本发明公开了一种热电位移动促动器结构，包括由导电材料制成的第一横梁，在两个端部附近至少变窄5%，以及由导电材料制成的第二横梁，在靠近两端部分具有至少变窄5%；第一横梁的端部接到第二横梁的端部,其连接处形成一个V形,其顶点的内角度约90度到约180度；第一横梁的另一端接基板,并形成第一电极，第二横梁的另一端接基板,并形成第二电极；位移装置接到第一和第二横梁V形顶点的接处。
本发明能够利用少量电能产生大位移的热电MEMS结构，解决成本高、生产困难和能耗大的问题，增大其应用场合。

肖盛哲

广西安捷讯电子科技有限公司

530000 广西壮族自治区南宁市经开区金凯路98号

本发明公开了一种热电位移动促动器结构，包括由导电材料制成的第一横梁，在两个端部附近至少变窄5%，以及由导电材料制成的第二横梁，在靠近两端部分具有至少变窄5%；第一横梁的端部接到第二横梁的端部,其连接处形成一个V形,其顶点的内角度约90度到约180度；第一横梁的另一端接基板,并形成第一电极，第二横梁的另一端接基板,并形成第二电极；位移装置接到第一和第二横梁V形顶点的接处。
本发明能够利用少量电能产生大位移的热电MEMS结构，解决成本高、生产困难和能耗大的问题，增大其应用场合。