本发明公开了大尺寸掺杂YIG单晶薄膜材料及制备方法，属于薄膜材料技术领域，其化学分子式为Y

李俊 陈运茂 魏占涛 游斌 姜帆 张平川 杨陆 蓝江河

中国电子科技集团公司第九研究所

621000 四川省绵阳市滨河北路西段268号

本发明公开了大尺寸掺杂YIG单晶薄膜材料及制备方法，属于薄膜材料技术领域，其化学分子式为Y