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一种抛光设备用上定盘基板下片工装的制作方法

时间:2022-02-06 阅读: 作者:专利查询

一种抛光设备用上定盘基板下片工装的制作方法

1.本实用新型涉及工装夹具技术领域,尤其涉及一种抛光设备用上定盘基板下片工装。


背景技术:

2.随着液晶显示技术不断升级,常规tft-lcd面板已经不能满足市场需求,而oxied有迁移率高、制备简单、透光率高等诸多优点,已经在积极推动tft技术大力发展。在这样的市场背景下,氧化物tft产品的制程风险点及技术要求如今正在渗透各大薄化加工厂,由于产品设计要求高,制程管控严格,为满足产品在加工过程中不产生弯曲,不产生单点挤压,各种辅助工装应运而生。
3.现有抛光设备需要作业人员对基板与吸附贴贴合部位进行冲水取片,为防止基板掉落,人员需要从抛光设备上抠取基板一个角落,来完成基板的下片作业,而这种操作存在以下缺点:1、作业人员抠取时拿捏到基板的显示区域,造成单点的挤压;2、作业人员抠取时会造成与吸附贴吸附未完全脱落的基板和已经脱落的基板产生弯曲,违背了产品制程管控的要求;3、作业人员抠取基板的过程中,会由于操作不慎而出现基板掉落产生破损的问题;4、作业人员抠取的过程增加了劳动量,提高了劳动成本。


技术实现要素:

