1.本实用新型涉及半导体领域，尤其涉及一种冷却液添加设备及刻蚀系统。
背景技术：
2.干刻设备的一种附属设备为温控装置，温控装置需要添加冷却液维持运行，当温控装置内的冷却液经过长时间的消耗降低到警报线后，需要向温控装置内添加冷却液以保证设备的正常运行，现有技术通过人工倾倒的方法进行冷却液的添加，但由于单桶冷却液的重量为20kg，且温控装置的加液口离地较高，人工倾倒时对工作人员而言负载较大，不易控制冷却液倾倒的速度与数量，极易造成冷却液的洒出；同时，冷却液为含氟化合物，在加液过程中冷却液暴露在空气中，含氟化合物挥发会影响环境tvoc(total volatile organic compounds，总挥发性有机物)并造成氟污染，对工作人员的健康造成影响，现有技术中没有针对这一问题的解决方案。
技术实现要素：
3.本实用新型的目的在于提供一种冷却液添加设备及刻蚀系统，保证冷却液加液准确便捷的同时减少对环境的污染。
4.为了达到上述目的，本实用新型提供了一种冷却液添加设备，用于向温控装置添加冷却液，所述温控装置包括加液口，包括：
5.储液桶，用于存储所述冷却液，所述储液桶设置于所述温控装置上，且具有出液口；
6.加液管，第一端通过所述出液口伸入所述储液桶内的冷却液内，第二端伸入所述加液口内；
7.气囊，设置于所述加液管上且位于所述加液管的第一端和所述加液管的第二端之间，用于改变所述加液管内的气压，以将所述储液桶内的冷却液通过虹吸效应吸入所述温控装置内。
8.可选的，所述出液口沿垂向的位置高于所述加液口沿垂向的位置。
9.可选的，所述加液管的材料为弹性材料。
10.可选的，所述加液管的第一端至所述气囊之间的部分呈倒u形。
11.可选的，所述气囊与所述加液管可拆卸连接。
12.可选的，所述加液管包括第一管部和第二管部，所述第一管部的一端为所述加液管的第一端，所述第二管部的一端为所述加液管的第二端，所述气囊以过盈配合的方式套接在所述第一管部的另一端和所述第二管部的另一端上。
13.可选的，所述气囊的外径大于所述加液管的外径。
14.可选的，所述冷却液添加设备还包括：
15.第一封口塞，设置于所述出液口上，所述加液管的第一端贯穿所述第一封口塞并伸入所述储液桶内；
16.第二封口塞，设置于所述加液口上，所述加液管的第二端贯穿所述第二封口塞并伸入所述加液口内。
17.可选的，所述第一封口塞和所述第二封口塞上均开设有若干通孔，所述通孔将所述储液桶与大气连通。
18.可选的，所述冷却液添加设备还包括：
19.夹子，设置于所述加液管的第二端与所述气囊之间，用于夹持所述加液管，以使所述加液管封闭。
20.本实用新型还提供一种刻蚀系统，包括干刻设备、所述温控装置及如上述任意一项所述冷却液添加设备，所述温控装置用于为所述干刻设备提供冷却液以调节所述干刻设备的温度。
21.本实用新型提供的一种冷却液添加设备及刻蚀系统，用于向温控装置添加冷却液，所述温控装置包括加液口，所述冷却液添加设备包括：储液桶，用于存储所述冷却液，所述储液桶设置于所述温控装置上，且具有出液口；加液管，第一端通过所述出液口伸入所述储液桶的冷却液内，第二端伸入所述加液口内；气囊，设置于所述加液管上且位于所述加液管的第一端和所述加液管的第二端之间，用于改变所述加液管内的气压，通过挤压所述气囊，可利用虹吸效应将储液桶内的冷却液吸入温控装置中，实现冷却液的添加，避免了冷却液在添加过程中洒出，同时节省了人力。
22.此外，在所述出液口上设置第一封口塞，在所述加液口上设置第二封口塞，使冷却液的添加过程在半封闭的环境中进行，有效减少了含氟化合物挥发对环境tvoc造成的影响，同时避免对工作人员身体的损害。
附图说明
23.图1为通过人工倾倒进行冷却液添加的结构示意图；
24.图2为使用图1进行冷却液添加时室内tvoc含量的折线图；
