1.本实用新型涉及一种具有对来自外部环境的压力的优异的耐压性和优异的散热特性，并能够提高工作流体的流通性的均热板。


背景技术：

2.近年来，由于高功能化带来的高密度搭载等，搭载于电气电子设备的半导体元件等电子部件的发热量增大，其冷却变得尤为重要。另外，出于电子设备小型化的考虑，电子部件等发热体会配置于狭小空间中。作为对配置于狭小空间中的电子部件等发热体进行冷却的冷却方法，会用到均热板(平面型热管)。另外，从均热板的小型化和轻型化的观点出发，需要实现均热板的容器的壁厚的薄壁化。
3.因为对容器的内部进行减压处理，所以，若容器的壁厚薄壁化，则容器会因大气压和负载的作用而发生变形。若容器变形，则会导致工作流体的流通特性降低，均热板的散热特性下降。因此，为了维持容器的内部空间，会在均热板的容器内部设置支撑部。
4.作为在容器内部设置支撑部的现有技术，例如，能够举出专利文献1的均热板，其具有：容器；配置在容器的内部空间以从内侧支撑容器的支柱；封入容器的内部空间的工作流体；配置在容器的内部空间的芯。容器的主内表面的至少一部分暴露于容器的内部空间。
5.但是，在专利文献1等以往的均热板中，侧面观察支撑部，其形状呈四边形。因此，在以往的均热板中，从容器立起的支撑部的基部与容器内表面所成的角度为直角。若所述所成的角度为直角，则液相的工作流体易于贮存在支撑部的立起基部即支撑部与容器内表面的边界部，液相的工作流体可能无法顺畅地回流至容器的受热面。另外，暴露于容器的内部空间的支撑部的侧面无法促进均热板的散热作用，所以，均热板的散热特性尚待改善。
6.现有技术文献
7.专利文献1：日本特开2018-189349号公报


技术实现要素：

8.实用新型所要解决的问题
9.鉴于上述情况，本实用新型的目的在于，提供一种具有对来自外部环境的压力的优异的耐压性和优异的散热特性，并能够提高工作流体的流通性的均热板。
10.解决问题的技术方案
11.本实用新型结构要点如下所述。
12.[1]一种均热板，具有：
[0013]
容器，由热连接发热体的一侧板状体和与该一侧板状体相对的另一侧板状体形成空洞部；
[0014]
工作流体，被封入所述空洞部；
[0015]
芯结构体，收纳于所述空洞部，与所述容器相互独立，
[0016]
所述容器具有支撑部，所述支撑部通过在所述另一侧板状体的外表面设置凹部，
从该另一侧板状体的内表面向所述一侧板状体的方向凸出，
[0017]
该支撑部与所述另一侧板状体的内表面在所述支撑部的从所述另一侧板状体的内表面立起的立起基部处所成的角度为钝角。
[0018]
[2]根据[1]所记载的均热板，所述支撑部在所述另一侧板状体的延伸方向上的面积随着从所述立起基部朝向所述支撑部的前端部而逐渐变小。
[0019]
[3]根据[1]或[2]所记载的均热板，所述支撑部的暴露于所述空洞部的侧面部具有曲面。
[0020]
[4]根据[1]至[3]中任一项所记载的均热板，所述支撑部的前端部具有平坦部，该平坦部与所述芯结构体相接触。
[0021]
[5]根据[1]至[4]中任一项所记载的均热板，所述所成的角度为91
°
以上且150
°
以下。
[0022]
[6]根据[1]至[5]中任一项所记载的均热板，所述支撑部的立起基部的在所述另一侧板状体的延伸方向上的面积相对于所述支撑部的前端部的所述面积的比率为1.1以上且10以下。
[0023]
[7]根据[1]至[6]中任一项所记载的均热板，在所述另一侧板状体设置有多个所述支撑部，规定的所述支撑部和与该规定的所述支撑部相邻的两个其他所述支撑部呈三角形配置。
[0024]
[8]根据[1]至[7]中任一项所记载的均热板，所述芯结构体为金属制的丝网构件。
[0025]
[9]根据[1]至[8]中任一项所记载的均热板，所述一侧板状体的周缘部与所述另一侧板状体的周缘部通过使用光纤激光器进行的熔接而接合来形成容器。
[0026]
[10]根据[1]至[9]中任一项所记载的均热板，所述一侧板状体的厚度大于所述另一侧板状体的厚度。
[0027]
[11]根据[1]至[9]中任一项所记载的均热板，所述一侧板状体的厚度小于所述另一侧板状体的厚度。
