1.本实用新型涉及尾气排放处理技术领域，较为具体的，涉及到一种硅烷尾气排放处理系统。
背景技术：
2.最近几年由于国内外大型多晶硅生产企业的不断扩产，使多晶硅由过去的暴利阶段进入了品质和成本的竞争阶段，硅烷法生产多晶硅因其分解温度低、能耗低、成本低、无污染等特点，已经引起了越来越多的多晶硅生产企业的关注并已被成功应用，不论是国外大的多晶硅生产厂家的成熟的发展案例还是目前国内硅烷法生产多晶硅的逐步发展的趋势，这些都表明硅烷法是未来多晶硅产业技术提升与发展的主要方向。
3.在cvd工艺过程中的进气包括有机硅烷，因而尾气的组分中也包括未分解的有机硅烷。多数工厂使用的硅烷(sih4)浓度有5％、20％、和100％等多种硅烷。硅烷是无色、有毒、易燃易爆气体，气化学性质活泼，极易被氧化，当硅烷浓度达3％时在空气中会发生燃烧。一般，参与反应的硅烷气体约有20％60％从反应装置的尾气排出。特别是当100％硅烷作业lpcvd和pecvd工艺时，为确保反应装置中炉口到炉尾生长圆片的膜厚均匀性，通常会加大100％sih4的用量，故从真空泵组1排出的尾气中，还含有未反应的硅烷比例会更高。如果尾气中排出的高浓度硅烷未经处理或者处理不彻底，而进入工厂排风管道中，将与空气反应，剧烈燃烧，甚至爆炸。
技术实现要素：
4.有鉴于此，为了解决尾气中排出的高浓度硅烷未经处理或者处理不彻底，而进入工厂排风管道中，将与空气反应，剧烈燃烧，甚至爆炸的问题，本实用新型提出一种硅烷尾气排放处理系统，通过真空泵组1的输出端连接有燃烧桶组2的输入端，燃烧桶组2的输出端连接废气塔组3的输入端，废气塔组3的输出端连接风机组4的输入端，风机组4的输出端连接烟囱5，通过烟囱5将处理好的硅烷尾气排放至室外，真空泵组1的输出端设有压力传感器9，压力传感器9与风机组4，实时进行远程监测和控制，每台风机的两端均连接有软管16，由于风机工作中震动较大，故采用软管16来防止风机带动其他设备震动，排放安全。
5.一种硅烷尾气排放处理系统，包括真空泵组1，其特征在于：所述真空泵组1的输出端连接有燃烧桶组2的输入端，所述真空泵组1的输入端连接硅烷车间尾气排放管的输出端，所述燃烧桶组2的输出端连接废气塔组3的输入端，所述废气塔组3的输出端连接风机组4的输入端，所述风机组4的输出端连接烟囱5，通过烟囱5将处理好的硅烷尾气排放至室外。
6.进一步的，燃烧桶组2由多个燃烧桶并联组成，每个燃烧桶均由三个燃烧桶进气口，分别为：氮气进气口6、压缩空气进气口7和车间废气进气口8。
7.进一步的，真空泵组1的输出端连接车间废气进气口8，真空泵组1的输出端设有压力传感器9，压力传感器9与风机组4，实时进行远程监测和控制。
8.进一步的，废气塔组3由多个废气塔串联组成，废气塔排气口与相邻的废气塔的废
气塔进气口通过风管连接。
9.进一步的，每台废气塔的内部从上之下依次设有：喷淋装置10、填料装置11和氢氧化钠溶液槽12，每台废气塔的外部的下部一侧设有氢氧化钠加料装置13，另一侧设有液体泵14，每台废气塔的外部的底部设有排液管道15，液体泵14将氢氧化钠溶液输送至喷淋装置10，喷淋装置10对进入的处理后的硅烷尾气进行喷淋后混合液体经过填料装置11后流回氢氧化钠溶液槽12，当氢氧化钠溶液槽12内的液体过多时，通过排液管道15排出。
10.进一步的，风机组4由多个风机并联组成，风机为变频风机，其中一个风机为工作风机，另一个为备用风机，工作风机处于开启状态，备用风机处于关闭状态，当工作风机出现故障时，开启备用风机，保证系统正常运行。
11.进一步的，每台风机的两端均连接有软管16，由于风机工作中震动较大，故采用软管16来防止风机带动其他设备震动。
12.进一步的，真空泵组1的输出端的风管上设有第一风量手动调节阀17，每个燃烧桶的输出端的风管上设有第二风量手动调节阀18，每个废气塔的输出端和输入端的风管上均设有第三风量手动调节阀19；每台风机的输出端的风管上设有第四风量手动调节阀20。
13.进一步的，每台风机与废气塔组3连接的风管处均设有一止回阀21，防止硅烷倒流。
14.进一步的，烟囱5的上部设有采样口，烟囱5的下部设有泻水口。
