1.本实用新型涉及半导体真空加热设备技术领域，尤其涉及一种负压石英炉管。
背景技术：
2.在光伏行业，高温扩散炉与其内的石英管相配合使用主要用于对单晶硅片、多晶硅片进行掺杂，形成pn结。目前常规的扩散炉用石英管设置在扩散炉的腔体内，通过加热扩散炉来升温，并在石英管上设有进气口和排气口，在扩散工艺过程中，待扩散的硅片置于石英管中央，扩散炉开始升温，杂质源气体从进气口进入管内，杂质源气体在高温下反应并扩散进入硅片内。
3.目前负压石英炉管在安装使用过程中，由于进气管和出气管厚度较薄，且较为细长，因而导致负压石英炉管容易损伤，并影响负压石英炉管安装使用的安全可靠性。
技术实现要素：
4.本实用新型的目的是为了解决现有技术中负压石英炉管在安装使用过程中，由于进气管和出气管厚度较薄，且较为细长，因而导致负压石英炉管容易损伤，并影响负压石英炉管安装使用安全可靠性的问题，而提出的一种负压石英炉管。
5.为了实现上述目的，本实用新型采用了如下技术方案：
6.一种负压石英炉管，包括石英炉管主体，所述石英炉管主体的顶端固定连通有进气管和出气管，所述进气管和出气管的外壁共同套接有连接罩，所述连接罩的上表面固定连接有连接板，所述连接板和连接罩的上表面均开设有两个与进气管和出气管相配合的连接通孔，所述连接罩的内壁与石英炉管主体的内壁活动连接，所述连接罩的下表面固定连接有多个加强杆，多个所述加强杆的底端固定连接有限位凸环，所述石英炉管主体的底端外壁固定连接有固定机构，所述石英炉管主体的顶端固定连接有两个连接机构。
7.优选的，所述固定机构包括与石英炉管主体底端外壁固定套接的隔热筒，所述隔热筒的下表面固定连接有连接环，所述连接环的上表面便于处开设有多个第一固定通孔。
8.优选的，所述连接板的上表面边缘处开设有多个第二固定通孔。
9.优选的，所述连接机构包括与石英炉管主体顶端固定连接的石英连接块，所述石英连接块顶部凹槽的内壁固定连接有螺母，所述连接板和连接罩相同位置的上表面均开设有固定通孔，所述固定通孔的孔壁活动连接有螺栓，所述螺栓的底端与相邻所述螺母的内壁螺纹连接。
10.优选的，多个所述加强杆的外壁均固定套接有石英棉套。
11.优选的，所述隔热筒的上表面开设有与限位凸环底部相配合的限位凹槽。
12.优选的，所述石英炉管主体的内壁固定连接有分隔板，所述分隔板的顶端位于进气管和出气管之间的中间位置。
13.与现有技术相比，本实用新型提供了一种负压石英炉管，具备以下有益效果：
14.1、该负压石英炉管，通过设置有连接机构和固定机构，通过连接板和连接罩对石
英炉管主体顶部进行保护，防止石英炉管主体顶部、进气管和出气管在安装使用时被损伤，而且加强杆和石英棉套能够对石英炉管主体身部进行防护，另外隔热筒能够增加石英炉管主体底部结构强度，避免石英炉管主体底口部因负压而碎裂损坏，而且通过连接机构能够提高连接板和连接罩与石英炉管主体的连接速度，此外通过连接板的第二固定通孔和连接环的第一固定通孔使负压石英炉管具有顶部和底部双固定结构，保障负压石英炉管固定的稳定性，避免负压石英炉管工作时因固定简单移位而磕碰到炉体造成意外损伤，该机构能够有效提高负压石英炉管的防护能力，同时提高其安装的稳定性，并提高负压石英炉管安装使用的安全可靠性，以及提高负压石英炉管的使用寿命。
15.2、该负压石英炉管，通过设置有分隔板，当石英炉管主体安装后工作时，通过分隔板阻挡作用能够避免进气管和出气管二者之间的气流相互影响，保障石英炉管主体正常工作，该机构通过分隔板能够提高负压石英炉管工作时气流流动的稳定性。