[0028]
[12]根据[1]至[11]中任一项所记载的均热板，所述容器具有该容器的厚度方向上的弯曲部。
[0029]
在上述方式中，容器中的热连接发热体的一侧板状体主要作为受热面发挥作用，与一侧板状体相对的另一侧板状体主要作为散热面发挥作用。
[0030]
此外，本说明书中，“另一侧板状体的内表面”和“另一侧板状体的外表面”不包含构成支撑部的部位。因此，在上述方式中，支撑部与另一侧板状体一体形成。另外，从容器内部观察，支撑部从另一侧板状体的内表面立起，从而，形成从另一侧板状体的内表面向一侧板状体的方向凸出的凸状部。
[0031]
另外，在上述方式中，支撑部与另一侧板状体的内表面在该支撑部的从另一侧板状体的内表面立起的立起基部处所成的角度为钝角，与此对应，设置在另一侧板状体的外表面上的凹部的外表面与另一侧板状体的外表面所成的角度为锐角。此外，本说明书中的所谓“所成的角度”意指从侧面观察的在容器的厚度方向上“所成的角度”。
[0032]
实用新型效果
[0033]
根据本实用新型的方式，支撑部与另一侧板状体在支撑部的从另一侧板状体立起的立起基部处所成的角度为钝角，从而，能够防止在支撑部与另一侧板状体的平坦部的边
界部贮存液相的工作流体。因此，液相的工作流体能够从另一侧板状体顺畅地向容器的作为受热面的一侧板状体回流。另外，根据本实用新型的方式，设置在另一侧板状体的外表面的凹部的外表面与另一侧板状体的外表面所成的角度为锐角，从而，气体能够顺畅地流入凹部，提高气相的工作流体的冷凝特性，进而，提高均热板的散热特性。
[0034]
根据本实用新型的方式，通过在容器的另一侧板状体的外表面设置凹部，从而具有从该另一侧板状体的内表面向一侧板状体方向凸出的支撑部，由此，增大容器的散热面一侧的外表面的表面积，提高均热板的散热特性。另外，根据本实用新型的方式，由于具有上述支撑部，能够赋予容器对来自外部环境的压力的耐压性。
[0035]
根据本实用新型的方式，支撑部在所述另一侧板状体的延伸方向上的面积随着从所述立起基部朝向前端部而逐渐变小，从而，暴露于空洞部的支撑部的侧面部也能够有助于散热，进一步提高均热板的散热特性。
[0036]
根据本实用新型的方式，支撑部的露出于空洞部的侧面部具有曲面，从而，液相的工作流体能够沿着支撑部的侧面部从容器的散热面顺畅地向受热面回流。
[0037]
根据本实用新型的方式，支撑部的前端部具有平坦部，该平坦部与芯结构体相接触，从而，支撑部作为将芯结构体向一侧板状体的内表面按压的按压件发挥作用。因此，芯结构体被稳定地固定在一侧板状体的内表面上，所以，能够向容器的受热面稳定地供给液相的工作流体。
[0038]
根据本实用新型的方式，所述所成的角度为91
°
以上且150
°
以下，从而，能够均衡地防止在支撑部与另一侧板状体的平坦部的边界部贮存液相的工作流体，并提高容器对来自外部环境的压力的耐压性。
[0039]
根据本实用新型的方式，所述支撑部的立起基部的所述面积相对于支撑部的前端部的所述面积的比率为1.1以上且10以下，从而，能够均衡地防止在支撑部与另一侧板状体的平坦部的边界部贮存液相的工作流体，并提高容器对来自外部环境的压力的耐压性。
[0040]
根据本实用新型的方式，多个支撑部呈三角形配置，从而，能够进一步提高容器对来自外部环境的压力的耐压性，另外，能够不损坏容器对来自外部环境的压力的耐压性，并减少支撑部的设置数量。
[0041]
根据本实用新型的方式，通过光纤激光器接合一侧板状体与另一侧板状体，从而，提高一侧板状体与另一侧板状体的接合强度，并赋予容器优异的密封性，另外，因为能够防止一侧板状体与另一侧板状体接合时对容器施加热负荷，所以，能够赋予容器优异的机械强度。
附图说明
[0042]
图1是本实用新型的第一实施方式例的均热板的侧面剖视图。
[0043]
图2是本实用新型的第一实施方式例的均热板的俯视图。
[0044]
图3是本实用新型的第二实施方式例的均热板的侧面剖视图。
[0045]
图4是本实用新型的第三实施方式例的均热板的侧面剖视图。
[0046]
图5是本实用新型的第四实施方式例的均热板的侧面剖视图。