4.为了解决上述技术问题,本实用新型提供了一种抛光设备用上定盘基板下片工装,通过压紧定位在翻转90
°
的上定盘上,无需人手动抠取基板,冲水分离后,可承载基板,可有效改善基板下片产生的弯曲度,可降低下片过程中的质损,同时降低了工人的劳动量。
5.为实现上述目的,本实用新型解决其技术问题所采用的技术方案是:所述抛光设备用上定盘基板下片工装,包括定位挡板,所述定位挡板的上部通过卡接部件卡接定位在翻转90
°
的上定盘的外周,所述定位挡板的底部与所述上定盘表面相抵触,且所述定位挡板的底部承接所述上定盘上吸附的基板。
6.所述定位挡板包括压紧板和承接板,所述压紧板压紧在所述基板的外侧,所述压紧板的上部连接所述卡接部件,所述压紧板的下端安装所述承接板,所述承接板的上端与所述基板的下端相抵触。
7.所述压紧板和承接板均设置为泡沫板,且所述压紧板和承接板粘结相连。
8.所述压紧板的厚度设置为20~30mm,所述承接板的宽度设置为30~40mm。
9.所述压紧板的表面设置有多个观察孔。
10.所述压紧板的中部还设置有握持把手。
11.所述卡接部件包括连接在所述定位挡板上的多个l形杆件,所述l形杆件的外端设置有挂钩,所述挂钩与所述上定盘卡接配合。
12.所述l形杆件设置为空心管件,且所述l形杆件通过绑扎固定的方式固定在所述定位挡板上。
13.本实用新型的有益效果是:
14.1、本实用新型通过将定位挡板的上部卡接在翻转90
°
的上定盘上,将定位挡板的底部与上定盘相抵触,使定位挡板与基板面接触,不会出现单点的挤压,有效改善了基板下片产生的弯曲度;而且定位挡板的底部承接上定盘上吸附的基板,当基板被冲水分离后,不会出现掉落的问题,降低了下片过程中基板的质损;由于无需使用人力抠取基板,降低了作业人员的劳动量。
15.2、本实用新型通过将定位挡板设置为泡沫板,l形杆件为空心管件,制作成本低,降低了整个工装的重量,使操作更加轻便省力;通过在压紧板上设置观察孔,方便观察基板分离的情况;通过在压紧板上设置握持把手,方便对工装进行定位。
16.综上,该工装整体结构简单、制作成本低、重量轻,操作轻便省力,无需人手动抠取基板,有效了改善基板下片产生的弯曲度,降低了下片过程中的质损,同时降低了工人的劳动量。
附图说明
17.下面对本实用新型说明书各幅附图表达的内容及图中的标记作简要说明:
18.图1为本实用新型的主视图;
19.图2为本实用新型的侧视图;
20.上述图中的标记均为:1.定位挡板,11.压紧板,111.观察孔,12.承接板,2.卡接部件,21.l形杆件,22.挂钩,3.上定盘,4.基板,5.握持把手。
具体实施方式
21.为使本实用新型实施例的目的、技术方案和优点更加清楚,下面将结合本实用新型实施例中的附图,对实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,以下实施例用于说明本实用新型,但不用来限制本实用新型的范围。
22.在本实用新型的描述中,需要说明的是,术语“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系,仅是为了便于描述本实用新型和简化描述,而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作,因此不能理解为对本实用新型的限制。
23.在本实用新型的描述中,需要说明的是,除非另有明确的规定和限定,术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解,例如,可以是固定连接,也可以是可拆卸连接,或一体地连接;可以是机械连接,也可以是电连接;可以是直接相连,也可以通过中间媒介间接相连。对于本领域的普通技术人员而言,可以具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。
24.本实用新型具体的实施方案为:如图1和图2所示,一种抛光设备用上定盘3基板4下片工装,包括定位挡板1,定位挡板1的上部通过卡接部件2卡接定位在翻转90
°
的上定盘3的外周,定位挡板1的底部与上定盘3表面相抵触,使定位挡板1与基板4面接触,不会出现单点的挤压,有效改善了基板4下片产生的弯曲度;且定位挡板1的底部承接上定盘3上吸附的基板4,当基板4被冲水分离后,不会出现掉落的问题,降低了下片过程中基板4的质损;由于无需使用人力抠取基板4,降低了作业人员的劳动量。
25.具体地,其中的定位挡板1包括压紧板11和承接板12,压紧板11压紧在基板4的外侧,压紧板11的上部连接卡接部件2,通过卡接部件2完成定位挡板1的定位,使压紧板11与基板4的外侧接触,压紧板11的下端安装承接板12,承接板12的上端与基板4的下端相抵触,通过承接板12可防止了冲水分离后的基板4的掉落,降低了基板4质损的风险。
26.其中的压紧板11和承接板12均设置为泡沫板,且压紧板11和承接板12粘结相连,既减小了定位挡板1的重量,又避免了对基板4表面进行摩擦。压紧板11的厚度设置为20~30mm,承接板12的宽度设置为30~40mm,该承接板12的宽度大于基板4的厚度,使基板4的底端紧靠在承接板12上。
27.而且其中的压紧板11的表面设置有多个观察孔111,方便观察基板4分离的情况,当基板4冲水分离后,使基板4紧靠在压紧板11内侧,通过使卡接部件2在上定盘3上分离,通过压紧板11和承接板12可承载基板4移动到其他工位。压紧板11的中部还设置有握持把手5,该握持把手5为尼龙把手,通过扎带固定在压紧板11上,方便对工装进行定位。
28.具体地,其中的卡接部件2包括连接在定位挡板1上的多个l形杆件21,l形杆件21的外端设置有挂钩22,挂钩22与上定盘3卡接配合,实现了定位挡板1在上定盘3上的定位。其中的l形杆件21设置为空心管件,l形杆件21可设置成pv管,且l形杆件21通过绑扎固定的方式固定在定位挡板1上,降低了整个工装的重量,使操作更加轻便省力。
29.上述工装的使用方法是:当基板4在抛光设备上完成抛光操作后,翻转气缸带动上定盘3翻转90
°
,用手握紧握持把手5,将整个工装移动到上定盘3上基板4所在的一面,首先,将压紧板11上部的多个l形杆件21的挂钩22卡接在上定盘3的上部外周上,使整个压紧板11将基板4覆盖,使承接板12的上端与基板4的下端相抵触;然后,打开冲片系统对上定盘3上的基板4冲高压水,使基板4与上定盘3上的吸附垫分离,通过压紧板11上的观察孔111观察分离的情况;最后,当基板4与上定盘3上的吸附垫分离后,基板4由于重力紧靠在压紧板11内侧,将l形杆件21与上定盘3分离后,通过压紧板11和承接板12承载基板4移动到其他工位。
30.综上,该工装整体结构简单、制作成本低、重量轻,操作轻便省力,无需人手动抠取基板,有效了改善基板下片产生的弯曲度,降低了下片过程中的质损,同时降低了工人的劳动量。
31.以上所述,只是用图解说明本实用新型的一些原理,本说明书并非是要将本实用新型局限在所示所述的具体结构和适用范围内,故凡是所有可能被利用的相应修改以及等同物,均属于本实用新型所申请的专利范围。