1.本公开涉及玻璃基板加工领域，具体地，涉及一种玻璃基板干燥装置。


背景技术：

2.玻璃基板生产加工中，需要对玻璃基板表面进行清洗。在此工艺流程中，最后经过洗净纯水清洗后的玻璃基板需要通过风刀将表面水渍吹扫干净。
3.在实际生产加工过程中，通过观察发现玻璃基板上靠近边缘及末端的位置无法被完全吹干，导致少量的水残留在这些位置。这使得玻璃基板在经过检查间颗粒检测仪器时会造成检测仪器的误判，导致玻璃基板颗粒扫描异常。此外，残留的水甚至会在玻璃基板表面形成水渍，导致玻璃基板改判二次清洗。


技术实现要素：

4.本公开的目的是提供一种玻璃基板干燥装置，以解决玻璃基板在经过清洗工序时无法被完全吹干的技术问题。
5.为了实现上述目的，本公开提供一种玻璃基板干燥装置，包括：传送机构，能够沿第一方向传送玻璃基板；风刀机构，能够沿与所述第一方向相反的第二方向在所述玻璃基板的表面吹出气流；以及红外加热机构，沿所述第一方向设置在所述风刀机构之后，以加热所述玻璃基板。
6.可选地，所述红外加热机构包括设置在所述玻璃基板上方的红外加热板，所述红外加热板沿所述第一方向向上倾斜延伸。
7.可选地，所述红外加热板与所述玻璃基板的夹角为40
°
至50
°
。
8.可选地，所述红外加热板与所述玻璃基板的夹角为45
°
。
9.可选地，还包括：箱体，所述风刀机构和所述红外加热板设置在所述箱体中；以及抽湿机构，包括：抽湿管路，沿所述第一方向设置在所述红外加热板之后；风机，能够通过所述抽湿管路抽出所述箱体内的气体；湿度传感器，能够检测所述箱体内的湿度；以及控制器，与所述湿度传感器和所述风机通信连接，所述控制器配置为：当所述湿度传感器所测得的湿度不小于预设湿度时，控制所述风机的转速增大。
10.可选地，所述抽湿机构还包括：压差传感器，与所述控制器通信连接，且能够检测所述箱体内的气压；所述控制器还配置为：当所述压差传感器所测得的气压不大于预设气压时，控制所述风机的转速减小。
11.可选地，所述抽湿管路设置在所述玻璃基板的上方，所述红外加热板的一端靠近所述玻璃基板，另一端向所述抽湿管路的进气口倾斜延伸。
12.可选地，所述红外加热机构还包括固定支架，所述红外加热板通过所述固定支架固定连接于所述箱体内。
13.可选地，所述风机为变频风机。
14.可选地，所述风刀机构包括设置在所述玻璃基板上方的第一风刀组和设置在所述
玻璃基板下方的第二风刀组。
15.通过上述技术方案，本公开提供的玻璃基板干燥装置中，玻璃基板先经过风刀机构，风刀机构吹出的高速气流能够将玻璃基板表面的水吹干，之后，玻璃基板在经过红外加热机构时，红外加热机构能够对玻璃基板进行加热，以使得玻璃基板上残留的水分快速蒸发，从而确保玻璃基板在进入检查间颗粒检测仪器时处于完全干燥状态。
16.本公开的其他特征和优点将在随后的具体实施方式部分予以详细说明。
附图说明
17.附图是用来提供对本公开的进一步理解，并且构成说明书的一部分，与下面的具体实施方式一起用于解释本公开，但并不构成对本公开的限制。在附图中：
18.图1是本公开具体实施方式中玻璃基板干燥装置的结构示意图。
19.附图标记说明
20.1-传送机构，2-风刀机构，21-第一风刀组，22-第二风刀组，3-红外加热机构，31-红外加热板，32-固定支架，4-箱体，5-抽湿机构，51-抽湿管路，511-进气口，52-风机，53-湿度传感器，54-压差传感器，6-玻璃基板。
具体实施方式
21.以下结合附图对本公开的具体实施方式进行详细说明。应当理解的是，此处所描述的具体实施方式仅用于说明和解释本公开，并不用于限制本公开。
