一种单晶硅异质结太阳电池hwcvd设备的控压系统
技术领域
1.本实用新型涉及太阳电池加工技术领域，更具体地说，本实用新型涉及一种单晶硅异质结太阳电池hwcvd设备的控压系统。
背景技术：
2.单晶硅异质结太阳电池转换效率高，被光伏行业公认为下一代大规模产业化关键技术之一，单晶硅异质结太阳电池非晶硅镀膜设备有hwcvd和pecvd，其中hwcvd因其较低的制造成本和更高产能而更具竞争力，量产hwcvd设备腔体较大，为快速将腔体抽到本体真空，需配备大口径抽真空管道、高转速泵组，而做工艺时腔体保持0-10pa，较小的抽速即可满足。
3.现有技术存在以下不足：现有的抽真空系统前级蝶阀开度10％，保持在蝶阀工作的下限，增加了设备工艺时的操作难度和设备制造成本。
技术实现要素：
4.为了克服现有技术的上述缺陷，本实用新型的实施例提供一种单晶硅异质结太阳电池hwcvd设备的控压系统，以解决上述背景技术中提出的问题。
5.为实现上述目的，本实用新型提供一种单晶硅异质结太阳电池hwcvd设备的控压系统：包括通管，所述通管的中部固定设有截止阀，所述通管的一侧顶部以及底部分别固定设有第一导管以及第二导管，且所述第一导管以及第二导管均与通管导通连接，所述第一导管以及第二导管的相近端设有调压组件，所述调压组件包括蝶阀，且所述蝶阀与第一导管以及第二导管导通连接。
6.优选的，所述蝶阀的外侧设有方形盒，且所述蝶阀嵌入设置在方形盒中。
7.优选的，所述蝶阀的一侧中心处活动设有螺塞，且所述螺塞与方形盒螺纹连接，所述螺塞的端部固定设有拉环。
8.优选的，所述方形盒的端口处设有盖板，且所述盖板与方形盒滑动连接。
9.优选的，所述盖板的顶端设有限位架，且所述限位架与盖板固定连接。
10.优选的，所述通管的顶端以及底端外侧均设有法兰，且两个所述法兰均与通管固定焊接。
11.本实用新型的技术效果和优点：
12.本实用新型通过抽本体真空时蝶阀关闭，截止阀打开，通过通管抽真空，做工艺时截止阀关闭，蝶阀打开，此时通过第一导管以及第二导管进行控压，由于蝶阀、第一导管以及第二导管的尺寸小，蝶阀开度可以调节到开50％，该控压系统便于操作，设计结构简单，设备制造成本低，有效地提升系统控压稳定性。
附图说明
13.图1为本实用新型的整体结构示意图。
14.图2为本实用新型调压组件的局部结构示意图。
15.图3为本实用新型方形盒的纵剖结构示意图。
16.附图标记为：1、通管；2、截止阀；3、第一导管；4、第二导管；5、调压组件；6、蝶阀；7、方形盒；8、螺塞；9、拉环；10、盖板；11、法兰。
具体实施方式
17.下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
18.参照说明书附图1-3，本实用新型一实施例的一种单晶硅异质结太阳电池hwcvd设备的控压系统，包括通管1，所述通管1的中部固定设有截止阀2，所述通管1的一侧顶部以及底部分别固定设有第一导管3以及第二导管4，且所述第一导管3以及第二导管4均与通管1导通连接，所述第一导管3以及第二导管4的相近端设有调压组件5，所述调压组件5包括蝶阀6，且所述蝶阀6与第一导管3以及第二导管4导通连接，所述通管1的顶端以及底端外侧均设有法兰11，且两个所述法兰11均与通管1固定焊接，通过设置的法兰11便于通管1与真空抽气设备的连接。
19.所述蝶阀6的外侧设有方形盒7，且所述蝶阀6嵌入设置在方形盒7中，所述蝶阀6的一侧中心处活动设有螺塞8，且所述螺塞8与方形盒7螺纹连接，所述螺塞8的端部固定设有拉环9，所述方形盒7的端口处设有盖板10，且所述盖板10与方形盒7滑动连接，所述盖板10的顶端设有限位架，且所述限位架与盖板10固定连接，当需要更换蝶阀6时，将盖板10上移打开，然后通过拉环9顺时针转动螺塞8，此时螺塞8旋出方形盒7，即可将蝶阀6从方形盒7的内部取出更换，通过设置的截止阀2以及蝶阀6均通过导线与外部配电箱电性连接。