[0047]
图6是本实用新型的第五实施方式例的均热板的侧面剖视图。
[0048]
附图标记的说明：
[0049]
1、2、3、4、5：均热板
[0050]
10：容器
[0051]
11：一侧板状体
[0052]
12：另一侧板状体
[0053]
13：空洞部
[0054]
15：芯结构体
[0055]
17：支撑部
[0056]
18：蒸汽流路
[0057]
27：凹部
[0058]
30：立起基部
具体实施方式
[0059]
以下，使用附图对本实用新型的第一实施方式例的均热板进行说明。图1是本实用新型的第一实施方式例的均热板的侧面剖视图。图2是本实用新型的第一实施方式例的均热板的俯视图。
[0060]
如图1、2所示，本实用新型的第一实施方式例的均热板1具有：平面型容器10，其形成有空洞部13，且在俯视下(从与均热板1的平面垂直的方向即与均热板1的厚度方法平行的方向进行目视辨认的状态)为规定形状，所述空洞部13通过重叠相对的两张板状体，即重叠一侧板状体11和与一侧板状体11相对的另一侧板状体12而形成；工作流体(未图示)，其被封入空洞部13内。另外，空洞部13收纳有具有毛细管结构的芯结构体15。另外，另一侧板状体12的内表面与芯结构体15之间的空间部形成气相的工作流体流通的蒸汽流路18。容器10的俯视下的形状并无特别限制。为了便于说明，均热板1中，容器10的俯视下形状为四边形。另外，平面型容器10沿同一平面延伸。
[0061]
一侧板状体11为平板状。另一侧板状体12虽为板状，但其除周缘部20以外的部位塑性变形为凸状。另一侧板状体12的向外侧凸出并塑性变形为凸状的部位为容器10的凸部14，凸部14的内部形成空洞部13。空洞部13是一个被密封的空间，并经脱气处理被减压。
[0062]
芯结构体15与容器10相互独立，即，其与容器10是不同的构件。在均热板1中，芯结构体15不与容器10相接合。芯结构体15沿着平面型容器10的平面平面状地延伸。在均热板1中，芯结构体15在一侧板状体11的内表面21上，以与内表面21面接触的状态延伸。一侧板状体11的内表面21为平滑表面。因此，一侧板状体11的内表面21不具备作为芯结构体的功能。芯结构体15在一侧板状体11的整个内表面21上延伸。另外，形成在另一侧板状体12的内表面22与第一芯结构体15之间的空间部形成主要流通气相的工作流体的蒸汽流路18。
[0063]
如果芯结构体15是产生毛细管力的构件，则无特别限制，例如可以是金属制的丝网构件。作为丝网构件的材质，例如能够举出：铜、铜合金、铝、铝合金、不锈钢等金属。另外，除金属制的丝网构件之外，作为芯结构体15，例如能够举出：铜、铜合金等的金属粉末的烧结体；铜、铜合金等的金属短纤维的烧结体等。在均热板1中，将金属制的丝网构件用作芯结构体15。
[0064]
能够根据均热板1的使用情况适当选择芯结构体15的厚度，例如能够举出0.1mm～0.2mm。关于芯结构体15的厚度，例如，可以平面状地铺设一张具有期望厚度的丝网构件，也
可以根据需要层叠多张丝网构件或者弯折一张丝网构件，通过在厚度方向上叠加丝网构件对厚度进行调整。在均热板1中，在一侧板状体11的整个内表面21上平面状地铺设一张丝网构件。
[0065]
如图1所示，另一侧板状体12的内表面22为平坦表面。并且，另一侧板状体12的内表面22为平滑表面。因此，另一侧板状体12的内表面22不具有作为芯结构体的功能。在另一侧板状体12的相当于空洞部13方向的内表面22一侧设置有支撑部17。从容器10的内部观察，支撑部17从另一侧板状体12的内表面22向一侧板状体11的内表面21的方向立起，从而，形成从另一侧板状体12的内表面22向一侧板状体11的内表面21的方向凸出的凸状部。在均热板1的容器10中，设置有多个支撑部17、17、17
……
。在均热板1的容器10中，另一侧板状体12的外表面24为平坦表面。通过在另一侧板状体12的外表面24一侧设置多个凹部27、27、27
……
，从而形成支撑部17。
[0066]
支撑部17具有维持对被减压的容器10的内部空间即空洞部13的功能。支撑部17从另一侧板状体12的内表面22向一侧板状体11的方向延伸。
