注液装置实施例1的结构示意图；
12.图中：1-铁笔，2-铁笔座，3-夹具，4-工件，5-抛光模，6-水槽，7-一级滤芯，8-二级滤芯，9-第一储液槽，10-三级滤芯，11-节流阀，12-水管，13-泵，14-出水口，15-叶轮，16-第二储液槽，17-圆管。
13.图2为未采用本实用新型的抛光液的粒径分布图；
14.图3为采用本实用新型的抛光液的粒径分布图。
具体实施方式
15.下面结合实施例对本实用新型作进一步说明，但不应以此限制本实用新型的保护范围。
16.参阅图1，图1为本实用新型单轴机循环稳定注液装置结构示意图。由图可见本实用新型一种单轴机循环稳定注液装置，其特征在于该装置包括铁笔1、铁笔座2、夹具3、工件4、抛光模5、水槽6、一级滤芯7、二级滤芯8、第一储液槽9、三级滤芯10、节流阀11、水管12、泵13、出水口14、叶轮15、第二储液槽16及圆管17。
17.所述铁笔1放置在所述铁笔座2中，带动所述夹具3和所述工件4进行摆动，所述铁笔座2通过内六角螺丝固定在所述夹具3上，所述工件4通过光学上盘的方式固定在所述夹具3的下方。所述抛光模5由电机带动自转，与所述铁笔1一起组成单轴机的抛光。抛光是两个盘对抛，一个盘是铁笔1带动的工件4，另一个盘就是抛光模5，两者只有工件4和抛光模5是接触对抛的，其运动都是单独控制，一般铁笔1控制的是摆幅，抛光模5控制的转速。所述水槽6放置在所述抛光模5的下方，用来承接抛光液，所述水槽上有一个开口，抛光液流经所述一级滤芯7和二级滤芯8，将流至所述第一储液槽9中。抛光液再经所述圆管17流至所述第二储液槽16中，由所述泵13带动所述叶轮15转动将抛光液抽取上来，由所述出水口14流出，由水管12导流。水管12导流是将第二储液槽16中的抛光液，经所述节流阀11和所述三级滤芯10加注到所述抛光模5的表面上。
18.实验表明，未使用本实用新型时，抛光液的粒径分布如图2所示，使用本实用新型后，抛光液的粒径分布如图3所示，从图中可以看出，抛光液的尾端大颗粒没有了，而且粒径分布只有一个峰，粒度分布更加均匀。
19.实验表明，本实用新型可以解决解决了光学加工过程中抛光液粒度分布不均匀导致的表面质量不稳定的问题，提高了光学元件加工质量，并且有效地延长注液时间，实现了单轴机循环稳定的注液。本实用新型的使用成本低、使用寿命长、容易实现、节约人工成本、提高了加工效率和生产效率。
技术特征：
1.一种单轴机循环稳定注液装置，其特征在于该装置包括铁笔(1)、铁笔座(2)、夹具(3)、抛光模(5)、水槽(6)、一级滤芯(7)、二级滤芯(8)、第一储液槽(9)、三级滤芯(10)、节流阀(11)、水管(12)、泵(13)、出水口(14)、叶轮(15)、第二储液槽(16)及圆管(17)；所述铁笔(1)放置在所述铁笔座(2)中，所述铁笔座(2)固定在所述夹具(3)上，工件(4)通过固定在所述夹具(3)上，所述铁笔(1)进行摆动从而带动所述夹具(3)和所述工件(4)摆动；所述抛光模(5)由电机带动自转，所述水槽(6)放置在所述抛光模(5)的下方，用来承接抛光液，所述水槽上有一个开口，抛光液流经所述一级滤芯(7)和二级滤芯(8)，将流至所述第一储液槽(9)中，抛光液再经所述圆管(17)流至所述第二储液槽(16)中，由所述泵(13)带动所述叶轮(15)转动将抛光液抽取上来，由所述出水口(14)流出，所述水管(12)连接在所述出水口(14)上，抛光液由水管(12)导流，经所述节流阀(11)和所述三级滤芯(10)加注到所述抛光模(5)上。2.根据权利要求1所述的单轴机循环稳定注液装置，其特征在于，所述一级滤芯(7)和三级滤芯(10)孔径＜1μm，二级滤芯(8)孔径＜3μm。3.根据权利要求1所述的单轴机循环稳定注液装置，其特征在于，所述铁笔座(2)通过内六角螺丝固定在所述夹具(3)上。4.根据权利要求1所述的单轴机循环稳定注液装置，其特征在于，所述的工件(4)通过点胶或者光胶固定在所述夹具(3)。
技术总结
一种单轴机循环稳定注液装置，该装置包括铁笔、铁笔座、夹具、工件、抛光模、水槽、一级滤芯、二级滤芯、第一储液槽、三级滤芯、节流阀、水管、泵、出水口、叶轮、第二储液槽及圆管。本实用新型采用多级过滤和双桶静置的方式保证了抛光液粒度的均匀性，解决了抛光液粒度分布不均匀导致的加工表面质量不稳定的问题，提高了抛光液的颗粒均匀度，提高了光学元件加工质量。本实用新型的使用成本低、使用寿命长、容易实现，并且能有效地延长注液时间，实现了单轴机循环稳定的注液，适合单轴机长期使用，节约人工成本，提高了加工效率和生产效率。提高了加工效率和生产效率。提高了加工效率和生产效率。
技术研发人员：曹俊 顿爱欢 吴伦哲 陈军 程鑫 嵇文超 吴福林 徐学科
受保护的技术使用者：中国科学院上海光学精密机械研究所
技术研发日：2021.08.16
技术公布日：2022/1/28