22.在本公开中，在未作相反说明的情况下，使用的方位词如“上、下”通常是指玻璃基板干燥装置在正常使用过程中的上、下，参考图1的图面方向，“前、后”是指沿第一方向的前、后，且玻璃基板沿第一方向由前向后传送，“内、外”是指相对于相应零部件自身轮廓的内、外。本公开中使用的术语“第一”“第二”等是为了区别一个要素和另一个要素，不具有顺序性和重要性。另外，下面的描述在涉及附图时，除非另有表示，不同附图中的相同数字表示相同或相似的要素。
23.根据本公开的具体实施方式，提供一种玻璃基板干燥装置，参考图1所示，该干燥装置可以包括传送机构1、风刀机构2以及红外加热机构3，其中，传送机构1能够沿第一方向传送玻璃基板6，风刀机构2能够沿与第一方向相反的第二方向在玻璃基板6的表面吹出气流，该气流可以为高速气流，红外加热机构3沿第一方向设置在风刀机构2之后，以加热玻璃基板6。
24.通过上述技术方案，本公开提供的玻璃基板干燥装置中，玻璃基板6先经过风刀机构2，风刀机构2吹出的高速气流能够将玻璃基板6表面的水吹干，之后，玻璃基板6在经过红外加热机构3时，红外加热机构3能够对玻璃基板6进行加热，以使得玻璃基板6上残留的水分快速蒸发，从而确保玻璃基板6在进入检查间颗粒检测仪器时处于完全干燥状态。
25.参考图1所示，红外加热机构3可以包括设置在玻璃基板6上方的红外加热板31，红外加热板31可以沿第一方向向上倾斜延伸，以避免红外加热板31阻挡玻璃基板6上的水分的蒸发。
26.其中，红外加热板31与玻璃基板6的夹角可以为40
°
至50
°
，优选地，红外加热板31与玻璃基板6的夹角可以为45
°
，这样既能够保证红外加热板31对玻璃基板6的加热效果，又
能够避免红外加热板31上出现冷凝水。
27.此外，参考图1所示，上述干燥装置还可以包括箱体4和抽湿机构5，箱体4能够在干燥过程中避免外界粉尘污染玻璃基板6，风刀机构2和红外加热板31可以设置在箱体4中，抽湿机构5可以包括抽湿管路51、风机52、湿度传感器53以及控制器(未示出)，其中，抽湿管路51沿第一方向设置在红外加热板31之后，以将玻璃基板6上蒸发的湿气导入风机52，风机52能够通过抽湿管路51抽出箱体4内的湿气，风机52可以为变频风机，湿度传感器53能够检测箱体4内的湿度，控制器能够与湿度传感器53和风机52通信连接，控制器可以配置为当湿度传感器53所测得的湿度不小于预设湿度时，控制风机52的转速增大，以避免箱体4内的湿度过大，影响对玻璃基板6的干燥效果。
28.此外，参考图1所示，抽湿机构5还可以包括与控制器通信连接的压差传感器54，压差传感器54能够检测箱体4内的气压，控制器还可以配置为当压差传感器54所测得的气压不大于预设气压时，控制风机52的转速减小，以确保箱体4内的气压始终大于大气压，从而避免外界粉尘进入箱体4内污染玻璃基板6。
29.参考图1所示，抽湿管路51可以设置在玻璃基板6的上方，红外加热板31的一端靠近玻璃基板6的上表面，另一端向抽湿管路51的进气口511倾斜延伸，以将玻璃基板6上蒸发的湿气导流至抽湿管路51中。
30.参考图1所示，红外加热机构3还可以包括固定支架32，红外加热板31可以通过固定支架32固定连接于箱体4内。
31.参考图1所示，风刀机构2可以包括设置在玻璃基板6上方的第一风刀组21和设置在玻璃基板6下方的第二风刀组22，以同时对玻璃基板6的上表面和下表面进行干燥，从而提高干燥效率。
32.以上结合附图详细描述了本公开的优选实施方式，但是，本公开并不限于上述实施方式中的具体细节，在本公开的技术构思范围内，可以对本公开的技术方案进行多种简单变型，这些简单变型均属于本公开的保护范围。
33.另外需要说明的是，在上述具体实施方式中所描述的各个具体技术特征，在不矛盾的情况下，可以通过任何合适的方式进行组合，为了避免不必要的重复，本公开对各种可能的组合方式不再另行说明。
34.此外，本公开的各种不同的实施方式之间也可以进行任意组合，只要其不违背本公开的思想，其同样应当视为本公开所公开的内容。