1.本实用新型涉及半导体制造技术领域，尤其涉及一种废弃光刻胶排放装置及涂胶显影机。


背景技术：

2.在半导体器件制造和先进封装工艺中，光刻工艺是指在基板上，如半导体晶圆上依次经过光刻胶涂敷、曝光、显影等处理，在涂敷过程中，光刻胶在高速旋转的状态下被均匀的涂在晶圆表面，而在此过程中，会有一部分的光刻胶被甩出，该部分光刻胶需要进行废弃处理。
3.现有技术中，一般在旋转装置的一侧设置积液盒来收集废弃光刻胶，通过在积液盒上设置排液管道对废弃光刻胶进行排放。由于光刻胶为粘稠液体，且具有极易结晶的特性，导致光刻胶很容易堵塞排液管道。当排液管道被光刻胶堵塞，将直接导致基台在作业时光刻胶无法正常排出，而从旋转装置流出，导致严重的产品质量问题和安全事故。
4.因此，亟需设计一种废弃光刻胶排放装置，来解决废弃光刻胶容易堵塞排放管道的问题。


技术实现要素：

5.为了解决上述技术问题，本实用新型提供了一种废弃光刻胶排放装置及涂胶显影机，通过设置支管喷洒溶解剂对排液管道中的废弃光刻胶进行冲洗，避免废弃光刻胶堵塞排放管道。
6.本实用新型提供的技术方案如下：
7.一种废弃光刻胶排放装置，包括：
8.积液盒，所述积液盒内设置有用于装设废弃光刻胶的腔室，所述积液盒上设置有进液口和排液口，所述进液口与所述腔室连通，用于收集所述废弃光刻胶，所述排液口与所述腔室连通，用于排出所述废弃光刻胶；
9.排液管道，所述排液管道与所述排液口连通，用于排放所述废弃光刻胶；
10.若干个支管，设置在所述排液管道的侧壁上，若干个所述支管分别与所述排液管道连通，用于输送光刻胶溶解剂。
11.本技术方案中，将积液盒设置在涂胶显影机的旋转装置四周，直接收集废弃光刻胶，或者与收集杯连接，通过收集杯收集废弃光刻胶；积液盒中的废弃光刻胶可以在自身重力的作用下或外力干涉作用下，从排液口进入排液管道后输送至废液收集站；在排液过程中，若干个支管可以定期或不定期的喷洒光刻胶溶解剂，对排液管道的内壁进行冲洗，将排液管道内壁上残留的废弃光刻胶进行溶解，避免废弃光刻胶在排液管道上堆积，导致排液管道堵塞，此装置结构简单，使用方便。
12.进一步优选地，所述排液管道的直径大于所述支管的直径，若干个所述支管在所述排液管道上间隔布置。
13.进一步优选地，若干个所述支管间隔布置在所述排液管道的同一侧；
14.或，若干个所述支管间隔布置在所述排液管道的不同侧；
15.或，若干个所述支管在所述排液管道的侧壁上交错布置。
16.进一步优选地，
17.所述支管上设置有单向阀，所述单向阀用于防止所述废弃光刻胶通过所述支管进入光刻胶溶解剂输送装置内；
18.和/或，所述支管上设置有电磁阀，所述电磁阀用于控制所述支管的导通及断开。
19.进一步优选地，所述积液盒包括盒体和盒盖，所述盒盖设置在所述盒体的上侧，所述进液口设置在所述盒盖上，所述排液口设置在所述盒体的底壁上。
20.进一步优选地，所述底壁与水平面呈角度设置，所述排液口设置在所述底壁位置低的一端；
21.或，所述底壁沿其长度方向分成第一底壁和第二底壁，所述第一底壁和所述第二底壁呈角度设置，使得所述第一底壁和所述第二底壁的连接处向所述盒体的外侧凸出，所述排液口设置在所述第一底壁和所述第二底壁的连接处。
22.进一步优选地，所述盒盖上设置有清洁口，所述清洁口用于清洁所述盒体；
23.和/或，所述盒盖与所述盒体可拆卸连接。
24.进一步优选地，还包括连接构件，所述连接构件包括：
25.排液接头，设置在所述积液盒上，所述排液接头与所述排液口连接，所述进液接头上设置有外螺纹；
26.进液接头，设置在所述排液管道上，所述进液接头包括法兰片和挡圈，所述法兰片固定在所述排液管道靠近所述积液盒的一端，所述挡圈套设在所述排液管道上，并位于所述法兰片远离所述积液盒的一侧，所述法兰片的外径大于所述挡圈的内径，且小于所述挡圈的外径；
27.连接帽，所述连接帽设置有沿长度方向贯穿其本体的通孔，所述通孔的内壁下端设置有容纳槽，所述挡圈适配设置于所述容纳槽内，使所述连接帽与所述排液管道活动连接，所述通孔的内壁上端设置有内螺纹，所述连接帽与所述排液接头适配螺接。
28.进一步优选地，还包括：
29.至少一个安装件，所述安装件与所述积液盒连接，所述安装件上设置有用于对所述积液盒固定安装的安装孔。
30.本实用新型提供的另一技术方案如下：
31.一种涂胶显影机，包括上述中任意一项所述的废弃光刻胶排放装置。
32.与现有技术相比，本实用新型的废弃光刻胶排放装置及涂胶显影机有益效果在于：
