根据一些实施例，提供了一种自动聚焦装置及其制造方法。
自动聚焦装置的制造方法包括形成悬臂梁构件。
悬臂梁构件具有环型形状。
该方法还包括在悬臂梁构件上方形成压电构件。
该方法还包括在悬臂梁构件上形成膜。
膜具有第一区域和第二区域。
第一区域具有平坦的表面，并且第二区域位于第一区域和悬臂梁构件的内边缘之间并且具有多个波纹结构。
另外，该方法包括在膜上施加液体光学介质并用保护层密封液体光学介质。

陈亭蓉 林诗玮

台湾积体电路制造股份有限公司

中国台湾新竹市新竹科学工业园区力行六路八号

根据一些实施例，提供了一种自动聚焦装置及其制造方法。
自动聚焦装置的制造方法包括形成悬臂梁构件。
悬臂梁构件具有环型形状。
该方法还包括在悬臂梁构件上方形成压电构件。
该方法还包括在悬臂梁构件上形成膜。
膜具有第一区域和第二区域。
第一区域具有平坦的表面，并且第二区域位于第一区域和悬臂梁构件的内边缘之间并且具有多个波纹结构。
另外，该方法包括在膜上施加液体光学介质并用保护层密封液体光学介质。