本实用新型涉及一种宽响应频带质点振速传感器，包括敏感元件，其特征在于，所述敏感元件(2)包括：衬底(21)，其上形成一桥孔(211)；和若干敏感丝(20)，平行置于所述桥孔(211)上；所述敏感丝(20)由上至下依次包括敏感材料层(206)和支撑层(205)，所述敏感材料层(206)为中空结构。
本实用新型采用中空结构的敏感丝，降低敏感丝的等效密度，从而降低敏感丝的热质量，提升结构热交换速率，从而有效提升了传感器的响应频率上限，扩展了传感器的响应频带，且能够不失真地对宽频声音信号的质点振速进行探测。

谢奕 刘云飞 周瑜 冯杰

中国电子科技集团公司第三研究所

100015 北京市朝阳区酒仙桥北路乙7号

本实用新型涉及一种宽响应频带质点振速传感器，包括敏感元件，其特征在于，所述敏感元件(2)包括：衬底(21)，其上形成一桥孔(211)；和若干敏感丝(20)，平行置于所述桥孔(211)上；所述敏感丝(20)由上至下依次包括敏感材料层(206)和支撑层(205)，所述敏感材料层(206)为中空结构。
本实用新型采用中空结构的敏感丝，降低敏感丝的等效密度，从而降低敏感丝的热质量，提升结构热交换速率，从而有效提升了传感器的响应频率上限，扩展了传感器的响应频带，且能够不失真地对宽频声音信号的质点振速进行探测。