16.该装置中未涉及部分均与现有技术相同或可采用现有技术加以实现，本实用新型能够有效提高负压石英炉管的防护能力，同时提高其安装的稳定性，并提高负压石英炉管安装使用的安全可靠性，以及提高负压石英炉管的使用寿命，且通过分隔板能够提高负压石英炉管工作时气流流动的稳定性。
附图说明
17.图1为本实用新型提出的一种负压石英炉管的结构示意图；
18.图2为本实用新型提出的一种负压石英炉管a部分的结构示意图；
19.图3为本实用新型提出的一种负压石英炉管b部分的结构示意图。
20.图中：1石英炉管主体、2进气管、3出气管、4连接罩、5连接板、6连接通孔、7加强杆、8固定机构、81隔热筒、82连接环、83第一固定通孔、9连接机构、91石英连接块、92固定通孔、93螺栓、94固定通孔、10限位凸环、11第二固定通孔、12石英棉套、13限位凹槽、14分隔板。
具体实施方式
21.下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。
22.在本实用新型的描述中，需要理解的是，术语“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“顶”、“底”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。
23.实施例1
24.参照图1-3，一种负压石英炉管，包括石英炉管主体1，石英炉管主体1的顶端固定连通有进气管2和出气管3，进气管2和出气管3的外壁共同套接有连接罩4，连接罩4的上表面固定连接有连接板5，连接板5和连接罩4的上表面均开设有两个与进气管2和出气管3相配合的连接通孔6，连接罩4的内壁与石英炉管主体1的内壁活动连接，连接罩4的下表面固定连接有多个加强杆7，多个加强杆7的底端固定连接有限位凸环10，石英炉管主体1的底端外壁固定连接有固定机构8，石英炉管主体1的顶端固定连接有两个连接机构9。
25.固定机构8包括与石英炉管主体1底端外壁固定套接的隔热筒81，隔热筒81的下表面固定连接有连接环82，连接环82的上表面便于处开设有多个第一固定通孔83，连接板5的上表面边缘处开设有多个第二固定通孔11，通过连接板5的第二固定通孔11和连接环82的第一固定通孔83使负压石英炉管具有顶部和底部双固定结构，保障负压石英炉管固定的稳定性，避免负压石英炉管工作时因固定简单移位而磕碰到炉体造成意外损伤。
26.连接机构9包括与石英炉管主体1顶端固定连接的石英连接块91，石英连接块91顶部凹槽的内壁固定连接有螺母92，连接板5和连接罩4相同位置的上表面均开设有固定通孔94，固定通孔94的孔壁活动连接有螺栓93，螺栓93的底端与相邻螺母92的内壁螺纹连接，通过连接机构6能够提高连接板5和连接罩4与石英炉管主体1的连接速度。
27.多个加强杆7的外壁均固定套接有石英棉套12，石英棉套12能够对加强杆7进行隔热保护，且能够保护石英炉管主体1。
28.隔热筒81的上表面开设有与限位凸环10底部相配合的限位凹槽13，限位凹槽13能够保障限位凸环10连接的稳定性。
29.本实施例中，负压石英炉管工作时，首先通过连接板5和连接罩4对石英炉管主体1顶部进行保护，防止石英炉管主体顶部1、进气管2和出气管3在安装使用时被磕碰损伤，而且加强杆7和石英棉套12能够对石英炉管主体1身部进行防护，另外隔热筒81能够增加石英炉管主体1底部结构强度，避免石英炉管主体1底口部因负压而碎裂损坏，而且通过连接机构6能够提高连接板5和连接罩4与石英炉管主体1的连接速度，此外通过连接板5的第二固定通孔11和连接环82的第一固定通孔83使负压石英炉管具有顶部和底部双固定结构，保障负压石英炉管固定的稳定性，该机构能够有效提高负压石英炉管的防护能力，同时提高其安装的稳定性，并提高负压石英炉管安装使用的安全可靠性，以及提高负压石英炉管的使用寿命。