33.本实用新型中，将积液盒设置在涂胶显影机的旋转装置四周，直接收集废弃光刻胶，或者与收集杯连接，通过收集杯收集废弃光刻胶；积液盒中的废弃光刻胶可以在自身重力的作用下或外力干涉作用下，从排液口进入排液管道后输送至废液收集站；在排液过程中，若干个支管可以定期或不定期的喷洒光刻胶溶解剂，对排液管道的内壁进行冲洗，将排液管道内壁上残留的废弃光刻胶进行溶解，避免废弃光刻胶在排液管道上堆积，导致排液管道堵塞，此装置结构简单，使用方便。
附图说明
34.下面将以明确易懂的方式，结合附图说明优选实施方式，对上述特性、技术特征、优点及其实现方式予以进一步说明。
35.图1是本实用新型一具体实施例废弃光刻胶排放装置的结构示意图；
36.图2是本实用新型一具体实施例废弃光刻胶排放装置的剖视图；
37.图3是本实用新型一具体实施例废弃光刻胶排放装置的局部剖视图；
38.图4是本实用新型一具体实施例积液盒的结构示意图。
39.附图标号说明：
40.1.积液盒，11.进液口，12.排液口，13.盒体，131.底壁，132.腔室，14.盒盖，141.清洁口，2.排液管道，3.支管，4.连接构件，41.排液接头，411.外螺纹，42.进液接头，421.法兰片，4211.密封槽，422.挡圈，43.连接帽，431.容纳槽，432.内螺纹，5.安装件，51.安装孔。
具体实施方式
41.以下描述中，为了说明而不是为了限定，提出了诸如特定系统结构、技术之类的具体细节，以便透彻理解本技术实施例。然而，本领域的技术人员应当清楚，在没有这些具体细节的其他实施例中也可以实现本技术。在其他情况中，省略对众所周知的系统、装置、电路以及方法的详细说明，以免不必要的细节妨碍本技术的描述。
42.应当理解，当在本说明书和所附权利要求书中使用时，术语“包括”指示所述描述特征、整体、步骤、操作、元素和/或组件的存在，但并不排除一个或多个其他特征、整体、步骤、操作、元素、组件和/或集合的存在或添加。
43.为使图面简洁，各图中只示意性地表示出了与本实用新型相关的部分，它们并不代表其作为产品的实际结构。另外，以使图面简洁便于理解，在有些图中具有相同结构或功能的部件，仅示意性地绘示了其中的一个，或仅标出了其中的一个。在本文中，“一个”不仅表示“仅此一个”，也可以表示“多于一个”的情形。
44.还应当进一步理解，在本技术说明书和所附权利要求书中使用的术语“和/或”是指相关联列出的项中的一个或多个的任何组合以及所有可能组合，并且包括这些组合。
45.在附图所示的实施例中，方向的指示(诸如上、下、左、右、前和后)用以解释本实用新型的各种组件的结构和运动不是绝对的而是相对的。当这些组件处于附图所示的位置时，这些说明是合适的。如果这些组件的位置的说明发生改变时，则这些方向的指示也相应地改变。
46.另外，在本技术的描述中，术语“第一”、“第二”等仅用于区分描述，而不能理解为指示或暗示相对重要性。
47.为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案，下面将对照附图说明本实用新型的具体实施方式。显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图，并获得其他的实施方式。
48.作为一个具体实施例，如图1至图4所示，本实施例提供了一种废弃光刻胶排放装置，包括：积液盒1、排液管道2及若干个支管3。其中，积液盒1内设置有用于装设废弃光刻胶的腔室132，积液盒1上设置有进液口11和排液口12，进液口11与腔室132连通，用于收集废
弃光刻胶，排液口12与腔室132连通，用于排出废弃光刻胶。排液管道2与排液口12连通，用于排放废弃光刻胶。若干个支管3设置在排液管道2的侧壁上，若干个支管3分别与排液管道2连通，用于输送光刻胶溶解剂。
49.本实施例中，将积液盒1设置在涂胶显影机的旋转装置四周，直接收集废弃光刻胶，或者与收集杯连接，通过收集杯收集废弃光刻胶。积液盒1中的废弃光刻胶可以在自身重力的作用下或外力干涉作用下，从排液口12进入排液管道2后输送至废液收集站。在排液过程中，若干个支管3可以定期或不定期的喷洒光刻胶溶解剂，对排液管道2的内壁进行冲洗，将排液管道2内壁上残留的废弃光刻胶进行溶解，避免废弃光刻胶在排液管道2上堆积，导致排液管道2堵塞，此装置结构简单，使用方便。