[0067]
支撑部17与另一侧板状体12的内表面22在支撑部17的从另一侧板状体12的内表面22立起的立起基部30处所成的角度θ1为钝角，即大于90
°
且小于180
°
。另外，设置在另一侧板状体12的外表面24的凹部27的外表面28与另一侧板状体12的外表面24所成的角度θ2为锐角，即大于0
°
且小于90
°
。
[0068]
支撑部17的俯视下形状即凹部27的俯视下形状并无特别限制，例如能够举出：圆形、椭圆形、四边形、五边形等多边形等。如图2所示，在均热板1中为圆形。另外，如图1所示，支撑部17在另一侧板状体14的延伸方向上的面积随着从支撑部17的立起基部30朝向支撑部17的前端部31而逐渐变小。对应于上述情况，在图1中，从支撑部17的立起基部30朝向支撑部17的前端部31，支撑部17的宽度变窄。
[0069]
在均热板1中，所成的角度θ1沿着支撑部17的周向形成为大致相等。另外，所成的角度θ2沿着凹部27的周向形成为大致相等。
[0070]
支撑部17的侧面部32暴露于空洞部13。支撑部17的侧面部32的表面为平滑表面。支撑部17的侧面部32的侧视下的形状无特别限制，例如能够举出直线状、具有弯曲部的形状、圆弧状等。在均热板1中，支撑部17的侧面部32的侧视下的形状为圆弧状。因此，暴露于空洞部13的支撑部17的侧面部32具有曲面，整个侧面部32为曲面。
[0071]
在均热板1中，支撑部17与另一侧板状体12的内表面在支撑部17的从另一侧板状体12的内表面22立起的立起基部30处所成的角度θ1为钝角，从而，能够防止在支撑部17与另一侧板状体12的平坦部即内表面22的边界部贮存液相的工作流体。因此，液相的工作流体能够从容器10的作为散热面发挥作用的另一侧板状体12顺畅地向容器10的作为受热面发挥作用的一侧板状体11回流。另外，在均热板1中，设置在另一侧板状体12的外表面24上的凹部27的外表面28与另一侧板状体12的外表面24所成的角度θ2为锐角，从而，气体能够顺畅地流入凹部27，并提高气相的工作流体的冷凝特性，进而提高均热板1的散热特性。
[0072]
另外，在均热板1中，通过在容器10的另一侧板状体12的外表面24上设置凹部27，从而，形成从另一侧板状体12的内表面22向一侧板状体11的方向凸出的支撑部17，由此，增大容器10的散热面一侧的外表面的表面积。因此，均热板1的散热特性得到提高。另外，在均热板1中，因具有支撑部17而能够赋予容器10对来自外部环境的压力的耐压性。
[0073]
另外，支撑部17的在另一侧板状体12的延伸方向上的面积随着从立起基部30朝向前端部31而逐渐变小，从而，支撑部17的暴露于空洞部13的侧面部32也有助于散热，所以，能够进一步提高均热板1的散热特性。
[0074]
另外，支撑部17的暴露于空洞部13的侧面部32具有曲面，从而，液相的工作流体能够沿着支撑部17的侧面部32顺畅地从容器10的散热面向受热面即从另一侧板状体12向一侧板状体11的方向回流。
[0075]
如图1所示，支撑部17的前端部31为平坦部，前端部31的平坦部与芯结构体15相接触。因此，支撑部17还作为按压件发挥作用，即，通过向一侧板状体11的内表面21方向按压芯结构体15，从而，将其固定于一侧板状体11的内表面21。由上述可知，芯结构体15被稳定地固定在一侧板状体11的内表面1上，所以，能够稳定地向容器10的受热面供给液相的工作流体，并能够可靠地防止干涸。此外，在均热板1中，支撑部17的前端部31不与容器10的一侧板状体11的内表面21接触。
[0076]
在均热板1中，支撑部17与支撑部17之间的空间部形成气相的工作流体流通的蒸汽流路18。能够根据均热板1的厚度、一侧板状体11和另一侧板状体12的厚度、芯结构体15的厚度对支撑部17的高度进行适当选择，例如能够举出0.1mm～0.8mm。
[0077]
支撑部17与另一侧板状体12的内表面22在从另一侧板状体12的内表面22立起的立起基部30处所成的角度θ1若为钝角，则并无特别限制，但从能够防止在支撑部17与另一侧板状体12的内表面22的边界部贮存液相的工作流体，并可靠地提高容器对来自外部环境的压力的耐压性的观点出发，所成的角度θ1的下限值优选为91
