集成多变量检测的多自由度柔顺微夹持器，它包括电容式位移传感器、电容式力传感器、压电微动平台和压电微夹钳，压电微夹钳安装在压电微动平台上，电容式位移传感器和电容式力传感器均为结构相同的三自由度传感器，电容式位移传感器和电容式力传感器安装在压电微夹钳上，电容式位移传感器用作检测压电微夹钳的夹持端的位移，电容式力传感器用作检测压电微夹钳受外界干扰力以及夹持端的夹持力；压电微动平台包括底座、放大机构和工作平台；底座上固接有多个放大机构，工作平台安装在放大机构上，多个放大机构沿支撑圆盘的周向均布设置并固接在支撑圆盘的外侧面上。
本发明具有六个自由度，能实现复杂任务的的操作，工作稳定可靠。

李存尧 杨依领 宋帅官 吴高华 娄军强 李国平 崔玉国

宁波大学

315211 浙江省宁波市江北区风华路818号

集成多变量检测的多自由度柔顺微夹持器，它包括电容式位移传感器、电容式力传感器、压电微动平台和压电微夹钳，压电微夹钳安装在压电微动平台上，电容式位移传感器和电容式力传感器均为结构相同的三自由度传感器，电容式位移传感器和电容式力传感器安装在压电微夹钳上，电容式位移传感器用作检测压电微夹钳的夹持端的位移，电容式力传感器用作检测压电微夹钳受外界干扰力以及夹持端的夹持力；压电微动平台包括底座、放大机构和工作平台；底座上固接有多个放大机构，工作平台安装在放大机构上，多个放大机构沿支撑圆盘的周向均布设置并固接在支撑圆盘的外侧面上。
本发明具有六个自由度，能实现复杂任务的的操作，工作稳定可靠。