| 26 |
微机电系统压力传感器 |
CN202020759610.0 |
2020-05-09 |
有效专利 |
| 27 |
微机电系统装置及其形成方法及微机电系统结构 |
CN202010090792.1 |
2020-02-13 |
审查中-实审 |
| 28 |
微机电系统装置及其制造方法 |
CN202010589548.X |
2020-06-24 |
审查中-实审 |
| 29 |
一种微机电系统麦克风晶圆级封装结构 |
CN202020849780.8 |
2020-05-20 |
有效专利 |
| 30 |
具有通过保护帽进行信号路由的微机电设备及控制微机电设备的方法 |
CN201710775777.9 |
2013-06-20 |
有效专利 |
| 31 |
微机械结构和用于制造微机械结构的方法 |
CN201710514304.3 |
2017-06-29 |
有效专利 |
| 32 |
微机电系统传感器的封装结构和电子设备 |
CN202020947306.9 |
2020-05-28 |
有效专利 |
| 33 |
一种微机电系统三轴加速度传感器芯片和制作方法 |
CN202011219115.1 |
2020-11-04 |
审查中-实审 |
| 34 |
微机电系统装置及其形成方法 |
CN201911175794.4 |
2019-11-26 |
发明公开 |
| 35 |
使用牺牲层上平坦表面以集成互补金属氧化物半导体装置以及微机电系统装置的方法 |
CN201710973746.4 |
2017-10-18 |
审查中-公开 |
| 36 |
利用微机电工艺制造气体检测器的方法 |
CN201711472914.8 |
2017-12-29 |
审查中-实审 |
| 37 |
微机电可缩放直插型压阻力/压力传感器 |
CN201810154228.4 |
2018-02-22 |
审查中-实审 |
| 38 |
用于激光照排的微机电加工光栅光阀阵列及其方法 |
CN200710069426.2 |
2007-06-19 |
失效 |
| 39 |
双输出微机电谐振器及其制造和操作方法 |
CN201980043906.2 |
2019-06-28 |
发明公开 |
| 40 |
一种压电微机械超声换能器 |
CN201910915217.8 |
2019-09-26 |
审查中-实审 |
| 41 |
一种具有蝶形振动薄膜的微机电压电式超声换能器 |
CN202010491282.5 |
2020-06-02 |
审查中-实审 |
| 42 |
压电微机械超声换能器及其制造方法 |
CN201910813665.7 |
2019-08-30 |
有效专利 |
| 43 |
电容式射频微机电开关的系统和操作方法 |
CN201780087039.3 |
2017-12-21 |
审查中-实审 |
| 44 |
一种压电微机械超声换能器及其制备方法 |
CN201910167348.2 |
2019-03-06 |
有效专利 |
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