°
；从不损坏容器对来自外部环境的压力的耐压性，并能够可靠地防止贮存液相的工作流体的观点出发，所成的角度θ1的下限值更优选为105
°
；从能够更可靠地防止贮存液相的工作流体的观点出发，所成的角度θ1的下限值尤其优选为115
°
。另一方面，从不损坏容器对来自外部环境的压力的耐压性，并能够更可靠地防止贮存液相的工作流体的观点出发，所成的角度θ1的上限值优选为150
°
；从可靠地防止贮存液相的工作流体，并可靠地得到容器对来自外部环境的压力的耐压性的观点出发，所成的角度θ1的上限值更优选为140
°
；从可靠地提高容器对来自外部环境的压力的耐压性的观点出发，所成的角度θ1的上限值尤其优选为135
°
。
[0078]
从均衡地提高气体流入凹部27的顺畅程度和容器10对来自外部环境的压力的耐压性的观点出发，另一侧板状体12的外表面24一侧上设置的凹部27的外表面28与另一侧板状体12的外表面24所成的角度θ2优选为30
°
以上且89
°
以下，更优选为40
°
以上且75
°
以下，尤其优选为45
°
以上且65
°
以下。
[0079]
在均热板1中，支撑部17的立起基部30在另一侧板状体12的延伸方向上的面积相对于支撑部17的前端部31的所述面积的比率大于1.0。从均衡地防止在支撑部17与另一侧板状体12的内表面22的边界部贮存液相的工作流体，并提高容器10对来自外部环境的压力的耐压性的观点出发，所述面积比率优选为1.1以上且10以下，更优选为2.0以上且8.0以下，尤其优选为3.0以上且6.0以下。
[0080]
如图2所示，容器10中并排配置有多个支撑部17、17、17
……
。多个支撑部17、17、17
……
的配置关系并无特别限制。在均热板1中，规定的支撑部17和与该规定的支撑部17相邻的两个其他支撑部17(17’)、17(17’)呈三角形配置。通过三角形配置多个支撑部17、17、17
……
，从而，能够进一步提高容器10对来自外部环境的压力的耐压性，另外，能够不损坏
容器10对来自外部环境的压力的耐压性，减少支撑部17的设置数量。另外，通过三角形配置多个支撑部17、17、17
……
，能够减少支撑部17的设置数量，所以，能够更可靠地确保蒸汽流路18，并更可靠地提高气相的工作流体的流通特性。
[0081]
作为形成设置在另一侧板状体12的外表面24一侧的凹部27即支撑部17的方法，例如能够举出，冲压加工另一侧板状体12来设置凹部27的方法。在该情况下，支撑部17与另一侧板状体12一体成形，支撑部17的材料与另一侧板状体12的材料相同。
[0082]
作为容器10的材料，例如能够举出：铜、铝、不锈钢、钛、铜合金、铝合金、钛合金等。这些材料可以单独使用，也可以两种以上并用。作为均热板1的厚度，例如能够举出0.3mm～1.0mm。一侧板状体11的厚度与另一侧板状体12的厚度可以相同也可以不同，在均热板1中，一侧板状体11的厚度与另一侧板状体12的厚度相同。在均热板1中，一侧板状体11的整体厚度大致相等。另外，另一侧板状体12的整体厚度大致相等。一侧板状体11与另一侧板状体12的厚度例如能够举出分别为0.1mm。
[0083]
另外，在一侧板状体11的周缘部40与另一侧板状体12的周缘部20呈面接触的状态下，周缘部20与周缘部40在整个周长上相接合，从而，形成密闭容器即容器10，并密封空洞部13。作为周缘部20与周缘部40的接合方法，无特别限制，例如能够举出：扩散接合；铜焊；使用光纤激光器等进行的激光熔接；超声熔接、摩擦接合；压接接合等。其中，从能够提高一侧板状体11与另一侧板状体12的接合强度，并赋予容器10优异的密封性，并防止一侧板状体11与另一侧板状体12接合时对容器10形成热负荷，从而能够赋予容器10优异的机械强度并防止容器10的受热变形的观点出发，优选使用光纤激光器进行熔接。另外，作为接合宽度，例如能够举出0.3mm～2.5mm。
[0084]
