本申请涉及振荡结构、光学设备以及制造振荡结构的方法。
一种振荡结构，包括限定了旋转轴的第一扭转弹性元件和第二扭转弹性元件以及插入在第一扭转弹性元件和第二扭转弹性元件之间的移动元件。
移动元件、第一扭转弹性元件和第二扭转弹性元件位于第一平面中并且彼此不直接接触。
耦合结构将移动元件、第一扭转弹性元件和第二扭转弹性元件机械地耦合在一起。
移动元件、第一扭转弹性元件和第二扭转弹性元件位于不同于第一平面的第二平面中。
移动元件的振荡由于第一扭转弹性元件和第二扭转弹性元件的扭曲而发生。

R·卡尔米纳蒂 S·克斯坦蒂尼 M·卡米纳蒂

意法半导体股份有限公司

意大利阿格拉布里安扎

本申请涉及振荡结构、光学设备以及制造振荡结构的方法。
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移动元件、第一扭转弹性元件和第二扭转弹性元件位于第一平面中并且彼此不直接接触。
耦合结构将移动元件、第一扭转弹性元件和第二扭转弹性元件机械地耦合在一起。
移动元件、第一扭转弹性元件和第二扭转弹性元件位于不同于第一平面的第二平面中。
移动元件的振荡由于第一扭转弹性元件和第二扭转弹性元件的扭曲而发生。