本实用新型涉及一种适用于微构件表面的减摩织构,该表面网络状织构的凹坑呈圆环或蜂窝状,按照一定规律均匀分布在单晶硅表面。
表面网络状织构既能与润滑剂相结合提供良好润滑,又能储存细小磨粒磨屑,避免磨粒磨损,此外,各织构通过连通槽接通,有利于气体的流动,在微孔隙可以形成气膜润滑,不仅有效提高微型构件的使用寿命,而且有利于摩擦热的散发。
与传统无织构的微构件相比,能增强微构件综合性能,有效提高使用寿命的同时,降低使用成本。
陈龙 陈文刚 夏敏华 谢永 刘德春 宋文涛
西南林业大学
650224 云南省昆明市盘龙区300号西南林业大学
本实用新型涉及一种适用于微构件表面的减摩织构,该表面网络状织构的凹坑呈圆环或蜂窝状,按照一定规律均匀分布在单晶硅表面。
表面网络状织构既能与润滑剂相结合提供良好润滑,又能储存细小磨粒磨屑,避免磨粒磨损,此外,各织构通过连通槽接通,有利于气体的流动,在微孔隙可以形成气膜润滑,不仅有效提高微型构件的使用寿命,而且有利于摩擦热的散发。
与传统无织构的微构件相比,能增强微构件综合性能,有效提高使用寿命的同时,降低使用成本。