另外，能够根据与容器10的材料的适应性适当选择封入空洞部13的工作流体，例如能够举出水，此外，还能够举出：氟氯烃化合物、碳氟化合物类、环戊烷、乙二醇、上述成分与水的混合物等。
[0085]
接着，参考图1对本实用新型的第一实施方式例的均热板1的动作进行说明。发热体100与容器10中一侧板状体11的外表面23热连接，一侧板状体11作为受热面发挥作用，一侧板状体11的外表面23中与发热体100接触的部位作为受热部发挥作用。若均热板1通过受热部从发热体100受热，则封入空洞部13内的液相的工作流体通过受热部从液相向气相相变，相变后的气相的工作流体在蒸汽流路18中流通并从均热板1的受热部主要向散热面(即，另一侧板状体12)移动。从受热部主要向散热面移动的气相的工作流体在散热面释放潜热，并从气相向液相相变。此时，容器10的散热面一侧的外表面形成有凹部27而散热面一侧的外表面的表面积增大，另外，气体流入凹部27，从而，能够促进散热面的散热即气相的工作流体的冷凝。并且，暴露于空洞部13的支撑部17的侧面部32也有助于散热，从而能够促进散热面的散热。散热面释放的潜热进一步向均热板1的外部环境释放。在散热面由气相相变为液相的工作流体经由支撑部17的侧面部32或者从散热面滴下而向受热面(即，一侧板状体11)回流。向容器10的受热面回流的液相的工作流体通过芯结构体15的毛细管力输送给受热部。
[0086]
此外，均热板1能够通过不使用冷却风供给装置的自然空冷进行冷却，而不使用鼓风机等冷却风供给装置供给冷却风(即，强制空冷)。
[0087]
接着，对本实用新型的第二实施方式例的均热板进行说明。第二实施方式例的均
热板与第一实施方式例的均热板的主要构成部件相同，所以，对于与第一实施方式例的均热板相同的构成部件使用相同符号进行说明。此外，图3是本实用新型的第二实施方式例的均热板的侧面剖视图。
[0088]
在第一实施方式例的均热板1中，支撑部17的侧面部32的侧视下的形状为圆弧状，取而代之，如图3所示，在第二实施方式例的均热板2中，支撑部17的侧面部32的侧视下的形状为直线状。另外，在均热板2中，与第一实施方式例的均热板1相同地，支撑部17的前端部31为平坦部，前端部31的平坦部与芯结构体15相接触。
[0089]
在均热板2中，支撑部17在另一侧板状体14的延伸方向上的面积随着从支撑部17的立起基部30朝向支撑部17的前端部31而逐渐变小。对应于上述情况，在图3中，支撑部17的宽度随着从支撑部17的立起基部30朝向支撑部17的前端部31而逐渐变窄，支撑部17的侧面侧视下的形状为梯形。
[0090]
在均热板2中，支撑部17的俯视下形状即凹部27的俯视下形状为四边形。
[0091]
与第一实施方式例的均热板1相同地，在均热板2中，支撑部17的立起基部30在另一侧板状体12的延伸方向上的面积相对于支撑部17的前端部31的所述面积的比率大于1.0。从均衡地提高防止在支撑部17与另一侧板状体12的内表面22的边界部贮存液相的工作流体，和容器10对来自外部环境的压力的耐压性的观点出发，所述面积的比率优选为1.1以上且10以下，更优选为2.0以上且8.0以下，尤其优选为3.0以上且6.0以下。
[0092]
与第一实施方式例的均热板1相同地，在均热板2中，支撑部17与另一侧板状体12的内表面在支撑部17的从另一侧板状体12的内表面22立起的立起基部30处所成的角度θ1也为钝角，从而，能够防止在支撑部17与另一侧板状体12的平坦部即内表面22的边界部贮存液相的工作流体。因此，液相的工作流体能够从容器10的作为散热面发挥作用的另一侧板状体12顺畅地向容器10的作为受热面发挥作用的一侧板状体11回流。另外，在均热板2中，设置在另一侧板状体12的外表面24的凹部27的外表面28与另一侧板状体12的外表面24所成的角度θ2也为锐角，从而，气体能够顺畅地流入凹部27，并提高气相的工作流体的冷凝特性，进而提高均热板2的散热特性
[0093]