30.实施例2
31.参照图1-3，一种负压石英炉管，包括石英炉管主体1，石英炉管主体1的顶端固定连通有进气管2和出气管3，进气管2和出气管3的外壁共同套接有连接罩4，连接罩4的上表面固定连接有连接板5，连接板5和连接罩4的上表面均开设有两个与进气管2和出气管3相配合的连接通孔6，连接罩4的内壁与石英炉管主体1的内壁活动连接，连接罩4的下表面固定连接有多个加强杆7，多个加强杆7的底端固定连接有限位凸环10，石英炉管主体1的底端外壁固定连接有固定机构8，石英炉管主体1的顶端固定连接有两个连接机构9。
32.固定机构8包括与石英炉管主体1底端外壁固定套接的隔热筒81，隔热筒81的下表面固定连接有连接环82，连接环82的上表面便于处开设有多个第一固定通孔83，连接板5的上表面边缘处开设有多个第二固定通孔11，通过连接板5的第二固定通孔11和连接环82的第一固定通孔83使负压石英炉管具有顶部和底部双固定结构，保障负压石英炉管固定的稳定性，避免负压石英炉管工作时因固定简单移位而磕碰到炉体造成意外损伤。
33.连接机构9包括与石英炉管主体1顶端固定连接的石英连接块91，石英连接块91顶部凹槽的内壁固定连接有螺母92，连接板5和连接罩4相同位置的上表面均开设有固定通孔94，固定通孔94的孔壁活动连接有螺栓93，螺栓93的底端与相邻螺母92的内壁螺纹连接，通过连接机构6能够提高连接板5和连接罩4与石英炉管主体1的连接速度。
34.多个加强杆7的外壁均固定套接有石英棉套12，石英棉套12能够对加强杆7进行隔
热保护，且能够保护石英炉管主体1。
35.隔热筒81的上表面开设有与限位凸环10底部相配合的限位凹槽13，限位凹槽13能够保障限位凸环10连接的稳定性。
36.石英炉管主体1的内壁固定连接有分隔板14，分隔板14的顶端位于进气管2和出气管3之间的中间位置，通过分隔板14能够避免负压石英炉管工作时进出气流相互影响，并提高其工作的稳定性。
37.本实施例中，本实施例在实施例1的基础上增加分隔板14，当负压石英炉管工作时，首先通过连接板5和连接罩4对石英炉管主体1顶部进行保护，防止石英炉管主体顶部1、进气管2和出气管3在安装使用时被磕碰损伤，而且加强杆7和石英棉套12能够对石英炉管主体1身部进行防护，另外隔热筒81能够增加石英炉管主体1底部结构强度，避免石英炉管主体1底口部因负压而碎裂损坏，而且通过连接机构6能够提高连接板5和连接罩4与石英炉管主体1的连接速度，此外通过连接板5的第二固定通孔11和连接环82的第一固定通孔83使负压石英炉管具有顶部和底部双固定结构，保障负压石英炉管固定的稳定性，避免负压石英炉管工作时因固定简单移位而磕碰到炉体造成意外损伤，通过分隔板14阻挡作用能够避免进气管2和出气管3二者之间的气流相互影响，保障石英炉管主体1正常工作，该机构能够有效提高负压石英炉管的防护能力，同时提高其安装的稳定性，并提高负压石英炉管安装使用的安全可靠性，以及提高负压石英炉管的使用寿命，且通过分隔板14能够提高负压石英炉管工作时气流流动的稳定性。
38.以上所述，仅为本实用新型较佳的具体实施方式，但本实用新型的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本实用新型揭露的技术范围内，根据本实用新型的技术方案及其实用新型构思加以等同替换或改变，都应涵盖在本实用新型的保护范围之内。