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专利名称
专利号
申请日期
专利状态
201 适用于蓝宝石抛光的化学机械抛光液 CN201810561828.2 2018-06-04 有效专利
202 一种铜腔基底的离心滚抛机械预抛光方法 CN202011054679.4 2020-09-29 发明公开
203 一种化学研磨抛光液及研磨抛光方法 CN201710168716.6 2017-03-21 审查中-实审
204 抛光组合物 CN201711498020.6 2017-12-29 审查中-实审
205 化学机械抛光(CMP)组合物在抛光包含钴和/或钴合金的基材中的用途 CN201780016852.1 2017-03-13 审查中-实审
206 一种同时具有磨削与抛光效果的超硬材料砂带与制备方法及应用 CN202011138794.X 2020-10-22 审查中-实审
207 用于抛光多层膜的化学机械抛光浆料组合物 CN202010660584.0 2020-07-10 审查中-实审
208 一种磁流变抛光用复合粒子的制造方法 CN201611109750.8 2016-12-06 有效专利
209 一种超精密抛光磨料生产方法 CN202011512795.6 2020-12-20 发明公开
210 一种整体叶轮的旋转化学机械抛光方法 CN201910576307.9 2019-06-28 有效专利
211 一种蓝宝石抛光用氧化铝抛光液及其制备方法 CN201910951411.1 2019-10-08 审查中-实审
212 用于化学机械抛光的浆料组合物、其制法、抛光方法、制造半导体器件的方法和抛光设备 CN201610905553.0 2016-10-17 有效专利
213 钨阻挡层抛光料浆组合物 CN201780048960.7 2017-06-16 审查中-实审
214 使用聚二醇和聚二醇衍生物的钨的化学机械抛光方法 CN201810033498.X 2018-01-12 有效专利
215 用于移除硅氮化物的化学机械抛光组合物 CN201680008583.X 2016-01-26 有效专利
216 一种陶瓷抛光用水基复合型抛光液及其制备方法 CN201711381319.3 2017-12-20 审查中-实审
217 化学机械抛光组合物及抑制无定形硅的去除速率的方法 CN202010193669.2 2020-03-18 有效专利
218 一种低光泽度仿古砖及其抛光方法 CN201911333971.7 2019-12-23 有效专利
219 金属精细抛光凹凸棒石粉及其制备方法和应用 CN201811554263.1 2018-12-19 有效专利
220 一种电化学增稠抛光方法 CN201910221630.4 2019-03-22 有效专利
221 一种氧化铈的制备方法及其在STI抛光领域的应用 CN201510999590.8 2015-12-28 审查中-实审
222 一种氧化铈制备方法及其在STI化学机械抛光中的应用 CN201510999608.4 2015-12-28 审查中-实审
223 一种获得亲水性表面的抛光硅片加工方法 CN201811462180.X 2018-11-30 有效专利
224 表面改性胶体二氧化铈抛光粒子、其制造方法及包括此的抛光料浆组合物 CN201780054508.1 2017-06-21 有效专利
225 用于氮化硅材料的选择性抛光的组合物及方法 CN201810818481.5 2013-07-09 有效专利
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