201 |
适用于蓝宝石抛光的化学机械抛光液 |
CN201810561828.2 |
2018-06-04 |
有效专利 |
202 |
一种铜腔基底的离心滚抛机械预抛光方法 |
CN202011054679.4 |
2020-09-29 |
发明公开 |
203 |
一种化学研磨抛光液及研磨抛光方法 |
CN201710168716.6 |
2017-03-21 |
审查中-实审 |
204 |
抛光组合物 |
CN201711498020.6 |
2017-12-29 |
审查中-实审 |
205 |
化学机械抛光(CMP)组合物在抛光包含钴和/或钴合金的基材中的用途 |
CN201780016852.1 |
2017-03-13 |
审查中-实审 |
206 |
一种同时具有磨削与抛光效果的超硬材料砂带与制备方法及应用 |
CN202011138794.X |
2020-10-22 |
审查中-实审 |
207 |
用于抛光多层膜的化学机械抛光浆料组合物 |
CN202010660584.0 |
2020-07-10 |
审查中-实审 |
208 |
一种磁流变抛光用复合粒子的制造方法 |
CN201611109750.8 |
2016-12-06 |
有效专利 |
209 |
一种超精密抛光磨料生产方法 |
CN202011512795.6 |
2020-12-20 |
发明公开 |
210 |
一种整体叶轮的旋转化学机械抛光方法 |
CN201910576307.9 |
2019-06-28 |
有效专利 |
211 |
一种蓝宝石抛光用氧化铝抛光液及其制备方法 |
CN201910951411.1 |
2019-10-08 |
审查中-实审 |
212 |
用于化学机械抛光的浆料组合物、其制法、抛光方法、制造半导体器件的方法和抛光设备 |
CN201610905553.0 |
2016-10-17 |
有效专利 |
213 |
钨阻挡层抛光料浆组合物 |
CN201780048960.7 |
2017-06-16 |
审查中-实审 |
214 |
使用聚二醇和聚二醇衍生物的钨的化学机械抛光方法 |
CN201810033498.X |
2018-01-12 |
有效专利 |
215 |
用于移除硅氮化物的化学机械抛光组合物 |
CN201680008583.X |
2016-01-26 |
有效专利 |
216 |
一种陶瓷抛光用水基复合型抛光液及其制备方法 |
CN201711381319.3 |
2017-12-20 |
审查中-实审 |
217 |
化学机械抛光组合物及抑制无定形硅的去除速率的方法 |
CN202010193669.2 |
2020-03-18 |
有效专利 |
218 |
一种低光泽度仿古砖及其抛光方法 |
CN201911333971.7 |
2019-12-23 |
有效专利 |
219 |
金属精细抛光凹凸棒石粉及其制备方法和应用 |
CN201811554263.1 |
2018-12-19 |
有效专利 |
220 |
一种电化学增稠抛光方法 |
CN201910221630.4 |
2019-03-22 |
有效专利 |
221 |
一种氧化铈的制备方法及其在STI抛光领域的应用 |
CN201510999590.8 |
2015-12-28 |
审查中-实审 |
222 |
一种氧化铈制备方法及其在STI化学机械抛光中的应用 |
CN201510999608.4 |
2015-12-28 |
审查中-实审 |
223 |
一种获得亲水性表面的抛光硅片加工方法 |
CN201811462180.X |
2018-11-30 |
有效专利 |
224 |
表面改性胶体二氧化铈抛光粒子、其制造方法及包括此的抛光料浆组合物 |
CN201780054508.1 |
2017-06-21 |
有效专利 |
225 |
用于氮化硅材料的选择性抛光的组合物及方法 |
CN201810818481.5 |
2013-07-09 |
有效专利 |