25.图3为本实用新型实施例提供的一种冷却液添加设备的结构示意图；
26.图4为本实用新型实施例提供的气囊的结构示意图；
27.图5为本实用新型实施例提供的第一封口塞的立体图；
28.图6为使用图3所述冷却液添加设备时室内tvoc含量的折线图；
29.其中，附图说明为：
30.100、200-温控装置；102、202-加液口；104、204-储液桶；106-漏斗；205-出液口；206-加液管；208-气囊；209a-第一接口；209b-第二接口；210a-第一封口塞；210b-第二封口塞；211-穿孔；213-通孔。
具体实施方式
31.当温控装置的冷却液消耗至警报线之下时，需要对所述温控装置进行冷却液的添加，图1为通过人工倾倒进行冷却液添加的结构示意图，如图1所示，所述温控装置100包括加液口102，漏斗106的咀部设置于所述加液口102内；储液桶104用于存储所述冷却液并向所述漏斗106内倾倒所述冷却液。对于不同的温控装置100，所述加液口102的位置有所不同，但所述加液口102均远离地面，且所述加液口102的直径较小；所述储液桶104与其内部
的所述冷却液的重量一般为20kg，若采用直接倾倒的方式进行冷却液的添加，对工作人员的负载较大，且不易控制冷却液倾倒的速度与数量，极易造成冷却液的洒出。若在所述加液口102上设置所述漏斗106，可以增大冷却液倾倒的范围，但所述漏斗106直接套接在所述加液口102内，在加液过程中需要工作人员手持以进行固定，防止所述漏斗106脱落，增加了对人力的需求。
32.同时，通过人工倾倒的方式向所述温控装置100添加冷却液的过程中所述冷却液大面积暴露在空气中，所述冷却液为含氟化合物，敞开式的加液过程会导致含氟化合物的挥发，影响环境的tvoc含量。图2为使用图1进行冷却液添加时室内tvoc含量的折线图，如图2所示，t1时刻为进行冷却液添加前，此时室内的tvoc含量为593μg/m3；t2时刻为加液过程中的某时刻，此时室内的tvoc含量上升至814μg/m3；t3时刻为加液结束的时刻，此时室内的tvoc含量达到峰值，为1298μg/m3；t4时刻为加液结束后一小时后的某时刻，此时室内的tvoc含量已缓慢回落到正常水平。国家标准规定室内tvoc的含量应小于600μg/m3，而在使用所述冷却液添加设备的加液过程中，室内tvoc含量升高至1298μg/m3，远超国家标准规定的范围，会对工作人员的身体健康造成影响。
33.为使本实用新型的目的、优点和特征更加清楚，以下结合附图和具体实施例对本实用新型作进一步详细说明。需说明的是，附图均采用非常简化的形式且未按比例绘制，仅用以方便、明晰地辅助说明本实用新型实施例的目的。此外，附图所展示的结构往往是实际结构的一部分。特别的，各附图需要展示的侧重点不同，有时会采用不同的比例。
34.图3为本实施例提供的一种冷却液添加设备的结构示意图，如图3所示，所述冷却液添加设备用于向温控装置200添加冷却液，所述冷却液添加设备包括：储液桶204、加液管206及气囊208。
35.具体的，所述温控装置200包括加液口202，所述温控装置200的高度一般为90cm，所述加液口202设置于所述温控装置200的侧面。针对不同的温控装置200，所述加液口202设置的位置可以有所不同，在本实施例中，所述加液口202设置在所述温控装置200垂向高度30cm处，且所述加液口202为一段长度大于5cm的空心管，所述空心管开口方向向上且与所述温控装置200之间具有一定角度，该角度小于90度。
36.所述储液桶204用于存储所述冷却液，所述储液桶204设置于所述温控装置200上，且具有出液口205。进一步的，所述加液管206的第一端通过所述出液口伸入所述储液桶的冷却液内，第二端伸入所述加液口内，且所述加液管206上设置有所述气囊208，且所述气囊208位于所述加液管206的第一端和所述加液管206的第二端之间。
