1.本实用新型涉及一种蚀刻设备，特别是一种滚轮蚀刻设备。
背景技术：
2.为提升蚀刻大量滚轮时的良率，在进行正式的蚀刻工艺前通常会执行一系列的滚轮蚀刻测试，以尽可能地消除蚀刻工艺上的缺失。然而，现有的滚轮蚀刻设备在进行蚀刻测试时，每次皆须耗费完整一根滚轮以进行测试，不仅使测试的成本提升，也消耗许多材料(如光阻液)。
3.因此，如何通过结构设计的改良，来克服上述的缺陷，已成为该项事业所欲解决的重要课题之一。
技术实现要素：
4.本实用新型实施例在于提供一种蚀刻设备，其能有效地改善现有的蚀刻设备所可能产生的缺陷。
5.本实用新型的其中一个实施例公开一种蚀刻设备，用来在包覆有一光阻层的一金属滚轮的外表面上进行蚀刻，所述蚀刻设备包括：一滚轮固定装置，用来固定所述金属滚轮；一浸润装置，与所述滚轮固定装置间隔地设置，并且所述浸润装置用来容纳一蚀刻液；一移动装置，承载所述浸润装置，并且所述移动装置用来使所述滚轮固定装置与所述浸润装置相对地移动，以使所述浸润装置能用来将所述浸润装置所容纳的所述蚀刻液浸润于外表面的局部；以及一摇摆装置，安装于所述滚轮固定装置，并且所述摇摆装置用来选择性地以一摇摆速度摆动所述金属滚轮；其中，所述摇摆装置能用来在所述金属滚轮的所述外表面的一部分被所述浸润装置中的所述蚀刻液浸润时，以所述摇摆速度摆动所述金属滚轮，使未被所述光阻层包覆的所述外表面的一部分被所述蚀刻液均匀浸润并蚀刻，进而形成一图案化蚀刻层。
6.优选地，所述蚀刻设备还包含一冲洗装置，与所述滚轮固定装置间隔地设置，并且所述冲洗装置用来在所述图案化蚀刻层离开所述浸润装置内的所述蚀刻液时，以水冲洗分布于所述图案化蚀刻层的所述蚀刻液。
7.优选地，所述浸润装置还包含一盖体，并且所述盖体位置临近于所述滚轮固定装置；其中，所述盖体用来在所述冲洗装置冲洗分布于所述图案化蚀刻层的所述蚀刻液时，阻挡使用过的水与使用过的所述蚀刻液回流到所述浸润装置中。
8.优选地，所述蚀刻设备还包含一烘烤装置，所述烘烤装置与所述滚轮固定装置间隔地设置，并且所述烘烤装置能用来去除所述图案化蚀刻层上多余的所述蚀刻液。
9.优选地，所述烘烤装置为一红外线灯、一近红外线灯或一氙灯。
10.优选地，所述滚轮固定装置包含一夹持机构，所述夹持机构安装于所述摇摆装置，并且所述夹持机构用来夹持所述金属滚轮；其中，当所述摇摆装置运作时，所述摇摆装置会转动所述夹持机构，使所述金属滚轮被所述夹持机构转动。
11.优选地，所述移动装置包含抵接于所述浸润装置的底部的一升降机构以及安装于所述升降机构的一支撑机构；其中，所述支撑机构用来支撑所述浸润装置的底部，而所述升降机构用来使所述浸润装置沿垂直于所述金属滚轮的轴心的一方向移动。
12.优选地，所述移动装置还包含一摆动机构，摆动机构能用来使所述浸润装置沿平行于所述金属滚轮的轴心的一方向摆动。
13.优选地，所述摇摆装置包含一速度控制机构，速度控制机构能用来使所述金属滚轮以介于1转/分钟至25转/分钟的所述摇摆速度摆动。
14.优选地，所述摇摆装置包含一速度控制机构，速度控制机构能用来使所述金属滚轮以介于2900转/分钟至4500转/分钟的一甩干速度转动。
15.本实用新型的其中一有益效果在于，本实用新型所提供的所述蚀刻设备，其能通过“所述摇摆装置用来选择性地以所述摇摆速度摆动所述金属滚轮；其中，所述摇摆装置能用来在部分所述金属滚轮的所述外表面被所述浸润装置中的所述蚀刻液浸润时，以所述摇摆速度摆动所述金属滚轮，令未被所述光阻层包覆的部分所述外表面被所述蚀刻液均匀浸润并蚀刻，进而形成所述图案化蚀刻层”的技术方案，使所述滚轮蚀刻设备在进行蚀刻测试时，仅需使用一个所述金属滚轮，即可完成数次滚轮蚀刻测试，不仅有效使测试成本下降，还能节省大量的蚀刻相关材料。
