微热板在对硅基板的腔进行架设的支持层上设置有电极和加热器。
电极包围加热器，且加热器被配置于电极的内侧。
微热板的功率效率提高。

多田罗佳孝 本多祐仁 永井宏明 芦原义树 井泽邦之 佐井正和 吉冈谦一

欧姆龙株式会社 费加罗技研株式会社

日本京都

微热板在对硅基板的腔进行架设的支持层上设置有电极和加热器。
电极包围加热器，且加热器被配置于电极的内侧。
微热板的功率效率提高。