37.本实施例中，由于所述储液桶204是设置在所述温控装置200上的，所以所述出液口205沿垂向的位置高于所述加液口202沿垂向的位置；且所述加液管206的第一端至所述气囊208之间部分弯折呈倒u形。
38.所述加液管206分为第一管部206a和第二管部206b，所述第一管部206a的一端为所述加液管206的第一端，所述第二管部206b的一端为所述加液管206的第二端，所述气囊208以过盈配合的方式套接在所述第一管部206a的另一端和所述第二管部206b的另一端上。
39.挤压所述气囊208，所述气囊208及所述第一管部206a中的气体排出，松开所述气囊208，使所述储液桶204中的所述冷却液被吸入所述第一管部206a中，并至少充满所述第
一管部206a呈倒u形的部分，进而产生虹吸现象，使所述冷却液通过所述加液管206自动流入所述加液口202内，完成对所述温控装置200冷却液的添加。
40.所述气囊208的外径大于所述加液管206的内径，本实用新型不限制所述气囊208的外形，仅需保证所述气囊208挤压并松开后吸入的所述冷却液充满所述第一管部206a呈倒u形的部分，在本实施例中，所述气囊208为椭圆体。
41.图4为本实施例提供的气囊208的结构示意图，如图4所示，所述气囊208为两端开口的腔体，且所述气囊208的两端分别设置有第一接口209a和第二接口209b，所述第一接口209a与所述第二接口209b分别与所述加液管206连接，所述气囊208与所述加液管206之间可为一体式连接或可拆卸连接。其中，所述可拆卸连接可以为所述第一接口209a与所述第一管部206a的一端过盈配合，所述第二接口209b与所述第二管部206b的一端过盈配合；或者在所述第一接口209a与所述第二接口209b内设置螺纹，并在所述第一管部206a与所述第二管部206b端部的外侧设置相适配的螺纹，通过螺纹连接将所述加液管206与所述气囊208连接起来。
42.进一步地，所述气囊208及所述加液管206的材料均为弹性材料，在本实施例中，所述弹性材料为橡胶。
43.继续参考图3，所述冷却液添加设备还包括：第一封口塞210a和第二封口塞210b，所述第一封口塞210a设置于所述出液口205上，所述第二封口塞210b设置于所述加液口202上，所述第一封口塞210a和所述第二封口塞210b的材料为弹性材料，例如所述第一封口塞210a和所述第二封口塞210b的材料均为橡胶。
44.图5为实施例提供的第一封口塞210a的立体图，如图5所示，所述第一封口塞210a呈圆台状，所述第一封口塞210a的小圆直径小于所述出液口205的内径，所述第一封口塞210a的大圆直径大于所述出液口205的内径，将所述第一封口塞210a小圆端伸入所述出液口205内与所述出液口205过盈配合，使其更好的封闭所述出液口205。所述第一封口塞210a内开设有穿孔211，所述穿孔211与所述加液管206间隙配合，所述穿孔211的内径大于所述加液管206的外径，减小所述穿孔211与所述加液管206之间的摩擦，便于加液后进行分离，所述加液管206的第一端通过所述穿孔211伸入所述储液桶204内的所述冷却液内。本实施例中所述加液管206的第一端延伸至所述储液桶204的底部，避免加液过程中所述加液管206露出所述冷却液表面，导致加液停止。
45.所述第二封口塞210b的结构与所述第一封口塞210a的结构相同，所述加液管206的第二端贯穿所述第二封口塞210b伸入所述加液口202内。
46.所述第一封口塞210a和所述第二封口塞210b使整个冷却液的添加过程在封闭环境中进行，避免冷却液的挥发造成的tvoc污染。