16.为能更进一步了解本实用新型的特征及技术内容，请参阅以下有关本实用新型的详细说明与附图，但是此等说明与附图仅用来说明本实用新型，而非对本实用新型的保护范围作任何的限制。
附图说明
17.图1为本实用新型实施例的蚀刻设备的立体示意图。
18.图2为本实用新型实施例的蚀刻设备的另一立体示意图。
19.图3为本实用新型实施例的蚀刻设备的动态示意图(一)。
20.图4为本实用新型实施例的蚀刻设备的动态示意图(二)。
21.图5为本实用新型实施例的蚀刻设备的动态示意图(三)。
22.图6为本实用新型实施例的蚀刻设备的动态示意图(四)。
23.图7为本实用新型实施例的蚀刻设备的动态示意图(五)。
24.图8为本实用新型实施例的蚀刻设备的动态示意图(六)。
25.图9为本实用新型实施例的蚀刻设备的动态示意图(七)。
26.图10为本实用新型实施例的金属滚轮准备进入浸润装置的剖面侧视图。
27.图11为本实用新型实施例的金属滚轮于浸润装置浸润的剖面侧视图。
具体实施方式
28.以下是通过特定的具体实施例来说明本实用新型所公开有关“蚀刻设备”的实施方式，本领域技术人员可由本说明书所公开的内容了解本实用新型的优点与效果。本实用新型可通过其他不同的具体实施例加以施行或应用，本说明书中的各项细节也可基于不同观点与应用，在不背离本实用新型的构思下进行各种修改与变更。另外，本实用新型的附图仅为简单示意说明，并非依实际尺寸的描绘，事先声明。此外，以下如有指出请参阅特定图
式或是如特定图式所示，其仅是用以强调于后续说明中，所述及的相关内容大部份出现于该特定图式中，但不限制该后续说明中仅可参考所述特定图式。以下的实施方式将进一步详细说明本实用新型的相关技术内容，但所公开的内容并非用以限制本实用新型的保护范围。
29.应当可以理解的是，虽然本文中可能会使用到“第一”、“第二”、“第三”等术语来描述各种组件或者信号，但这些组件或者信号不应受这些术语的限制。这些术语主要是用以区分一组件与另一组件，或者一信号与另一信号。另外，本文中所使用的术语“或”，应视实际情况可能包括相关联的列出项目中的任一个或者多个的组合。
30.请参阅图1至图11所示，其为本实用新型的实施例，需先说明的是，本实施例所对应到的附图及其所提及的相关数量与外形，仅用来具体地说明本实用新型的实施方式，以便于了解本实用新型的内容，而非用来局限本实用新型的保护范围。
31.如图1及图10所示，本实用新型实施例提供一种蚀刻设备100，用来在包覆有一光阻层300的一金属滚轮200的外表面201上进行蚀刻。其中，所述金属滚轮200于本实施例中优选由镍金属制成，但本实用新型并不限于此。举例来说，于本实用新型的其他实施例中，所述金属滚轮200也可以由锡、铅、锌、铝、铜、黄铜、铁、钴、钨、铬或其硬度大于铬的金属制成。
32.需要说明的是，所述光阻层300于本实施例中已经过曝光，并且所述光阻层300由正光阻剂形成，进一步地说，所述光阻层300主要是由酚醛树脂(phenol-formaldehyde resin)制成，但本实用新型并不限于此。举例来说，所述光阻层300也可以由环氧树脂(epoxy resin)等正光阻剂材料制成。
