本发明提供了一种化学机械抛光液用硅溶胶，通过高岭土提纯处理，利用制浆分级获得磁选料‑梯度磁选除铁钛‑焙烧增白‑高温钙化，最终获得硅溶胶原料用氧化硅，有效的提高了高岭土在抛光领域的使用范围，便于向高精度化学机械抛光领域拓展，且制备的氧化硅纳米颗粒尺寸均一，分散性良好，适于作为蓝宝石抛光液中硅元素的原材料。

左海珍

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本发明提供了一种化学机械抛光液用硅溶胶，通过高岭土提纯处理，利用制浆分级获得磁选料‑梯度磁选除铁钛‑焙烧增白‑高温钙化，最终获得硅溶胶原料用氧化硅，有效的提高了高岭土在抛光领域的使用范围，便于向高精度化学机械抛光领域拓展，且制备的氧化硅纳米颗粒尺寸均一，分散性良好，适于作为蓝宝石抛光液中硅元素的原材料。