| 176 |
一种纳米柱传感器、折射率检测装置及方法 |
CN201810859427.5 |
2018-08-01 |
审查中-实审 |
| 177 |
一种热敏传感器阵列 |
CN202010897430.3 |
2020-08-31 |
审查中-实审 |
| 178 |
复合传感器 |
CN201680047994.X |
2016-08-08 |
有效专利 |
| 179 |
一种自校正MEMS电容式湿度传感器及其制备方法 |
CN202110289409.X |
2021-03-18 |
有效专利 |
| 180 |
热电堆传感器的制作方法 |
CN202010615288.9 |
2020-06-30 |
审查中-实审 |
| 181 |
热电堆传感器的制作方法 |
CN202010615278.5 |
2020-06-30 |
审查中-实审 |
| 182 |
热电堆传感器的制作方法 |
CN202010617271.7 |
2020-06-30 |
审查中-实审 |
| 183 |
热电堆传感器的制作方法 |
CN202010617243.5 |
2020-06-30 |
审查中-实审 |
| 184 |
热电堆传感器的制作方法 |
CN202010617292.9 |
2020-06-30 |
审查中-实审 |
| 185 |
热电堆传感器的制作方法 |
CN202010617264.7 |
2020-06-30 |
审查中-实审 |
| 186 |
热电堆传感器的制作方法 |
CN202010615313.3 |
2020-06-30 |
审查中-实审 |
| 187 |
热电堆传感器的制作方法 |
CN202010617265.1 |
2020-06-30 |
审查中-实审 |
| 188 |
热电堆传感器的制作方法 |
CN202010615245.0 |
2020-06-30 |
审查中-实审 |
| 189 |
热电堆传感器的制作方法 |
CN202010615291.0 |
2020-06-30 |
审查中-实审 |
| 190 |
热电堆传感器的制作方法 |
CN202010615286.X |
2020-06-30 |
审查中-实审 |
| 191 |
用于制造至少一个膜片装置的方法、用于微机械的传感器的膜片装置和构件 |
CN201980033152.2 |
2019-05-07 |
发明公开 |
| 192 |
一种传感器、传感器封装方法、晶圆及小尺寸气压传感器 |
CN202011175535.4 |
2020-10-28 |
发明公开 |
| 193 |
组合式传感器、电子设备及组合式传感器的制作方法 |
CN202011005109.6 |
2020-09-22 |
审查中-实审 |
| 194 |
传感器封装结构及其封装方法、电子设备 |
CN202010992645.3 |
2020-09-18 |
发明公开 |
| 195 |
一种适用于MEMS加速度传感器芯片的低应力封装结构 |
CN202011001239.2 |
2020-09-22 |
发明公开 |
| 196 |
一种惯性传感器及其形成方法 |
CN202011413591.7 |
2020-12-07 |
有效专利 |
| 197 |
形成传感器集成封装的方法和由此形成的结构 |
CN201680018801.8 |
2016-02-25 |
有效专利 |
| 198 |
一种面内双轴加速度传感器芯片及其制备方法 |
CN201910644341.5 |
2019-07-17 |
有效专利 |
| 199 |
一种三维氮化镓基呼出式气体传感器及其制备方法 |
CN201911320498.9 |
2019-12-19 |
有效专利 |
| 200 |
一种MEMS触觉传感器及其制作方法 |
CN202010501458.0 |
2020-06-04 |
有效专利 |
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