33.如图1及图2所示，所述蚀刻设备100包括一滚轮固定装置1、一浸润装置2、一移动装置3、一摇摆装置4、一冲洗装置5、以及一烘烤装置6，但本实用新型并不限于此。举例来说，于本实用新型未绘示的其他实施例中，所述蚀刻设备100也可以不包含所述冲洗装置5以及所述烘烤装置6。
34.进一步地说，所述滚轮固定装置1邻近设置于所述金属滚轮200，所述浸润装置2与所述滚轮固定装置1间隔地设置，所述移动装置3承载所述浸润装置2，所述摇摆装置4安装于所述滚轮固定装置1，所述冲洗装置5与所述滚轮固定装置1间隔地设置，所述烘烤装置6与所述滚轮固定装置1间隔地设置。
35.需要说明的是，如图1及图3所示，所述滚轮固定装置1用来固定所述金属滚轮200；所述浸润装置2用来容纳一蚀刻液2s；所述移动装置3用来使所述滚轮固定装置1与所述浸润装置2相对地移动；所述摇摆装置4用来摆动所述金属滚轮200。
36.如图1所示，所述滚轮固定装置1包含一夹持机构11，并且所述夹持机构11用来夹持所述金属滚轮200。其中，所述夹持机构11包含一圆形弹性筒夹，并且所述夹持机构11是通过油压驱动的方式，使所述圆形弹性筒夹可以夹持所述金属滚轮200，但本实用新型并不限于此。举例来说，所述圆形弹性筒夹也可以是车床夹头等其他夹具，并且所述夹持机构11也可以通过气压驱动或手动的方式，使所述圆形弹性筒夹能夹持所述金属滚轮200。
37.需要说明的是，所述夹持机构11安装于所述摇摆装置4，并且所述夹持机构11用来夹持所述金属滚轮200。具体来说，当所述摇摆装置4运作时，所述摇摆装置4会转动所述夹持机构11，使所述金属滚轮200被所述夹持机构11转动，但本实用新型并不限于此。举例来
说，于本实用新型未绘示的其他实施例中，所述夹持机构11也可以不安装于所述摇摆装置4。
38.如图3所示，所述浸润装置2还包含一盖体21，并且所述盖体21用来保护设置于所述浸润装置2的所述蚀刻液2s，避免其受到外部环境的污染。进一步地说，所述盖体21位置临近于所述滚轮固定装置1。
39.需要说明的是，所述盖体21包含可相互组合的两个组合面，两个所述组合面分别设置于所述浸润装置2的位置对称的任两侧，两个所述组合面能移动地组合在一起，使所述浸润装置2用来供所述金属滚轮200进入的开口被封闭或开启，但本实用新型并不限于此。举例来说。于本实用新型未绘示的其他实施例中，所述盖体21也可以包含一卷帘，所述卷帘设置于所述浸润装置2的任意一侧，并且所述卷帘可以被铺展以使所述浸润装置2用来供所述金属滚轮200进入的开口被封闭或开启。
40.如图1所示，所述移动装置3于本实施例中主要以图1所绘制的方式运作，但本实用新型并不限于此。举例来说，所述移动装置3也能以图2所绘制的方式或其他未绘制的方式运作。
41.如图3至图6所示，所述移动装置3用来使所述滚轮固定装置1与所述浸润装置2相对地移动，以使所述浸润装置2能用来将其所容纳的所述蚀刻液2s浸润于局部所述外表面201。具体来说，所述移动装置3包含抵接于所述浸润装置2的底部的一升降机构31及安装于所述升降机构31的一支撑机构32，并且所述支撑机构32用来支撑所述浸润装置2的底部，而所述升降机构31用来使所述浸润装置2沿垂直所述金属滚轮200的轴心的一方向移动。
42.更详细地说，如图3所示，所述移动装置3为一升降平台，优选是一油压升降平台，但本实用新型并不限于此。举例来说，所述移动装置3也可以为一液压升降平台或一电动升降平台。
43.更详细地说，如图4所示，所述升降机构31包含对称的两个移动轨道311，其分别邻近设置于所述浸润装置2位于其长度方向的两端，而所述支撑机构32包含对称的两个移动平台，其分别安装于两个所述移动轨道311上。其中，每个所述移动轨道311的一端邻近于所述滚轮固定装置1，另一端邻近于所述浸润装置2。