15.本实用新型的有益效果是：本实用新型提出一种硅烷尾气排放处理系统，通过真空泵组1的输出端连接有燃烧桶组2的输入端，燃烧桶组2的输出端连接废气塔组3的输入端，废气塔组3的输出端连接风机组4的输入端，风机组4的输出端连接烟囱5，通过烟囱5将处理好的硅烷尾气排放至室外，真空泵组1的输出端设有压力传感器9，压力传感器9与风机组4，实时进行远程监测和控制，每台风机的两端均连接有软管16，由于风机工作中震动较大，故采用软管16来防止风机带动其他设备震动，排放安全。
附图说明
16.图1为本实用新型的硅烷尾气排放处理系统的结构图。
17.主要元件符号说明
18.真空泵组1燃烧桶组2废气塔组3风机组4烟囱5氮气进气口6压缩空气进气口7车间废气进气口8压力传感器9喷淋装置10填料装置11氢氧化钠溶液槽12
氢氧化钠加料装置13液体泵14排液管道15软管16第一风量手动调节阀17第二风量手动调节阀18第三风量手动调节阀19第四风量手动调节阀20止回阀21
19.如下具体实施方式将结合上述附图进一步说明本实用新型。
具体实施方式
20.如图1所示，为本实用新型的硅烷尾气排放处理系统的结构图。
21.一种硅烷尾气排放处理系统，包括真空泵组1，其特征在于：所述真空泵组1的输出端连接有燃烧桶组2的输入端，所述真空泵组1的输入端连接硅烷车间尾气排放管的输出端，所述燃烧桶组2的输出端连接废气塔组3的输入端，所述废气塔组3的输出端连接风机组4的输入端，所述风机组4的输出端连接烟囱5，通过烟囱5将处理好的硅烷尾气排放至室外。
22.所述燃烧桶组2由多个燃烧桶并联组成，每个燃烧桶均由三个燃烧桶进气口，分别为：氮气进气口6、压缩空气进气口7和车间废气进气口8。
23.所述真空泵组1的输出端连接车间废气进气口8，真空泵组1的输出端设有压力传感器9，压力传感器9与风机组4，实时进行远程监测和控制。
24.所述废气塔组3由多个废气塔串联组成，废气塔排气口与相邻的废气塔的废气塔进气口通过风管连接。
25.所述每台废气塔的内部从上之下依次设有：喷淋装置10、填料装置11和氢氧化钠溶液槽12，每台废气塔的外部的下部一侧设有氢氧化钠加料装置13，另一侧设有液体泵14，每台废气塔的外部的底部设有排液管道15，液体泵14将氢氧化钠溶液输送至喷淋装置10，喷淋装置10对进入的处理后的硅烷尾气进行喷淋后混合液体经过填料装置11后流回氢氧化钠溶液槽12，当氢氧化钠溶液槽12内的液体过多时，通过排液管道15排出。
26.所述风机组4由多个风机并联组成，风机为变频风机，其中一个风机为工作风机，另一个为备用风机，工作风机处于开启状态，备用风机处于关闭状态，当工作风机出现故障时，开启备用风机，保证系统正常运行。
27.所述每台风机的两端均连接有软管16，由于风机工作中震动较大，故采用软管16来防止风机带动其他设备震动。
28.所述真空泵组1的输出端的风管上设有第一风量手动调节阀17，每个燃烧桶的输出端的风管上设有第二风量手动调节阀18，每个废气塔的输出端和输入端的风管上均设有第三风量手动调节阀19；每台风机的输出端的风管上设有第四风量手动调节阀20。
29.所述每台风机与废气塔组3连接的风管处均设有一止回阀21，防止硅烷倒流。
30.所述烟囱5的上部设有采样口，烟囱5的下部设有泻水口。
31.本实用新型的有益效果是：本实用新型提出一种硅烷尾气排放处理系统，通过真
空泵组1的输出端连接有燃烧桶组2的输入端，燃烧桶组2的输出端连接废气塔组3的输入端，废气塔组3的输出端连接风机组4的输入端，风机组4的输出端连接烟囱5，通过烟囱5将处理好的硅烷尾气排放至室外，真空泵组1的输出端设有压力传感器9，压力传感器9与风机组4，实时进行远程监测和控制，每台风机的两端均连接有软管16，由于风机工作中震动较大，故采用软管16来防止风机带动其他设备震动，排放安全。
32.以上所述实施例仅表达了本实用新型的几种实施方式，其描述较为具体和详细，但并不能因此而理解为对本实用新型专利范围的限制。应当指出的是，对于本领域的普通技术人员来说，在不脱离本实用新型构思的前提下，还可以做出若干变形和改进，这些都属于本实用新型的保护范围。因此，本实用新型专利的保护范围应以所附权利要求为准。