另外，与第一实施方式例的均热板1相同地，在均热板2中，通过在容器10的另一侧板状体12的外表面24上设置凹部27，从而，形成从另一侧板状体12的内表面22向一侧板状体11的方向凸出的支撑部17，由此，增大容器10的散热面一侧的外表面的表面积。因此，均热板2的散热特性也得到提高。另外，在均热板2中，也能够因具有支撑部17而赋予容器10对来自外部环境的压力的耐压性。
[0094]
接着，对本实用新型的第三实施方式例的均热板进行说明。第三实施方式例的均热板与第一、第二实施方式例的均热板的主要构成部件相同，所以，对于与第一、第二实施方式例的均热板相同的构成部件使用相同符号进行说明。此外，图4是本实用新型的第三实施方式例的均热板的侧面剖视图。
[0095]
在第一、第二实施方式例的均热板1、2中，一侧板状体11的厚度与另一侧板状体12的厚度相同，取而代之，如图4所示，在第三实施方式例的均热板3中，另一侧板状体12的厚度大于一侧板状体11的厚度。一侧板状体11的整体厚度大致相等。另外，另一侧板状体12的整体厚度大致相等。此外，与均热板1、2相同地，在均热板3中，在容器10的另一侧板状体12的外表面24上也设置凹部27，从而，形成从另一侧板状体12的内表面22向一侧板状体11的
方向凸出的支撑部17。
[0096]
一侧板状体11的厚度并无特别限制，例如能够举出0.08mm。另一侧板状体12的厚度并无特别限制，例如能够举出0.12mm。作为均热板3的厚度，例如能够举出0.3mm～1.0mm。此外，在均热板3中，发热体100与一侧板状体11热连接。
[0097]
在均热板3中，在另一侧板状体12的外表面24上设置凹部27而形成支撑部17，由于具有支撑部17，从而能够赋予容器10对来自外部环境的压力的耐压性，并且，增大具有支撑部17的另一侧板状体12的壁厚，从而，进一步提高容器10对来自外部环境的压力的耐压性，进一步赋予容器10优异的机械强度。因此，即使因均热板3的设置及使用条件等而对容器10施加了负荷，也能够更可靠地防止容器10发生翘曲。
[0098]
接着，对本实用新型的第四实施方式例的均热板进行说明。第四实施方式例的均热板与第一至第三实施方式例的均热板的主要构成部件相同，所以，对于与第一至第三实施方式例的均热板相同的构成部件使用相同符号进行说明。此外，图5是本实用新型的第四实施方式例的均热板的侧面剖视图。
[0099]
在第一、第二实施方式例的均热板1、2中，一侧板状体11的厚度与另一侧板状体12的厚度相同，取而代之，如图5所示，在第四实施方式例的均热板4中，一侧板状体11的厚度大于另一侧板状体12的厚度。一侧板状体11的整体厚度大致相等。另外，另一侧板状体12的整体厚度大致相等。此外，与均热板1、2相同地，在均热板4中，也通过在容器10的另一侧板状体12的外表面24设置凹部27，从而形成从另一侧板状体12的内表面22向一侧板状体11方向凸出的支撑部17。
[0100]
一侧板状体11的厚度并无特别限制，例如能够举出0.12mm。另一侧板状体12的厚度并无特别限制，例如能够举出0.08mm。作为均热板4的厚度，例如能够举出0.3mm～1.0mm。此外，在均热板4中，发热体100也与一侧板状体11热的连接。
[0101]
在均热板4中，在另一侧板状体12的外表面24设置凹部27而形成支撑部17，由于具有支撑部17，从而能够赋予容器10对来自外部环境的压力的耐压性，并且，通过增大一侧板状体11的壁厚，从而提高一侧板状体11的机械强度，能够防止一侧板状体11的挠曲或歪斜等变形。因此，在均热板4中，容器10具有对来自外部环境的压力的耐压性，并提高发热体100与容器10的接触性，赋予发热体100优异的热连接性。
[0102]
接着，对本实用新型的第五实施方式例的均热板进行说明。第五实施方式例的均热板与第一至第四实施方式例的均热板的主要构成部件相同，所以，对于与第一至第四实施方式例的均热板相同的构成部件使用相同符号进行说明。此外，图6是本实用新型的第五实施方式例的均热板的侧面剖视图。
[0103]
在第一至第四实施方式例的均热板1、2、2、4中，平面型容器10沿着相同平面延伸，取而代之，如图6所示，在第五实施方式例的均热板5中，平面型容器10具有弯曲部50，而非沿着相同平面延伸。容器10的弯曲部50是在容器10的厚度方向上弯曲的部位。