44.需要说明的是，于本实用新型未绘示的其他实施例中，所述移动装置3也可以包含安装于所述升降机构31的一摆动机构，并且所述摆动机构用来使所述浸润装置2沿平行所述金属滚轮200的轴心的一方向摆动。
45.如图5及图11所示，所述摇摆装置4用来选择性地以一摇摆速度4x摆动所述金属滚轮200，并且所述摇摆装置4能用来在部分所述金属滚轮200的所述外表面201被所述浸润装置2中的所述蚀刻液2s浸润时，以所述摇摆速度4x摆动所述金属滚轮200，令未被所述光阻层300包覆的部分所述外表面201被所述蚀刻液2s均匀浸润并蚀刻，进而形成一图案化蚀刻层400。
46.需要说明的是，所述摇摆装置4包含一速度控制机构(图未绘)，其能用来使所述金属滚轮200以介于1转/分钟至25转/分钟的所述摇摆速度4x摆动，但本实用新型不限于此。举例来说，所述速度控制机构也能用来使所述金属滚轮200以介于2900转/分钟至4500转/分钟的一甩干速度4y转动。
47.如图7所示，所述冲洗装置5用来在所述图案化蚀刻层400离开所述浸润装置2内的
所述蚀刻液2s时，以水冲洗分布于所述图案化蚀刻层400的所述蚀刻液2s。其中，当所述冲洗装置5以水冲洗分布于所述图案化蚀刻层400的所述蚀刻液2s时，所述摇摆装置4以所述摇摆速度4x转动所述金属滚轮200。
48.需要说明的是，当所述冲洗装置5以水冲洗分布于所述图案化蚀刻层400的所述蚀刻液2s时，所述浸润装置2的所述盖体21将封闭所述浸润装置2，阻挡使用过的水与使用过的所述蚀刻液2s回流到所述浸润装置2中。
49.需要说明的是，如图8所示，当所述图案化蚀刻层400离开所述浸润装置2内的所述蚀刻液2s，而且所述冲洗装置5对所述图案化蚀刻层400冲洗完毕后，所述摇摆装置4能以所述甩干速度4y转动所述金属滚轮200而分离残留于所述图案化蚀刻层400的水。
50.如图9所示，所述烘烤装置6能用来去除所述图案化蚀刻层400上多余的所述蚀刻液2s，并且所述烘烤装置6为一红外线灯、一近红外线灯、或一氙灯。
51.需要说明的是，当所述烘烤装置6对所述图案化蚀刻层400进行烘烤时，所述摇摆装置4能以一烘烤速度转动所述金属滚轮200，使所述图案化蚀刻层400能被所述烘烤装置6均匀烘烤，续而使残留于所述图案化蚀刻层400上的水以及所述图案化蚀刻层400上多余的所述蚀刻液2s能被完全去除。
52.据此，所述蚀刻设备100有效地改善现有蚀刻设备所可能产生的缺陷。
53.[实施例的有益效果]
[0054]
本实用新型的其中一有益效果在于，本实用新型所提供的所述蚀刻设备100，其能通过“所述摇摆装置4用来选择性地以所述摇摆速度4x摆动所述金属滚轮200；其中，所述摇摆装置4能用来在部分所述金属滚轮200的所述外表面201被所述浸润装置2中的所述蚀刻液2s浸润时，以所述摇摆速度4x摆动所述金属滚轮200，令未被所述光阻层300包覆的部分所述外表面201被所述蚀刻液2s均匀浸润并蚀刻，进而形成所述图案化蚀刻层400”的技术方案，使所述滚轮蚀刻设备100在进行蚀刻测试时，仅需使用一个所述金属滚轮200，即可完成数次滚轮蚀刻测试，不仅有效使测试成本下降，还能节省大量的蚀刻相关材料。
[0055]
以上所公开的内容仅为本实用新型的优选可行实施例，并非因此局限本实用新型的申请专利范围，所以凡是运用本实用新型说明书及图式内容所做的等效技术变化，均包含于本实用新型的申请专利范围内。