50.具体地，如图1所示，排液管道2和支管3均为耐腐蚀材质，例如：不锈钢材质。排液管道2的直径大于支管3的直径，若干个支管3在排液管道2上间隔布置。支管3可以焊接在排液管道2上，或者通过连接头与排液管道2可拆卸连接。若干个支管3可以间隔布置在排液管道2的同一侧；或者，若干个支管3间隔布置在排液管道2的不同侧；或者，若干个支管3在排液管道2的侧壁上交错布置。支管3可以设置两个或者两个以上，当然，支管3也可以只设置一个。
51.优选地，支管3上设置有单向阀，单向阀的设置使得光刻胶溶解剂能够进入排液管道2内，而排液管道2内的废弃光刻胶无法通过单向阀进入支管3内，可以有效避免废弃光刻胶通过支管3进入光刻胶溶解剂输送装置内。
52.进一步地，支管3上设置有电磁阀，电磁阀可以与涂胶显影机的控制系统连接，控制系统通过电磁阀实时控制支管3的导通及断开，控制系统也可以通过电磁阀控制光刻胶溶解剂的喷洒压力和喷洒量，实现排液管道2的自动清理。
53.具体地，如图1、图2所示，积液盒1包括盒体13和盒盖14，盒盖14设置在盒体13的上侧，进液口11设置在盒盖13上，排液口12设置在盒体13的底壁131上。盒体13与盒盖14可以一体设置，也可以可拆卸连接。盒体13与盒盖14可以一体设置时，为了方便清洗积液盒1，可以在盒盖14上设置清洁口141，通过清洁口141可以对盒体13进行清洁。盒体13与盒盖14可拆卸连接时，则可以不设置清洁口141，需要清洗时直接将盒盖14拆卸后清洗即可。
54.如图2所示，为了便于积液盒1内的废弃光刻胶能够在自身重力的作用下从排液口12排出，将底壁131与水平面呈角度设置，排液口12设置在底壁131位置低的一端。或者，将底壁131沿其长度方向分成第一底壁和第二底壁，第一底壁和第二底壁呈角度设置，使得第一底壁和第二底壁的连接处向盒体13的外侧凸出，也即底壁131由第一底壁和第二底壁形成“v”字形结构，排液口12设置在第一底壁和第二底壁的连接处。
55.如图4所示，为了便于积液盒1的固定安装，在积液盒1长度方向的两端分别设置有安装件5，安装件5“l”型结构。安装件5的一个折角边与积液盒1的端部固定连接或可拆卸连接，安装件5的另一个折角边上设置有安装孔51。为了方便安装，可以把安装孔51设置为腰孔，将螺栓穿过安装孔51可对积液盒1进行固定安装。
56.如图3、图4所示，积液盒1与排液管道2可以一体设置，例如：积液盒1与排液管道2焊接。为了方便制作与安装，优选将积液盒1与排液管道2经连接构件4可拆卸连接。其中，连接构件4包括：排液接头41、进液接头42和连接帽43。其中，排液接头41设置在积液盒1的下侧，排液接头41与排液口12连接，进液接头41远离排液口12的一端设置有外螺纹411。排液
接头41与排液口12可以固定连接，也可以螺纹连接。
57.进液接头42设置在排液管道2靠近积液盒1的一端，进液接头42包括法兰片421和挡圈422，法兰片421固定在排液管道2靠近积液盒1的一端。法兰片421可以与排液管道2焊接为一体，也可以与排液管道2螺纹连接在一起，法兰片421靠近排液接头41的一侧设有密封槽4211，密封槽4211用于装设密封圈。挡圈422套设在排液管道2上，并位于法兰片421远离积液盒1的一侧，法兰片421的外径大于挡圈422的内径，且小于挡圈422的外径。
58.连接帽43设置有沿长度方向贯穿其本体的通孔，通孔的内壁下端设置有容纳槽431，挡圈422适配设置于容纳槽431内，使连接帽43与排液管道2活动连接，通孔的内壁上端设置有内螺纹432，连接帽43与排液接头41适配螺接。只需通过转动连接帽43，无需转动排液管道2或积液盒1即可实现其二者的连接。当然也可以使用其他的连接构件4来实现积液盒1与排液管道2的安装，例如：连接构件4为一个直接头，直接头设置有沿长度方向贯穿其本体的通孔，通孔的上下两端内壁上分别设置有内螺纹。积液盒1的排液口12设置有排液接头，排液接头远离排液口12的一端设置有外螺纹，排液管道2靠近积液盒1的一端设置有外螺纹，通过直接头即可实现积液盒1与排液管道2的连接。
59.在另一实施例中，在上述实施例中，本实施例提供了一种涂胶显影机，包括上述实施例中的废弃光刻胶排放装置。
60.在上述实施例中，对各个实施例的描述都各有侧重，某个实施例中没有详细描述或记载的部分，可以参见其他实施例的相关描述。
61.应当说明的是，上述实施例均可根据需要自由组合。以上所述仅是本实用新型的优选实施方式，应当指出，对于本技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本实用新型原理的前提下，还可以做出若干改进和润饰，这些改进和润饰也应视为本实用新型的保护范围。