176 |
三电极体系可控电化学辅助力流变超精密抛光装置 |
CN201921917195.0 |
2019-11-08 |
有效专利 |
177 |
一种碲锌镉晶片的绿色环保化学机械抛光方法 |
CN202010720093.0 |
2020-07-23 |
审查中-实审 |
178 |
一种具有抛光效果的除锈膏 |
CN201910151446.7 |
2019-02-28 |
审查中-实审 |
179 |
研磨抛光用高硬度硅溶胶的生产方法 |
CN202010837634.8 |
2020-08-19 |
审查中-实审 |
180 |
一种光学整流罩抛光模的制作方法 |
CN202010680671.2 |
2020-07-15 |
审查中-实审 |
181 |
化学机械抛光组合物以及方法 |
CN202010409841.3 |
2020-05-14 |
审查中-实审 |
182 |
化学机械抛光组合物以及优先于二氧化硅抛光氮化硅并同时抑制对二氧化硅的损伤的方法 |
CN202010405646.3 |
2020-05-14 |
审查中-实审 |
183 |
一种抗氧化去污抛光膏的制备方法 |
CN201910078785.7 |
2019-01-28 |
有效专利 |
184 |
一种用于熔石英的抛光组合物 |
CN201711361111.5 |
2017-12-18 |
有效专利 |
185 |
一种用于碳化硅CMP的抛光组合物及其制备方法 |
CN202011059655.8 |
2020-09-30 |
审查中-实审 |
186 |
一种纳米二氧化硅抛光膜及制备方法 |
CN202010974639.5 |
2020-09-16 |
审查中-实审 |
187 |
用于铅化学机械抛光的粗抛抛光液及抗氧化工艺 |
CN201910903722.0 |
2019-09-24 |
审查中-实审 |
188 |
用于铅化学机械抛光的抛光液及抗氧化工艺 |
CN201910903917.5 |
2019-09-24 |
有效专利 |
189 |
声磁耦合空化辅助液体喷射抛光装置及使用方法 |
CN202010948099.3 |
2020-09-10 |
审查中-实审 |
190 |
一种锑化镓单晶片的抛光方法 |
CN202010737567.2 |
2020-07-28 |
审查中-实审 |
191 |
一种抛光液及对碳化硅晶体的抛光方法 |
CN201811038755.5 |
2018-09-06 |
有效专利 |
192 |
一种抛光耗材及其制备方法和注压设备 |
CN201811642927.X |
2018-12-29 |
有效专利 |
193 |
用于减少缺陷的抛光组合物及其使用方法 |
CN201910789528.4 |
2019-08-26 |
审查中-实审 |
194 |
一种基于剪切增稠抛光的修形装置及方法 |
CN202011043550.3 |
2020-09-28 |
审查中-实审 |
195 |
一种用于IC铜阻挡层CMP的抛光组合物及其制备方法 |
CN202011055094.4 |
2020-09-30 |
审查中-实审 |
196 |
用于抛光铜的CMP浆料组合物及使用其的抛光方法 |
CN201780029083.9 |
2017-02-08 |
审查中-实审 |
197 |
含钴衬底的化学机械抛光(CMP) |
CN201710459103.8 |
2017-06-16 |
审查中-实审 |
198 |
一种用于铜抛光的氧化铝抛光液及其制备方法 |
CN201910456920.7 |
2019-05-29 |
审查中-实审 |
199 |
一种无水抛光KDP晶体的方法 |
CN202010992961.0 |
2020-09-21 |
审查中-实审 |
200 |
适用于蓝宝石抛光的化学机械抛光液 |
CN201810561828.2 |
2018-06-04 |
有效专利 |