本发明提供了一种MEMS芯片装片用治具，其固定效果更好，有效防止该MEMS芯片易翘曲、移位，提高了装片的成品率。
其包括治具本体，所述治具本体包括用于固定MEMS芯片的固定部和用于与机台连接的安装部，所述固定部呈中部镂空的矩形框，其特征在于：所述固定部内部设有朝所述固定部镂空位置延伸的压针，所述压针与所述MEMS芯片的线框间隙相对应。

侯友良

无锡红光微电子股份有限公司

214000 江苏省无锡市新吴区无锡市新区93号-B-1地块

本发明提供了一种MEMS芯片装片用治具，其固定效果更好，有效防止该MEMS芯片易翘曲、移位，提高了装片的成品率。
其包括治具本体，所述治具本体包括用于固定MEMS芯片的固定部和用于与机台连接的安装部，所述固定部呈中部镂空的矩形框，其特征在于：所述固定部内部设有朝所述固定部镂空位置延伸的压针，所述压针与所述MEMS芯片的线框间隙相对应。