本发明涉及SiC锭及SiC锭的制造方法。该SiC锭具备:芯部;和表面层,形成于所述芯部的生长方向的表面,所述表面层的线性膨胀系数比所述芯部的线性膨胀系数小。
金田一麟平 藤川阳平 奥野好成
昭和电工株式会社
日本东京都