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物理
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专利名称
专利号
申请日期
专利状态
101 MEMS器件 CN202010787920.8 2020-08-07 发明公开
102 用于制造具有三维磁结构的器件的方法 CN202011235493.9 2015-12-11 发明公开
103 一种MEMS器件及其制作方法 CN201510084495.5 2015-02-16 有效专利
104 一种MEMS器件及其制作方法、显示基板 CN201910146353.5 2019-02-27 审查中-实审
105 一种MEMS惯性器件及其无应力电装方法 CN201811196958.7 2018-10-15 审查中-实审
106 全湿法腐蚀形成器件结构的方法 CN201611206291.5 2016-12-23 审查中-公开
107 一种单片集成惯性器件工艺兼容方法 CN201710366980.0 2017-05-23 审查中-实审
108 有减少的应力灵敏度的微电机传感器器件和对应制造工艺 CN201610191890.8 2016-03-30 审查中-公开
109 MEMS器件的制造方法及MEMS器件 CN202110072164.5 2021-01-20 有效专利
110 一种MEMS器件的晶圆级封装方法和封装结构 CN202010679793.X 2020-07-15 审查中-实审
111 电器件的配置结构 CN201910231375.1 2019-03-26 有效专利
112 具有压电致动的微流体MEMS器件及其制造工艺 CN201810790541.7 2018-07-18 审查中-实审
113 微流体递送器件及其制造方法 CN201811204454.5 2015-11-02 有效专利
114 用于安全器件到基底的表面施加的方法 CN201680009671.1 2016-02-11 审查中-实审
115 具有发光器件的复合玻璃板 CN201680001680.6 2016-08-15 有效专利
116 微型注塑工艺制备PLA生物医用微型器件的方法 CN201911009287.3 2019-10-23 审查中-实审
117 一种钕铁硼精密器件的异形磨加工装置 CN201910618308.5 2019-07-10 审查中-实审
118 压电器件、探测器、电子设备及超声波图像装置 CN201610361700.2 2016-05-26 有效专利
119 超声波器件以及超声波装置 CN201711270107.8 2017-12-05 审查中-实审
120 一种小粒径粉煤灰颗粒分选螺旋流道微流控器件及方法 CN201911186386.9 2019-11-27 有效专利
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