| 331 |
一种全玻璃碱金属原子气室的制备方法 |
CN201910237761.1 |
2019-03-27 |
有效专利 |
| 332 |
一种柱状同轴圆环纳米结构的制作方法 |
CN201910092384.7 |
2019-01-30 |
有效专利 |
| 333 |
基于碳化硅材料的压阻式加速度传感器及其制造方法 |
CN201911212178.1 |
2019-12-02 |
审查中-实审 |
| 334 |
高灵敏度加速度传感器结构的制备方法 |
CN201910318111.X |
2019-04-19 |
有效专利 |
| 335 |
微传感器及其制备方法 |
CN201910313786.5 |
2019-04-18 |
有效专利 |
| 336 |
一种MEMS器件的晶圆级封装方法和封装结构 |
CN202010679793.X |
2020-07-15 |
审查中-实审 |
| 337 |
具有应力集中结构的压阻式压力传感器芯片及其制备方法 |
CN202010478838.7 |
2020-05-29 |
有效专利 |
| 338 |
陀螺仪的封装结构及制作方法 |
CN201910221504.9 |
2019-03-22 |
审查中-实审 |
| 339 |
一种电学连接高密度坡面台阶纳米线的方法 |
CN201910240844.6 |
2019-03-28 |
审查中-实审 |
| 340 |
一种半导体器件的制造方法 |
CN201711399086.X |
2017-12-21 |
有效专利 |
| 341 |
一种半导体器件的制造方法 |
CN201711117419.5 |
2017-11-13 |
有效专利 |
| 342 |
微机电可缩放直插型压阻力/压力传感器 |
CN201810154228.4 |
2018-02-22 |
审查中-实审 |
| 343 |
电容式压力传感器及其制备方法、压力测量装置 |
CN201811099296.1 |
2018-09-19 |
审查中-实审 |
| 344 |
一种亚纳米顶栅电极场效应晶体管的可控制备方法 |
CN202010481838.2 |
2020-05-28 |
发明公开 |
| 345 |
具有唯一的电支承件的传感器 |
CN201711223466.8 |
2012-08-24 |
审查中-实审 |
| 346 |
悬浮封闭孔阵列结构及其制备方法、应用以及制备装置 |
CN201911321979.1 |
2019-12-18 |
有效专利 |
| 347 |
微针阵列及其制造方法 |
CN201780023190.0 |
2017-05-25 |
有效专利 |
| 348 |
一种提高高深宽比钨合金刻蚀均匀性的方法 |
CN201810714556.5 |
2018-07-03 |
有效专利 |
| 349 |
在衬底中的孔形成 |
CN201880060056.2 |
2018-08-08 |
有效专利 |
| 350 |
一种MEMS接触式开关及其制备方法 |
CN202110338529.4 |
2021-03-30 |
有效专利 |
| 351 |
一种基于激光诱导空化的纳尺度薄膜孔制备装置及其方法 |
CN201910270000.6 |
2019-04-04 |
有效专利 |
| 352 |
一种应变传感器及其制备方法 |
CN201811594232.9 |
2018-12-25 |
审查中-实审 |
| 353 |
集成内部金属屏蔽层的光电神经探针及其制备方法 |
CN201911357618.2 |
2019-12-25 |
有效专利 |
| 354 |
一种可监控植物生长状态的微型传感器及其制备方法 |
CN202010031483.7 |
2020-01-13 |
有效专利 |
| 355 |
基于Al/M |
CN201710764837.7 |
2017-08-30 |
审查中-实审 |
| 356 |
纳米针阵列及其制备方法和应用 |
CN202010662482.2 |
2020-07-10 |
审查中-实审 |
| 357 |
谐振式MEMS差压压力传感器及其制备方法 |
CN202010482344.6 |
2020-05-29 |
审查中-实审 |
| 358 |
一种多传感器的协同制造工艺流程 |
CN201810774509.X |
2018-07-13 |
有效专利 |
| 359 |
一种用于制备柔性压阻式传感器的多孔导电浆料及其制备方法和应用 |
CN201811497628.1 |
2018-12-07 |
有效专利 |
| 360 |
一种双层偏振非制冷红外探测器结构及其制备方法 |
CN201710331925.8 |
2017-05-11 |
审查中-公开 |
专利查询网