| 181 |
微孔制备方法 |
CN202011088889.5 |
2020-10-13 |
审查中-实审 |
| 182 |
一种悬空纳米线机械手批量制备方法 |
CN201910193940.X |
2019-03-14 |
有效专利 |
| 183 |
一种网格型声学传感结构的制造工艺及声波检测方法 |
CN201910162534.7 |
2019-03-05 |
有效专利 |
| 184 |
用于改进对光发射的检测的结构化基底及涉及其的方法 |
CN202010977928.0 |
2016-04-14 |
审查中-实审 |
| 185 |
一种具有防冰和减阻一体化功能的微结构及其构建方法 |
CN201910046400.9 |
2019-01-18 |
有效专利 |
| 186 |
一种微型高密度阵列自由曲面电极及其制造方法 |
CN201910646974.X |
2019-07-17 |
审查中-实审 |
| 187 |
一种双H型受压梁硅微谐振压力传感器芯片及其制备方法 |
CN201910064334.8 |
2019-01-23 |
有效专利 |
| 188 |
一种具有纯轴向变形敏感梁的MEMS压阻式三轴冲击加速度计芯片及其制备方法 |
CN201910684531.X |
2019-07-26 |
有效专利 |
| 189 |
一种全柔性热释电红外探测器 |
CN202020440316.3 |
2020-03-30 |
有效专利 |
| 190 |
一种面内双轴加速度传感器芯片及其制备方法 |
CN201910644341.5 |
2019-07-17 |
有效专利 |
| 191 |
薄膜的制造方法 |
CN202010580125.1 |
2020-06-23 |
审查中-实审 |
| 192 |
一种基于空气模法的近圆柱面微凹槽阵列表面制备方法 |
CN202011046923.2 |
2020-09-29 |
审查中-实审 |
| 193 |
一种用于温度检测的抗变形柔性温度传感器及其制备方法 |
CN202011057683.6 |
2020-09-29 |
审查中-实审 |
| 194 |
一种MEMS器件及其形成方法 |
CN202011433127.4 |
2020-12-09 |
审查中-实审 |
| 195 |
一种压力模块及其制作方法 |
CN202011205750.4 |
2020-11-02 |
审查中-实审 |
| 196 |
微机械结构和用于制造微机械结构的方法 |
CN201710514304.3 |
2017-06-29 |
有效专利 |
| 197 |
一种三维氮化镓基呼出式气体传感器及其制备方法 |
CN201911320498.9 |
2019-12-19 |
有效专利 |
| 198 |
一种使活性材料动力学可控的纳米封装结构及制备方法 |
CN201810783976.9 |
2018-07-17 |
有效专利 |
| 199 |
一种MEMS触觉传感器及其制作方法 |
CN202010501458.0 |
2020-06-04 |
有效专利 |
| 200 |
晶片级封装件和制造方法 |
CN201980037782.7 |
2019-04-16 |
审查中-实审 |
| 201 |
一种基于纳米氧化物薄膜/电解质垂直结构的人工突触电子器件的制备方法 |
CN202011114499.0 |
2020-10-16 |
发明公开 |
| 202 |
一种MEMS结构的制造方法 |
CN201910668866.2 |
2019-07-22 |
审查中-实审 |
| 203 |
微机电系统传感器的封装结构和电子设备 |
CN202020947306.9 |
2020-05-28 |
有效专利 |
| 204 |
电子设备 |
CN202020446628.5 |
2020-03-31 |
有效专利 |
| 205 |
元件组装方法及电子装置 |
CN202011024138.7 |
2020-09-25 |
审查中-实审 |
| 206 |
封装用的引线定位装置 |
CN202021545327.4 |
2020-07-30 |
有效专利 |
| 207 |
一种基于结构浸蘸-原位拖拽成形的超疏油表面制备方法 |
CN202011046931.7 |
2020-09-29 |
审查中-实审 |
| 208 |
一种LED发光模组及其制造方法 |
CN202011117085.3 |
2020-10-19 |
审查中-实审 |
| 209 |
自带线性热电阻校正的热电堆红外传感器及其制备方法 |
CN202011052511.X |
2020-09-29 |
审查中-实审 |
| 210 |
热电堆红外探测器制作过程释放薄膜的工艺 |
CN202011052512.4 |
2020-09-29 |
审查中-实审 |
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