47.在其它可选实施例中，所述第一封口塞210a及所述第二封口塞210b的形状可为圆柱体或两个大小不同的柱体叠加。
48.进一步的，在冷却液添加过程中，所述储液桶204内的所述冷却液逐渐减少，所述温控装置200内的所述冷却液不断增加，所述储液桶204内气压与所述温控装置200内气压的差值逐渐增大，可能导致冷却液下流速度减慢甚至停止。所以所述第一封口塞210a及所述第二封口塞210b上开设有若干通孔213，所述通孔213使所述储液桶204与大气连通，使所述储液桶204内及所述温控装置200内的气压维持在平衡状态，进而使冷却液的添加速度更
加稳定。
49.所述通孔213的直径小于5mm，减小所述通孔213的直径以减少所述冷却液的挥发，进而减少对环境的污染以及对工作人员身体健康的损害。
50.所述冷却液添加设备还可以包括夹子。在实际应用中，将所述夹子夹在所述第二管部206b上，使所述加液管206封闭，挤压所述气囊208，使所述气囊208的气体沿着所述第一管部206a排出到所述储液桶204内；松开所述气囊208，吸入所述冷却液并使所述冷却液充满所述第一管部206a呈倒u形的部分；取下所述夹子，所述加液管206打开，由于液压及重力的原因产生虹吸效应，所述储液桶204内的所述冷却液沿所述加液管206自动流入所述温控装置200中，以完成加液。进一步的，当所述温控装置200内的冷却液添加结束时，将所述夹子重新夹在所述第二管部206b上，阻止所述冷却液继续下流；挤压所述气囊208，将所述第一管部206a内的冷却液挤压回所述储液桶204内，并使所述加液管206的第一端脱离所述储液桶204内的所述冷却液。
51.在其它可选实施例中，可以使所述加液管206的第二端与所述气囊208之间部分弯折以封闭所述加液管206。
52.图6为使用图3所述冷却液添加设备时室内tvoc含量的折线图，如图6所示，t1时刻为进行冷却液添加前某时刻，此时室内的tvoc含量为593μg/m3；t3时刻为加液结束时刻，此时室内的tvoc含量为326μg/m3，整个加液过程中，室内的tvoc含量没有上升。可见，使用本实施例所述的冷却液添加设备，有效减少了含氟化合物挥发对环境tvoc造成的影响。
53.本实施例还提供一种刻蚀系统，包括干刻设备、温控装置200及所述冷却液添加设备，所述温控装置200用于为所述干刻设备提供冷却液以调节所述干刻设备的温度。所述冷却液添加设备通过所述加液管206向所述温控装置200内添加所述冷却液，以维持所述温控装置200的正常运行。
54.综上，在本实用新型实施例提供的用于向所述温控装置200添加冷却液的冷却液添加设备中，包括：储液桶204，用于存储所述冷却液，所述储液桶204设置于所述温控装置200上，且具有出液口205；加液管206，第一端通过所述出液口205伸入所述储液桶204的冷却液内，第二端伸入所述加液口202内；气囊208，设置于所述加液管206上且位于所述加液管206的第一端和所述加液管206的第二端之间，用于改变所述加液管206内的气压，挤压所述气囊208，利用虹吸效应进行冷却液的添加，避免使用人工倾倒的方法，防止冷却液在添加过程中洒出，同时节省了人力；在所述出液口205上设置所述第一封口塞210a，在所述加液口202上设置所述第二封口塞210b，并在所述第一封口塞210a及所述第二封口塞210b上开设若干所述通孔213，使冷却液的添加过程在半封闭的环境中进行，有效减少了含氟化合物挥发对环境tvoc造成的影响，同时避免对工作人员身体的损害。
55.上述仅为本实用新型的优选实施例而已，并不对本实用新型起到任何限制作用。任何所属技术领域的技术人员，在不脱离本实用新型的技术方案的范围内，对本实用新型揭露的技术方案和技术内容做任何形式的等同替换或修改等变动，均属未脱离本实用新型的技术方案的内容，仍属于本实用新型的保护范围之内。