20.工作原理：抽本体真空时蝶阀6关闭，截止阀2打开，通过通管1抽真空，做工艺时截止阀2关闭，蝶阀6打开，此时通过第一导管3以及第二导管4进行控压，由于蝶阀6、第一导管3以及第二导管4的尺寸小，蝶阀6开度可以调节到开50％，该控压系统便于操作，蝶阀开度可达50％，设计结构简单，设备制造成本低，有效地提升系统控压稳定性。
21.最后应说明的几点是：首先，在本申请的描述中，需要说明的是，除非另有规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，可以是机械连接或电连接，也可以是两个元件内部的连通，可以是直接相连，“上”、“下”、“左”、“右”等仅用于表示相对位置关系，当被描述对象的绝对位置改变，则相对位置关系可能发生改变；
22.其次：本实用新型公开实施例附图中，只涉及到与本公开实施例涉及到的结构，其他结构可参考通常设计，在不冲突情况下，本实用新型同一实施例及不同实施例可以相互组合；
23.最后：以上所述仅为本实用新型的优选实施例而已，并不用于限制本实用新型，凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。
技术特征：
1.一种单晶硅异质结太阳电池hwcvd设备的控压系统，其特征在于：包括通管(1)，所述通管(1)的中部固定设有截止阀(2)，所述通管(1)的一侧顶部以及底部分别固定设有第一导管(3)以及第二导管(4)，且所述第一导管(3)以及第二导管(4)均与通管(1)导通连接，所述第一导管(3)以及第二导管(4)的相近端设有调压组件(5)，所述调压组件(5)包括蝶阀(6)，且所述蝶阀(6)与第一导管(3)以及第二导管(4)导通连接。2.根据权利要求1所述的一种单晶硅异质结太阳电池hwcvd设备的控压系统，其特征在于：所述蝶阀(6)的外侧设有方形盒(7)，且所述蝶阀(6)嵌入设置在方形盒(7)中。3.根据权利要求2所述的一种单晶硅异质结太阳电池hwcvd设备的控压系统，其特征在于：所述蝶阀(6)的一侧中心处活动设有螺塞(8)，且所述螺塞(8)与方形盒(7)螺纹连接，所述螺塞(8)的端部固定设有拉环(9)。4.根据权利要求2所述的一种单晶硅异质结太阳电池hwcvd设备的控压系统，其特征在于：所述方形盒(7)的端口处设有盖板(10)，且所述盖板(10)与方形盒(7)滑动连接。5.根据权利要求4所述的一种单晶硅异质结太阳电池hwcvd设备的控压系统，其特征在于：所述盖板(10)的顶端设有限位架，且所述限位架与盖板(10)固定连接。6.根据权利要求1所述的一种单晶硅异质结太阳电池hwcvd设备的控压系统，其特征在于：所述通管(1)的顶端以及底端外侧均设有法兰(11)，且两个所述法兰(11)均与通管(1)固定焊接。
技术总结
本实用新型公开了一种单晶硅异质结太阳电池HWCVD设备的控压系统，包括通管，所述通管的中部固定设有截止阀，所述通管的一侧顶部以及底部分别固定设有第一导管以及第二导管，且所述第一导管以及第二导管均与通管导通连接，所述第一导管以及第二导管的相近端设有调压组件，所述调压组件包括蝶阀，且所述蝶阀与第一导管以及第二导管导通连接，本实用新型通过抽本体真空时蝶阀关闭，截止阀打开，通过通管抽真空，做工艺时截止阀关闭，蝶阀打开，此时通过第一导管以及第二导管进行控压，由于蝶阀、第一导管以及第二导管的尺寸小，蝶阀开度可以调节到开50％，该控压系统便于操作，设计结构简单，设备制造成本低，有效地提升系统控压稳定性。定性。定性。
技术研发人员：刘翠翠
受保护的技术使用者：江西汉可泛半导体技术有限公司
技术研发日：2021.10.14
技术公布日：2022/2/11