| 301 |
一种硅基固态纳米孔及制备方法、硅基固态纳米孔测序仪 |
CN202010521146.6 |
2020-06-10 |
有效专利 |
| 302 |
全湿法腐蚀形成器件结构的方法 |
CN201611206291.5 |
2016-12-23 |
审查中-公开 |
| 303 |
MEMS麦克风及其形成方法 |
CN201710867168.6 |
2017-09-22 |
审查中-实审 |
| 304 |
一种单片集成惯性器件工艺兼容方法 |
CN201710366980.0 |
2017-05-23 |
审查中-实审 |
| 305 |
基于空气隔热层的MEMS微热板及其制作方法 |
CN202010505550.4 |
2020-06-05 |
有效专利 |
| 306 |
硅麦克风及其制作方法和电子设备 |
CN202110190866.3 |
2021-02-20 |
有效专利 |
| 307 |
晶圆级气密封装方法 |
CN201810695397.9 |
2018-06-29 |
发明公开 |
| 308 |
一种酶驱动瓶状纳米马达及其制备方法 |
CN201810304951.6 |
2018-04-08 |
审查中-实审 |
| 309 |
两平动一转动大行程无耦合并联压电微动平台 |
CN201910092853.5 |
2019-01-30 |
审查中-实审 |
| 310 |
有减少的应力灵敏度的微电机传感器器件和对应制造工艺 |
CN201610191890.8 |
2016-03-30 |
审查中-公开 |
| 311 |
多功能半导体封装结构和多功能半导体封装结构制作方法 |
CN202110190861.0 |
2021-02-20 |
有效专利 |
| 312 |
具有集成压力传感器的麦克风装置 |
CN201780038661.5 |
2017-05-24 |
审查中-实审 |
| 313 |
声敏传感器封装结构制作方法和声敏传感器封装结构 |
CN202110190863.X |
2021-02-20 |
有效专利 |
| 314 |
一种空腔式压力传感器及其制备方法 |
CN201910263937.0 |
2019-04-03 |
有效专利 |
| 315 |
一种非制冷红外焦平面探测器及其制备方法 |
CN201910126342.0 |
2019-02-20 |
审查中-实审 |
| 316 |
半导体器件及其形成方法 |
CN201910897680.4 |
2014-03-14 |
有效专利 |
| 317 |
多参数高通量SERS活性微针的制备方法及活性微针 |
CN201910283850.X |
2019-04-12 |
有效专利 |
| 318 |
一种真空封装工艺 |
CN201811597857.0 |
2018-12-26 |
审查中-实审 |
| 319 |
MEMS器件的制造方法及MEMS器件 |
CN202110072164.5 |
2021-01-20 |
有效专利 |
| 320 |
一种基于谐振器的刻蚀终点检测系统及方法 |
CN202010490709.X |
2020-06-02 |
有效专利 |
| 321 |
CO太赫兹特征谱线检测的滤波器谐振单元及制备方法 |
CN201910496922.9 |
2019-06-10 |
审查中-实审 |
| 322 |
一种蘑菇状端头的仿生粘附材料及其制备方法 |
CN202010137559.4 |
2020-03-01 |
审查中-实审 |
| 323 |
一种基于光盘的二维周期性微纳结构的热压印方法 |
CN201510437731.7 |
2015-07-23 |
有效专利 |
| 324 |
在柔性衬底上构筑表面粗糙化的PS球阵列的方法 |
CN201811622327.7 |
2018-12-28 |
审查中-实审 |
| 325 |
用于电涡流微压传感器的薄膜片及其制备方法 |
CN201711394208.6 |
2017-12-21 |
有效专利 |
| 326 |
一种用于微纳米制造的自填料三臂式热扫描探针 |
CN202010662491.1 |
2020-07-10 |
有效专利 |
| 327 |
一种制备纳米孔阵列结构的方法 |
CN201910092407.4 |
2019-01-30 |
有效专利 |
| 328 |
一种在不锈钢表面制备的微纳米自组织结构及制备方法 |
CN201811295733.7 |
2018-11-01 |
审查中-实审 |
| 329 |
天线装置 |
CN201910354407.7 |
2019-04-29 |
审查中-实审 |
| 330 |
一种注胶件的气泡去除方法和气泡去除装置 |
CN201811224690.3 |
2018-10-19 |
有效专利 |
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