| 201 |
微机电系统传感器的封装结构和电子设备 |
CN202020947306.9 |
2020-05-28 |
有效专利 |
| 202 |
一种微机电系统三轴加速度传感器芯片和制作方法 |
CN202011219115.1 |
2020-11-04 |
审查中-实审 |
| 203 |
一种超材料太赫兹生物传感器 |
CN202021643275.4 |
2020-08-10 |
有效专利 |
| 204 |
扭矩传感器 |
CN202021912136.7 |
2020-09-04 |
有效专利 |
| 205 |
一种十字岛梁膜高温微压传感器芯片及制备方法 |
CN202011061201.4 |
2020-09-30 |
发明公开 |
| 206 |
传感器结构件及其制造方法 |
CN201810746872.0 |
2018-07-09 |
有效专利 |
| 207 |
一种多操作模式的压电黏度传感器芯片及其工作方法和制备方法 |
CN202010335079.9 |
2020-04-24 |
审查中-实审 |
| 208 |
一种陶瓷微结构石墨烯气体传感器及其制造方法 |
CN201910161174.9 |
2019-03-04 |
审查中-实审 |
| 209 |
一种三轴磁传感器及其制备方法 |
CN201910318927.2 |
2019-04-19 |
有效专利 |
| 210 |
一种MEMS压电传感器及其制作方法 |
CN201810014708.0 |
2018-01-08 |
审查中-实审 |
| 211 |
基于SON结构的压阻式加速度传感器的制作方法 |
CN201910427434.2 |
2019-05-22 |
审查中-实审 |
| 212 |
一种MEMS电容式传感器及其制备方法 |
CN202011346703.1 |
2020-11-26 |
审查中-实审 |
| 213 |
力量传感器以及其制造方法 |
CN201810391387.6 |
2018-04-27 |
审查中-实审 |
| 214 |
一种高品质因子压电悬臂梁密度传感器芯片及其工作方法和制备方法 |
CN202010333818.0 |
2020-04-24 |
有效专利 |
| 215 |
有减少的应力灵敏度的微电机传感器器件和对应制造工艺 |
CN201610191890.8 |
2016-03-30 |
审查中-公开 |
| 216 |
声敏传感器封装结构制作方法和声敏传感器封装结构 |
CN202110190863.X |
2021-02-20 |
有效专利 |
| 217 |
用于电涡流微压传感器的薄膜片及其制备方法 |
CN201711394208.6 |
2017-12-21 |
有效专利 |
| 218 |
微传感器及其制备方法 |
CN201910313786.5 |
2019-04-18 |
有效专利 |
| 219 |
高灵敏度加速度传感器结构的制备方法 |
CN201910318111.X |
2019-04-19 |
有效专利 |
| 220 |
基于碳化硅材料的压阻式加速度传感器及其制造方法 |
CN201911212178.1 |
2019-12-02 |
审查中-实审 |
| 221 |
具有唯一的电支承件的传感器 |
CN201711223466.8 |
2012-08-24 |
审查中-实审 |
| 222 |
一种应变传感器及其制备方法 |
CN201811594232.9 |
2018-12-25 |
审查中-实审 |
| 223 |
一种可监控植物生长状态的微型传感器及其制备方法 |
CN202010031483.7 |
2020-01-13 |
有效专利 |
| 224 |
一种多传感器的协同制造工艺流程 |
CN201810774509.X |
2018-07-13 |
有效专利 |
| 225 |
谐振式MEMS差压压力传感器及其制备方法 |
CN202010482344.6 |
2020-05-29 |
审查中-实审 |
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