[0104]
如均热板5那样，在具有支撑部17的本实用新型的均热板中，可以根据使用条件等在容器10的厚度方向上形成弯曲部50，所述支撑部17通过在另一侧板状体12的外表面24设置凹部27而形成。即，均热板5能够搭载于具有弯曲部的设备上。在均热板5中，即使在容器10上形成弯曲部50，也能够因具有支撑部17而防止弯曲部50上的容器10的纵向弯曲，所以，在弯曲部50也能够维持空洞部13，其结果，具有弯曲部50的整个容器10都能够维持空洞部
13。
[0105]
弯曲部50的形成方法并无特别限制，例如能够举出：将容器10安装于模具来形成弯曲部50的方法；弯曲加工容器10形成弯曲部50的方法等。
[0106]
接着，对本实用新型的均热板的其他实施方式例进行说明。在上述各实施方式例的均热板中，作为芯结构体15，在一侧板状体11的整个内表面21上平面状地铺设一张丝网构件。取而代之，也可以在一侧板状体11的热连接发热体100的受热部，重叠并层积多张丝网构件作为芯结构体15。在此情况下，在除受热部之外的部位，可以将芯结构体15设置为一张丝网构件。即，受热部的芯结构体15的厚度可以大于除受热部之外的部位的芯结构体15的厚度。通过在一侧板状体11的受热部重叠多张丝网构件，能够进一步提高受热部中的芯结构体15的毛细管力和液相的工作流体的保持量，并可靠地防止受热部的干涸。
[0107]
进一步，可以在上述各实施方式例的均热板的容器10的内表面上形成氧化覆膜。作为氧化覆膜的成分，例如能够举出用于容器10的金属氧化物。另外，作为氧化覆膜的结构，例如能够举出：晶体、非晶体。通过在容器10的内表面形成氧化覆膜，能够防止容器10内表面的腐蚀，提高容器10的耐久性。
[0108]
在上述各实施方式例的均热板中，支撑部17的侧面部32的表面为平滑表面，取而代之，侧面部32的表面可以是具有毛细管力的结构。侧面部32的表面具有毛细管力，从而，液相的工作流体能够更顺畅地从容器10的散热面向受热面回流。作为具有毛细管力的结构，例如能够举出：形成在侧面部32的表面的金属粉末的烧结体层；形成在侧面部32的表面的多个细槽等。
[0109]
在上述各实施方式例的均热板中，芯结构体15不与容器10的一侧板状体11相接合，取而代之，芯结构体15可以与容器10的一侧板状体11相接合。作为芯结构体15与容器10的一侧板状体11相接合的方式，例如能够举出：芯结构体15为金属粉末的烧结体或者金属短纤维的烧结体，该金属粉末的烧结体、该金属短纤维的烧结体设置在一侧板状体11的内表面21上的方式。在上述方式中，液相的工作流体能够更可靠地从受热部得到热量。
[0110]
在上述各实施方式例的均热板中，支撑部17的前端部31与芯结构体15相接触，取而代之，支撑部17的前端部31也可以与容器10的一侧板状体11的内表面21相接触。在此情况下，在一侧板状体11的内表面21上且支撑部17的前端部31的周围，设置金属粉末的烧结体或者金属短纤维的烧结体等芯结构体15。支撑部17的前端部31与容器10的一侧板状体11的内表面21相接触，从而，进一步提高容器10对来自外部环境的压力的耐压性。
[0111]
在上述各实施方式例的均热板中，支撑部17的前端部31与芯结构体15相接触，取而代之，可以是多个支撑部17、17、17
……
中的部分支撑部17的前端部31与芯结构体15相接触，其他支撑部17的前端部31与容器10的一侧板状体11的内表面21相接触。在此情况下，例如，可以是在一侧板状体11的受热部，支撑部17的前端部31与芯结构体15相接触，在一侧板状体11的除受热部之外的区域，支撑部17的前端部31与一侧板状体11的内表面21相接触。在上述方式中，液相的工作流体更可靠地从受热部得到热量，并且，进一步提高容器10对来自外部环境的压力的耐压性。
[0112]
工业利用可能性
[0113]
本实用新型的均热板对来自外部环境的压力的耐压性和散热特性优异，能够提高工作流体的流通性，所以，能够应用于广泛的领域，例如，在对便携式信息终端或2in1平板
电脑等个人计算机等的高性能化电子设备进行冷却的领域具有较高使用价值。