| 241 |
一种用于氮化镓功放芯片的玻璃微流道散热器制备方法 |
CN202011208598.5 |
2020-11-03 |
发明公开 |
| 242 |
嵌入加热结构的硅基微通道散热器及应用方法与制备方法 |
CN202011143644.8 |
2020-10-23 |
发明公开 |
| 243 |
制备具有表面微结构涂层的方法 |
CN202011052466.8 |
2020-09-29 |
发明公开 |
| 244 |
一种MEMS芯片装片用治具 |
CN202011254105.1 |
2020-11-11 |
发明公开 |
| 245 |
一种多晶硅悬臂梁阵列结构及其制备方法和应用 |
CN202011224898.2 |
2020-11-05 |
发明公开 |
| 246 |
一种纳米服装材料真空冷授制备装置 |
CN202011299661.0 |
2020-11-19 |
发明公开 |
| 247 |
涉及使用含短纤维的可辐射固化的粘合剂组合物的胶合方法 |
CN201680050545.0 |
2016-09-01 |
发明公开 |
| 248 |
一种多操作模式的压电黏度传感器芯片及其工作方法和制备方法 |
CN202010335079.9 |
2020-04-24 |
审查中-实审 |
| 249 |
一种金金热压键合制备高反射膜光学腔的方法 |
CN201810762925.8 |
2018-07-12 |
有效专利 |
| 250 |
一种大行程高速高精度的XY并联解耦微定位平台 |
CN202021336276.4 |
2020-07-09 |
有效专利 |
| 251 |
微机电系统装置及其形成方法 |
CN201911175794.4 |
2019-11-26 |
发明公开 |
| 252 |
基于空气模法的光滑倾斜底面微结构阵列表面制备方法 |
CN202011048792.1 |
2020-09-29 |
发明公开 |
| 253 |
微流芯片及其制造方法 |
CN202011196145.5 |
2020-11-02 |
发明公开 |
| 254 |
一种微流道散热器的制备方法 |
CN202011144350.7 |
2020-10-23 |
发明公开 |
| 255 |
一种MEMS芯片工艺加工用载具 |
CN202011256516.4 |
2020-11-11 |
发明公开 |
| 256 |
用于制造具有三维磁结构的器件的方法 |
CN202011235493.9 |
2015-12-11 |
发明公开 |
| 257 |
用于控制膜通道插入膜中的设备和方法 |
CN202011060676.1 |
2017-11-24 |
发明公开 |
| 258 |
一种陶瓷微结构石墨烯气体传感器及其制造方法 |
CN201910161174.9 |
2019-03-04 |
审查中-实审 |
| 259 |
一种旋转结构的制备方法以及旋转结构 |
CN202010052774.4 |
2020-01-17 |
有效专利 |
| 260 |
一种MEMS器件及其制作方法 |
CN201510084495.5 |
2015-02-16 |
有效专利 |
| 261 |
使用牺牲层上平坦表面以集成互补金属氧化物半导体装置以及微机电系统装置的方法 |
CN201710973746.4 |
2017-10-18 |
审查中-公开 |
| 262 |
纳米孔隙形成方法、纳米孔隙形成装置以及生物分子测量装置 |
CN201680090509.7 |
2016-12-09 |
审查中-实审 |
| 263 |
一种定向无源自驱动薄膜及其制备方法 |
CN202010360444.1 |
2020-04-30 |
审查中-实审 |
| 264 |
形成对准标记的方法 |
CN201910058762.X |
2019-01-22 |
有效专利 |
| 265 |
一种具有短距离离子选择性的仿生纳米通道及其制备方法 |
CN201811156549.4 |
2018-09-30 |
审查中-实审 |
| 266 |
一种在透光衬底上制备微纳米结构图案的方法 |
CN201711467340.5 |
2017-12-29 |
审查中-公开 |
| 267 |
一种硅基微针阵列贴片的制备方法 |
CN201810332180.1 |
2018-04-13 |
审查中-实审 |
| 268 |
柔性微流管道气体流量传感器及其制备方法、使用方法 |
CN201911142855.7 |
2019-11-20 |
有效专利 |
| 269 |
一种基于水冰的电子束诱导刻蚀工艺 |
CN202010944568.4 |
2020-09-10 |
有效专利 |
| 270 |
一种光学直角反射镜及其制造方法 |
CN201610038072.4 |
2016-01-20 |
审查中-实审 |
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